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外文翻译--位移传感器的一种绝对的校准方法.doc

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外文翻译--位移传感器的一种绝对的校准方法.doc

外文资料名称:Anabsolutecalibrationmethodfordisplacementsensors外文资料出处:Measurement附件:1.外文资料翻译译文2.外文原文指导教师评语:签名:年月日(用外文写)1位移传感器的一种绝对的校准方法张诗洲清野聪卞秋燕译摘要:在现代研究中,一种新的位移传感器的绝对校准方法被提出并且校准系统被开发。这种新方法不但能确定线性错误而且能确定在波长上的平均敏感性(校准线的倾斜)。新测量系统由一个小型的激光干涉仪在以前开发的校准系统里。激光干涉计只通过半波长的整数倍的激光光源来确定必要的位移量。通过使用这个知道位移量,一台位移传感器的平均敏感性和线性误差就可以被绝对确定下来。被提议的方法的准确性只依赖被校验的位移传感器的自身的稳定性以及激光光源的波长。一种电容型非接触位移传感器被校验成功,这种传感器有别于通过信噪比决定的有稳定极限的位移传感器。关键词:绝对校验;位移传感器;灵敏度;非线性。1.序言位移传感器早就被用于极端精密的几何量的测量,例如确定位置,震动以及轴和表面的外形测量。使用特殊的检测技术,位移传感器能达到极其高的分辨率.但是,精确的位移传感器被固有的系统误差影响,例如传感器出产的线性错误(线与校准线的偏差)。尤其,线性错误的影响比分辨率水平的影响要大得多。例如,尽管一些位移传感器有纳米,最大量程却只有100微米,准确地说,主要由于线性误差,只能达到量程的0.2%.另外,特有的线性误差是不稳定,极端精密的测量要求位移传感器频繁校准,使它适应被使用的环境(在原处状态)。不过,一些问题与这样的校准有关。这些问题的困难是涉及到获得比附属纳米分辨率更好的正确参考,并且涉及到怎样执行那些测量系统中需要位移传感器的频繁校正。另外,那些位移传感器需要在原处校准。现在作者提出一种对一些几何传感器来说在原处自校准线性错误的方法,例如一台位移传感器以及一台角度传感器.这种方法也已经被用于校验一台扫描白光干涉计显微镜.被提出的方法是基于获得校准曲线导出功能,校准曲线只是稍微的受那些精确入量影响.这些原理被准确地分析阐明。电子计算机模拟用来确定线性误差,百分之多点的量程,可以使用刚刚提出的方法正确校核。提出的方法的准确只依赖被校验的传感器的稳定性和分辨率。不过,被提出的方法还基于传感器的平均的敏感性被事先给出;因此,只有线性误差(与线

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