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压电陶瓷微进给工作台的设计及其实验研究.pdf

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压电陶瓷微进给工作台的设计及其实验研究.pdf

ÓcI|:1001-2354(1999)07-0036-03âÈ(L±ÉóýTû¥!9#Lùînull于思远,林null滨,纳米尔(9Ê),狄俊峰(?ÃvЀ",?Ãnull300072)K1:本文论述了一台由电致伸缩陶瓷制动器驱动的微进给工作台的研制过程b设计了工作台的主体结构a预紧力加载机构及密封装置,并利用高等材料力学和有限元法优化了主要变形元件b通过HP5528A激光测距系统对其特性进行了测试b工作台最大行程16nullm,位移分辨率小于0.1nullm,重复定位精度0.1nullmbÏmsË|:TH122nullnullÓDSM’:AnullnullÛ"SÐ/Œ¥?Z,¦ÌÈÁÖ¥Ÿ?aÉ1pŸÚ,Úá#ÑÚáFýŸsž¦Ì¥×jb7±Éó^£,qjFýÚ¥×1yÍ,^LCÚáaÑÚáMdFý¥A1mb ӂ¥±ÉóýTû^BÕÚÚýTû,ñ®ÈÁ%ê(Lzî,µÊMÚÚaПza8la^¿eÅ©ªÄ,µÌeÅbm2¹eÅ"dmbm21.2nullðÞ¥!99ØðÞ^ö1M™íq,ñ¥!9a9ØEs×1b±ÉóýTû¥›ñ“l,ǵ10nullmP·,î[ðÞ¥M™‚v,<Bç?¡@1pbáÌÇ9ØÈÁ%ê(LwîïP¥T¨/M™^Ž?rž!91p,ýTû¥sï˜VeĹm3bm3a=30mm,b=20mm,h=0.6mm,P|ÈÁ%ê(L?õs¥Kvâï¥Bö,P=100Nby¹ðÞ¥¨ùl¿ÜûÐ⍥¨,î[V[|ÜûÐâj¹Ð8b¥H,ÜûaðÞaâÅáõ¤bƒHáÌV[ª¹,ðÞ

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