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基于气浮支承引线键合定位平台设计开题报告.doc

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基于气浮支承引线键合定位平台设计开题报告.doc

西安文理学院本科毕业设计(论文)开题报告题目基于气浮支承引线键合定位平台设计学生姓名赵魁学号08102080222专业名称机械设计制造及其自动化指导教师卢志伟开题时间2012.3.2班级08机械(2)班一、选题目的和意义随着技术的进步和相关行业的发展,高加速度高精度定位平台是引线键合机的核心部件,决定键合的速度和质量,进而影响芯片的成本与可靠性。随着芯片集成度的不断增大,管脚数量迅速增多,引线间距日益减小,定位平台的性能已经成为引线键合工艺进一步发展的瓶颈。由于空气的粘性低,不易发生爬行,振动也小,热稳定性好;使用寿命是半永久性的,与液体静压导轨相比,它不污染环境。由于具有这些特点,载荷变动小的超精密加工机床和测量机以及精密机器一般都采用气浮静压支承。因此把“基于气浮支承引线键合定位平台设计”作为本次本科毕业论文的课题,既有较大的学术价值,又有广阔的应用前景。二、本课题在国内外的研究状况及发展趋势由于平台进行高加速度、高精度、快速往复小行程运动,并在很短的时间内达到高精度定位,要求机械结构简单、易于控制、刚度大、惯性小、阻尼低、制造精密。涉及到的研究内容包括机构形式、支撑方式、新型材料、设计方法、精密加工技术,运动学、动力学分析及简单有效的运动控制算法等方面。随着速度、加速度和工作频率的进一步提高,摩擦力对平台性能的影响越来越显著。其微米级行程仅适用于一些细微装配或操作任务。但磁悬浮轴承制造成本高,是一个非线性局部稳定系统,易发生悬浮磁场和线性驱动磁场间的相互影响。气浮轴承除不具有上述缺点外,还具有结构简单、质量轻便和设计灵活等优点。因此,近年来,气浮高性能定位平台的目前LED及IC芯片在各个领域的应用越来越广泛,对封装工艺的质量及检测技术提出了更高的要求,如何实现复杂封装的工艺稳定、质量保证和协同控制变得越来越重要。国外对引线键合工艺涉及的大量参数和精密机构的控制问题已有较为深入的研究,并且已经在参数敏感度和重要性的排列方面有了共识。引线键合技术,作为LED及IC芯片封装的关键技术之一,是用金属丝将LED及IC芯片上的电极与底座支架连接在一起的一种互连技术,通常采用热压键合、热超声键合和超声键合三种键合工艺方法。在自动引线键合技术中,键合丝尾长度、键合变形不当、键合位置不当等现象均可经调整温度、压力、超声功率和时间等参数、换劈刀等方法进行纠正。我国LED及IC封装

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