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机械式精密二维微位移工作台设计说明书.doc

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机械式精密二维微位移工作台设计说明书.doc

河南理工大学本科毕业设计论文1摘要本次设计主要完成机械式微位移式工作台的设计,本文主要介绍了机械式精密二维微位移工作台。机械精密工作台可广泛应用在三维表面形貌的测量与评定、精密及超精密加工和半导体光刻等领域中。本文介绍了目前国内外多种典型的微动超精密工作台所采用的设计方案、材料、导轨、驱动方式。叙述了今后工作台的发展现状趋势,并分析了所设计工作台的优势。证明传统机械微动工作台依然广泛的用处和很大的市场,是比较理想的方案,也是精密超精密加工很好的补充。并详细分析了传统机械式微位移工作台的组合模块,组成结构,以及设计加工方法,与传统的二维及三维工作台相比,机械微动工作台有高精度和大量程,体积小,重量轻等优点,它采用粗精结合的定位机构和自带计量系统的闭环控制系统.能实现垂直方向(z方向)的精密位移和水平方向(x—Y方向)的精确定位。它由X轴、Y轴、Z轴三个方向的精密移动机构组装成三维精密移动工作台。最后,针对本设计中不够完美的地方的改进想法,以及对本次毕业设计的总结和对我国超精密发展方向进行了展望。关键词;、微位移机械工作台、精密加工。河南理工大学本科毕业设计论文2AbstractThemaindesignisaboutthemechanicaldesignofthemicro-displacementworktable.Thispapermainlyintroducesthemechanicalprecisionworktabletwo-dimensionalmicrodisplacement。Mechanicalprecisionworktablecanbewidelyusedin3dsurfacetopographymeasurementandevaluation,precisionandultra-precisionprocessingandsemiconductorphotolithography,etc.Thepaperintroducesthedomesticvarioustypicalmicroprecisionworktableadopteddesign,materials,guide,drivemode,feedbackandcontrolsystem.Describesthefuturetrendofdevelopmentstatusofworkbe

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