多晶硅生产副产物循环利用规范书.doc

附件一电子信息产业发展基金招标项目多晶硅生产副产物循环利用技术研发及产业化规 范 书中华人民共和国工业和信息化部二一年三月目 录目 录21 总则31.1 一般要求31.2 建议书要求42 项目的目标和主要内容52.1 项目的目标52.2 主要内容53 技术总体要求764 主要经济指标975 产业化要求1086 项目进度考核1197 资金要求12108 附录13111总则多晶硅是半导体电子信息产业和太阳能光伏产业的基础原材料，目前世界生产多晶硅的主流技术为改良西门子工艺，占总产能85%，硅烷法占15%，冶金法尚处于探索研究过程中。3年前，先进的多晶硅生产技术由美、日、德三国掌控，对我国实施技术封锁和市场垄断，国内需求长期依赖进口，近几年，我国多晶硅产业发展迅猛，产业化主要以西门子工艺为主，但该工艺生产过程中，会产生大量的副产物（四氯化硅、二氯二氢硅、氯化氢）等，如不充分恰当回收利用，将难以实现大规模生产，安全、环保都有隐患，产品成本也难有竞争力。因此，多晶硅生产副产物综合利用技术研发及产业化具有广阔的应用前景。本项目是工业和信息化部为了推动多晶硅生产副产物循环利用技术研发及产业化而设立的项目，目的是通过支持从事多晶硅生产的企业，研究将副产物回收综合利用技术，提高副产物循环利用水平，从根本上解决环境污染问题，降低多晶硅生产成本，促进我国多晶硅产业健康发展。本规范书由项目招标方（工业和信息化部）编写，用于提出项目的技术和进度等具体要求，供项目投标单位编写项目建议书及报价之用。项目投标方应在建议书中详细提出实现本规范书所描述各项技术要求的技术实现方案，并满足本规范书提出的各个要求。项目招标方保留对本规范的解释和修改的权利。1.1一般要求1.1.1本规范书用中文书写。项目投标方的建议书和相关资料应用中文书写，并按照下述要求提交： 提交份数：12份（纸质)、1份（电子版） 文件规格：A4、4号宋体，优质纸质封面、封底 截止时间：以工业和信息化部关于2010年度电子信息产业发展基金招标项目的通告的截止时间为准。 接受单位：工业和信息化部电子信息司 联系人：金磊；刘晓馨林涛 联系电话：（010）68208268；（010）6820826287 联系传真：（010）68271654 地址：北京海淀区万寿路27号 邮政编码：1008461.1.2对于本规范未能提出的性能指标，投标方应在建议书内加以补充和说明；1.1.3项目招标方有权在签定最终合同前，根据需要修改本规范书，修改后的最终稿将作为合同的附件。1.2建议书要求1.2.1 本项用来定义项目建议书的内容和格式；1.2.2 项目建议书内容：项目建议书由封面、目录、正文、附录四个部分组成；1.2.3 建议书封面：封面由项目名称，项目负责人，财务负责人，单位负责人，联系电话和日期组成；1.2.4建议书目录：目录标明整个项目建议书各个组成部分的结构和位置；1.2.5建议书正文：正文陈述整个项目的详细设计内容。由项目概述、国内外相关技术与市场发展情况说明、投标单位概况和已有工作基础、技术总体方案、项目实施方案、预期达到的技术经济指标、投标方承担项目的可行性分析、进度安排与考核指标、经费预算和分配方案九个部分组成；1.2.6 建议书附录：附录包括建议书在书写时所需的附加内容；1.2.7 建议书各部分的格式和内容参见附件二的格式和要求。2项目的目标和主要内容2.1项目的目标 通过本项目的实施，在较短的时间（一至两年）内重点扶持技术基础及产业化能力较强的企业，掌握推出回收利用率高、技术先进、实用性好、市场竞争力强、技术先进适于规模化生产、的具有自主知识产权的多晶硅生产副产物循环利用技术，并具备规模化生产能力。2.2主要内容l 自主研制多晶硅副产物（四氯化硅、二氯二氢硅、氯化氢）综合回收、循环利用技术产品，核心技术必须具有自主知识产权。l 在详细分析应用的基础上，保证本项目技术满足市场的主流需求，具有广泛的适用性、较强的市场竞争力。l 提高实现多晶硅闭环生产水平和副产物循环利用水平规模化生产，符合节能环保要求，占有一定的市场份额，取得较好的经济效益、环境效益和社会效益。3技术总体要求多晶硅副产物（四氯化硅、二氯二氢硅、氯化氢）综合回收利用技术总体要求如下。所列项目为必须达到的要求，投标方根据各自条件可选择一项或多项，鼓励投标方根据各自的情况和特点加以扩充和提高。43.1要求多晶硅生产还原尾气采用干法回收。