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真空理论知识培训教材.doc

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真空理论知识培训教材.doc

无锡华润晶芯半导体有限公司WuxiChinaResourcesSemiconductorWafers&ChipsLtd.第1页共23页真空理论知识培训拟制:许坤良目录:一.基础知识:二.往复式真空泵:三.旋片式油封机械真空泵:四.罗茨式真空泵:五.分子真空泵:六.油扩散泵:七.低温泵:八.真空泵流量的测量方法:九.冲洗抽气法:无锡华润晶芯半导体有限公司WuxiChinaResourcesSemiconductorWafers&ChipsLtd.第2页共23页一.基础知识:1.真空及其度量:真空----一般是指在给定的空间内,压力低于101325Pa的气体状态。在真空状态下,气体的稀薄程度,通常用气体的压力值来表示。真空的主要特性-----真空状态同正常的大气状态相比较,气体较为稀薄,即单位体积内的分子数目较少,分子之间或分子与其他质点(如电子、离子)之间的碰撞几率减少,分子在单位时间内碰撞于单位表面积(如器壁)上的次数也相对减少。分为:“自然真空”和“人为真空”人为真空---是指人们对一个容器进行抽气而获得的真空空间。气体的稀薄程度叫真空度。真空度可用气体压强、分子密度、平均自由程和形成一个单分子层的时间来描述,在真空科学与技术中,通常都用气体的压强来表示。气体压强越低,真空度越高。2.换算关系:1atm=1.01325*105Pa(1Pa=1N/m2)(760mmHg)1atm=760mmHg=760Torr(标准大气压)1Torr=133.322Pa(1Pa=7.5*10-3Torr=0.0075Torr=7.5mTorr)1bar=105Pa=750Torr1Pa=7.5mTorr1mbar=750mTorr3.各真空区域的物理特性及应用:低真空:1*105Pa-----1*102Pa=0.75Torr=750mTorr中真空:1*102-----1*10-1Pa=0.75mTorr高真空:1*10-1----1*10-6Pa=7.5mTorr无锡华润晶芯半导体有限公司WuxiChinaResourcesSemiconductorWafers&ChipsLtd.第3页共23页超高真空:1*10-6---1*10-12Pa极高真空:小于10-12Torr3.1低真空(1*105Pa-----1*102Pa)在低真空状态下,气态空间的特性和常压时相比,没有明显的不

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