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真空理论知识培训教材.doc真空理论知识培训教材.doc

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无锡华润晶芯半导体有限公司WUXICHINARESOURCESSEMICONDUCTORWAFERSCHIPSLTD第1页共23页真空理论知识培训拟制许坤良目录一基础知识二往复式真空泵三旋片式油封机械真空泵四罗茨式真空泵五分子真空泵六油扩散泵七低温泵八真空泵流量的测量方法九冲洗抽气法无锡华润晶芯半导体有限公司WUXICHINARESOURCESSEMICONDUCTORWAFERSCHIPSLTD第2页共23页一基础知识1真空及其度量真空一般是指在给定的空间内,压力低于101325PA的气体状态。在真空状态下,气体的稀薄程度,通常用气体的压力值来表示。真空的主要特性真空状态同正常的大气状态相比较,气体较为稀薄,即单位体积内的分子数目较少,分子之间或分子与其他质点(如电子、离子)之间的碰撞几率减少,分子在单位时间内碰撞于单位表面积(如器壁)上的次数也相对减少。分为“自然真空”和“人为真空”人为真空是指人们对一个容器进行抽气而获得的真空空间。气体的稀薄程度叫真空度。真空度可用气体压强、分子密度、平均自由程和形成一个单分子层的时间来描述,在真空科学与技术中,通常都用气体的压强来表示。气体压强越低,真空度越高。2换算关系1ATM101325105PA(1PA1N/M2)(760MMHG)1ATM760MMHG760TORR(标准大气压)1TORR133322PA(1PA75103TORR00075TORR75MTORR)1BAR105PA750TORR1PA75MTORR1MBAR750MTORR3各真空区域的物理特性及应用低真空1105PA1102PA075TORR750MTORR中真空11021101PA075MTORR高真空11011106PA75MTORR无锡华润晶芯半导体有限公司WUXICHINARESOURCESSEMICONDUCTORWAFERSCHIPSLTD第3页共23页超高真空110611012PA极高真空小于1012TORR31低真空(1105PA1102PA)在低真空状态下,气态空间的特性和常压时相比,没有明显的不同。气体分子仍以杂乱无章的热运动为主,气体分子间的相互碰撞十分频繁。32中真空(11021101PA)在中真空状态下,由于压强较低,气体分子的密度和常压相比已有很大差别。气体的对流现象完全消失。气体流动也逐渐从粘滞流状态过渡到分子流态,即
编号:201311211626280141    类型:共享资源    大小:174.50KB    格式:DOC    上传时间:2013-11-21
  
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