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基于气浮支承引线键合定位平台设计【5张图纸】【优秀】

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基于气浮支承引线键合定位平台设计【5张图纸】【优秀】

P基于气浮支承引线键合定位平台设计/PP32页13000字数说明书开题报告任务书答辩PPT5张CAD图纸/PP上平台DWG/PP任务书DOC/PP传动座DWG/PP基于气浮支承引线键合定位平台设计开题报告DOC/PP基于气浮支承引线键合定位平台设计答辩PPTPPT/PP基于气浮支承引线键合定位平台设计论文DOC/PP导轨DWG/PP装配图DWG/PP零件图DWG/PPBR//PP基于气浮支承引线键合定位平台设计/PP摘要/PP为满足新一代芯片封装设备对定位平台性能的要求,本文旨在研究设计一种全新的高推重比直接驱动气浮定位平台及其相应的位置伺服控制系统。通过协调机电系统的多影响参数,使平台在高加速度运动后,快速达到稳定状态。实现概念设计、详细设计、仿真实验以及系统的综合性能评估,提供面向芯片封装的高加速度高精度定位平台的单元级和原型级设计方法及关键技术的解决方案。/PP为了减小定位系统的摩擦力及其扰动,设计了一种基于气浮导轨支撑的两自由度高速精密定位平台。/PP该平台采用了新型的气浮解耦机构,使音圈电机置于固定支座上,有效地减小了定位平台的运动惯量。探讨了节流孔直径和导轨间隙对平台承载能力和静刚度的影响规律,得到一组优化参数;在此基础上对平台的运动稳定性进行深入分析,该平台在给定的初始条件下可快速趋于稳定,为该类气浮定位平台的设计提供了一定的理论基础。/PPBR//PP关键词气浮支承NBSP芯片封装NBSP引线键合NBSP定位平台/PPBR//PP目录/PP第一章NBSP绪论SPANCLASSAPPLETABSPAN/SPAN1/PP11选题背景SPANCLASSAPPLETABSPAN/SPAN1/PP12选题的目的与意义SPANCLASSAPPLETABSPAN/SPAN1/PP13本课题主要讨论问题SPANCLASSAPPLETABSPAN/SPAN2/PP14相关研究情况SPANCLASSAPPLETABSPAN/SPAN2/PP141机械部分相关研究情况SPANCLASSAPPLETABSPAN/SPAN2/PP142气浮部分相关研究情况SPANCLASSAPPLETABSPAN/SPAN3/PP第二章NBSP定位平台总体方案设计SPANCLASSAPPLETABSPAN/SPAN5/PP21定位平台机械部分方案确定SPANCLASSAPPLETABSPAN

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