会员注册 | 登录 | 微信快捷登录 QQ登录 微博登录 | 帮助中心 人人文库renrendoc.com美如初恋!
站内搜索 百度文库

热门搜索: 直缝焊接机 矿井提升机 循环球式转向器图纸 机器人手爪发展史 管道机器人dwg 动平衡试验台设计

   首页 人人文库网 > 资源分类 > RAR文档下载

基于气浮支承引线键合定位平台设计【5张图纸】【优秀】

  • 资源星级:
  • 资源格式: RAR        下载权限:注册会员
您还没有登陆,请先登录。登陆后即可下载此文档。
  合作网站登录: 微信快捷登录 支付宝快捷登录   QQ登录   微博登录
友情提示
2:本站资源不支持迅雷下载,请使用浏览器直接下载(不支持QQ浏览器)
3:本站资源下载后的文档和图纸-无水印,预览文档经过压缩,下载后原文更清晰   

基于气浮支承引线键合定位平台设计【5张图纸】【优秀】

基于气浮支承引线键合定位平台设计32页13000字数说明书开题报告任务书答辩PPT5张CAD图纸上平台.dwg任务书.doc传动座.dwg基于气浮支承引线键合定位平台设计开题报告.doc基于气浮支承引线键合定位平台设计答辩PPT.ppt基于气浮支承引线键合定位平台设计论文.DOC导轨.dwg装配图.dwg零件图.dwg基于气浮支承引线键合定位平台设计   摘要   为满足新一代芯片封装设备对定位平台性能的要求,本文旨在研究设计一种全新的高推重比直接驱动气浮定位平台及其相应的位置伺服控制系统。通过协调机电系统的多影响参数,使平台在高加速度运动后,快速达到稳定状态。实现概念设计、详细设计、仿真实验以及系统的综合性能评估,提供面向芯片封装的高加速度高精度定位平台的单元级和原型级设计方法及关键技术的解决方案。   为了减小定位系统的摩擦力及其扰动,设计了一种基于气浮导轨支撑的两自由度高速精密定位平台。   该平台采用了新型的气浮解耦机构,使音圈电机置于固定支座上,有效地减小了定位平台的运动惯量。探讨了节流孔直径和导轨间隙对平台承载能力和静刚度的影响规律,得到一组优化参数在此基础上对平台的运动稳定性进行深入分析,该平台在给定的初始条件下可快速趋于稳定,为该类气浮定位平台的设计提供了一定的理论基础。关键词气浮支承芯片封装引线键合定位平台目录第一章绪论11.1选题背景11.2选题的目的与意义11.3本课题主要讨论问题21.4相关研究情况21.4.1机械部分相关研究情况21.4.2气浮部分相关研究情况3第二章定位平台总体方案设计52.1定位平台机械部分方案确定52.1.1确定方案思想52.1.2方案对比分析与确定62.2空气静压导轨的方案设计72.2.1确定方案思想72.2.1方案对比分析与确定9第三章定位平台气浮导轨的设计103.1X轴气浮导轨的设计103.1.1空气静压导轨的工作原理及特点103.1.1空气静压导轨气垫的设计计算103.2Y轴气浮轴承的设计13第四章定位平台传动部分的设计144.1定位平台拟采用的研究方案、研究方法或措施144.2定位平台结构设计144.2.1定位平台X轴滚珠丝杠型号的确定144.2.2定位平台X轴滚珠丝杠校核164.2.3定位平台X轴电机的确定184.2.4定位平台Y轴滚珠丝杠型号的确定22第五章其他辅助零件的选择设计235.1定位平台轴承的选择235.2定位平台联轴器的选择23第六章检测元件的选择24第七章结论25参考文献26致谢28附录291.2选题的目的与意义   近年来,随着微电子技术、计算机技术和通信技术的迅速发展电子产品正迅速朝着便携式、小型化发向发展,IC芯片的集成度不断提高,对IC封装技术也提出更高的要求,特别是引线键合技术提出了特别高的要求(1)单位体积信息的提高(高密度化)(2)单位时间处理速度的提高(高速化)。因此IC引线键合技术也朝着高度集成化、高性能化、多引线和细间距化方向发展,高速、高精度的需求日益紧迫。为进一步提高质量和生产效率,对该类装备的运动精度和运动速度、加速度等性能提出了更高的要求,也体现了该类装备向高速、高精度发展的趋势。这就要求集成电路的引线键合技术不但发展和改良,需要发展新的引线键合定位平台来促进封装业的发展。 因此,发展具有我国自主知识产权的引线键合定位平台设备的核心技术,开展基于新的驱动方式、机构形式和控制方法的新型高速、高精度定位系统的关键技术研究,是IC制造装备中的重要研究内容之一,对促进IC制造技术的发展而加快我国IC产业化进程具有重要的意义。1.3本课题主要讨论问题   本课题的主要内容是设计定位平台X、Y轴的传动装置和气浮导轨。定位平台计过程可分为总体方案设计,完成原理方案设计和结构方案设计,确定实施方案对引线键合定位平台X、Y两运动导轨的相互运动方式进行设计对引线键合定位平台的气浮导轨进行设计对引线键合定位平台驱动装置、传动装置、供气装置、测量等装置进行设计。其中对引线键合定位平台X、Y两运动导轨的相互运动方式进行设计中关键是滚珠丝杠的设计选型、校核,电机型号的选型。对引线键合定位平台的气浮导轨进行设计中关键的是进行气浮垫片的设计。最后完成其他零件的设计,完成装配图及零件的的绘制,保证定位平台的精度和质量,调整方便、简捷。

注意事项

本文(基于气浮支承引线键合定位平台设计【5张图纸】【优秀】)为本站会员(youku)主动上传,人人文库网仅提供信息存储空间,仅对用户上传内容的表现方式做保护处理,对上载内容本身不做任何修改或编辑。 若此文所含内容侵犯了您的版权或隐私,请立即通知人人文库网([email protected]),我们立即给予删除!

温馨提示:如果因为网速或其他原因下载失败请重新下载,重复下载不扣分。

copyright@ 2015-2017 人人文库网网站版权所有
苏ICP备12009002号-5