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LWZ150双头螺杆型干式无油真空泵设计开题报告.doc

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LWZ150双头螺杆型干式无油真空泵设计开题报告.doc

毕业设计(论文)开题报告题目LWZ150双头螺杆型干式无油真空泵设计系别机电信息系专业机械设计制造及其自动化班级姓名学号导师2012年12月19日1.毕业设计(论文)综述(题目背景、研究意义及国内外相关研究情况)1.1题目背景目前各种真空泵的发展愈来愈受到真空应用场合的影响,一般的真空系统无法满足清洁无油及耐腐蚀的要求,因此近年来干式真空泵市场需求量很大,真空获得产品已经出现更新换代的局面,大量的有油真空系统已被无油清洁的真空系统所代替。国外几乎每一家较大的真空公司都生产各种不同型式的干式真空泵.螺杆真空泵属于非接触型干式泵,是20世纪90年代初期出现的一种理想的泵种,以其抽速范围宽、结构简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、寿命长、能耗低、无油污染等优点,但其制造技术为国外掌握,我国尚处于起步阶段,市场对于干式真空泵有迫切的需求。1.2研究意义干式螺杆真空泵是干式泵家族中的一员。所谓干式真空泵,一般认为是能在大气压到-210Pa的压力范围内工作;在泵的抽气流道中,不能使用任何油类和液体,排气口与大气相通,能直接连续向大气中排气的泵也称无油真空泵。干式真空泵在抽气流道内无任何液态工作介质或密封介质,从根本上解决了油封式真空泵引发的各种问题。总的来说是两种不同的需求推动开发出两种类型的干泵。一类是以半导体行业为代表:要求真空泵向被抽空间内的返流为零,以保护工件免受污染。对半导体行业中应用的真空系统的要求大体分为三个等级。清洁条件下的抽气,只抽干空气或含少许水蒸汽的空气。中等条件下的抽气,抽除工艺过程的反应气体,但无固体颗粒物。恶劣条件下的抽气,抽除化学反应物和有毒甚至致癌及固体颗粒物。另一类是以石化行业为代表:要求真空泵能大量抽除可凝性气体,或腐蚀性气体或有毒气体,或含有微尘的气体。传统油封真空泵在石化领域所面对的难题人们往往通过选用水蒸汽喷射泵、水喷射泵、水环泵、水环-罗茨机组等途径加以解决。但往往系统过于庞大,噪声也很大,同时工作过程中会产生很多的废水和其他的排放物,处理排出废物的投资也很昂贵。1.3国内外相关研究情况自从第一台工业上可运行的干式泵1984年在日本运行以来,许多无油真空泵如雨后养笋般迅速发展起来。其中以日本、美国、法国、德国最为先进。美国Varian瓦里奥)公司生产的DVP系列产品,其真空度可以达到-210Pa,这是目前报道的单级干式真空泵中真空度最高的产品

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