尾气中四氯化硅、氯化氢、二氯二氢硅回收率不低于98.5%、99%、98%。尾气单套系统处理能力7000Nm3/h。34.2 四氯化硅综合利用（注：可选择一项或多项）。（1）低温加压氢化单台氢化炉的四氯化硅转化为三氯氢硅能力处理能力28000kg/h；四氯化硅一次转化率255，。电耗：1.55kwh/kgSiHCl3，系统连续稳定运行。（2）高温氢化单台氢化炉的四氯化硅转化为三氯氢硅处理能力5002000kg/h；四氯化硅一次转化率20，。电耗：43.04.5kwh/kgSiHCl3，系统连续稳定运行。（3）气相白碳黑利用四氯化硅生产气相白碳黑，单套系统生产能力1200t/a，原材料单耗： SiCl4单耗:3 t/tSiO2 ；，氢气单耗：1500N m3/tSiO2； ，HCl回收利用率： 90，回收的HCl气体纯度90，满足多晶硅原料三氯氢硅生产要求气体纯度90，满足多晶硅原料三氯氢硅生产要求，。气相二氧化硅产品满足国标GB/T20020-2005的要求，其中SiO2含量99.8%；比表面积 200m2/g ；PH值3.6-4.5；干燥减量2%；聚集体平均粒径 0.2-0.5m。，系统连续稳定运行。34.3 氯化氢综合利用回收利用氯化氢生产三氯氢硅。单套系统年产能5000吨以上，将还原、氢化尾气中的氯化氢回收送入采用加压三氯氢硅合成装置，合成产物中SiHCl3含量88%，合成尾气也采用干法回收技术，回收的H2和HCl气体返回生产系统三氯氢硅合成装置生产系统，从根本上解决环境污染问题，又提高了原料利用率。43.4 二氯二氢硅综合利用（注：可选择一项或多项）（1）生产多晶硅二氯二氢硅提纯，提纯系统能力2000t/a，提纯后的二氯二氢硅用于生产多晶硅，产品满足电子级多晶硅质量GB/T12963-1996要求。（2）岐化生产三氯氢硅岐化二氯二氢硅生产三氯氢硅，每套装置产能50200t/a，三氯氢硅经提纯后用于多晶硅生产。4主要经济指标多晶硅副产物回收循环利用技术研发与产业化要形成规模化生产应用能力，并有良好的经济效益（经济效益指标由投标方按各自产能情况测算提出）。各部分生产能力大于或等于如下要求：4.1要求多晶硅生产还原尾气采用干法回收。尾气单套系统处理能力7000Nm3/h。4.2 四氯化硅综合利用（注：可选择一项或多项）。（1）低温加压氢化单台氢化炉的年四氯化硅转化为三氯氢硅的量10000吨用年产能考核更能体现装置的稳定性和先进性，容易考核。（2）高温氢化单台氢化炉的年四氯化硅转化为三氯氢硅的量2800吨。（3）气相白碳黑利用四氯化硅生产气相白碳黑，单套系统生产能力1200t/a。4.3 氯化氢综合利用回收利用氯化氢生产三氯氢硅。单套系统年产能5000吨以上。4.4 二氯二氢硅综合利用（注：可选择一项或多项）（1）生产多晶硅二氯二氢硅提纯系统能力2000t/a。（2）岐化生产三氯氢硅岐化二氯二氢硅生产三氯氢硅，每套装置三氯氢硅产能5000t/a。各部分生产能力大于或等于如下要求：4.1要求多晶硅生产还原尾气采用干法回收。尾气单套系统处理能力7000Nm3/h。4.2 四氯化硅综合利用（注：可选择一项或多项）。（1）低温加压氢化单台氢化炉的四氯化硅处理能力8000kg/h。（2）高温氢化经济指标取决于电耗等技术指标和生产规模，可由投标厂家提，折优录用单台氢化炉的四氯化硅处理能力2000kg/h。（3）气相白碳黑利用四氯化硅生产气相白碳黑，单套系统生产能力1200t/a。4.3 氯化氢综合利用经济指标取决于技术指标和生产规模、氢化装置运行状况，本质上讲氯化氢大部分是四氯化硅转化为三氯氢硅反应中产生的，工厂如四氯化硅全部回收利用则氯化氢产生的量达到最大值，三氯氢硅还原过程中产生的氯化氢同时与未参加还原反应的三氯氢硅发生副反应生成四氯化硅，故还原尾气中氯化氢的量只占工厂的一小部分，故经济指标可由各投标厂家提，折优录用回收利用氯化氢生产三氯氢硅。单套系统年产能5000吨以上。4.4 二氯二氢硅综合利用（注：可选择一项或多项）（1）生产多晶硅二氯二氢硅提纯系统能力200t/a。（2）岐化生产三氯氢硅岐化二氯二氢硅生产三氯氢硅，每套装置产能200t/a。5产业化要求l 拥有自主知识产权l 核心技术适应主流市场应用需求l 达到主要经济指标要求l 满足提供规模化应用生产和持续发展规划6项目进度考核 本项目要求在2011年12月之前完成合同要求的所有内容。投标方必须在项目建议书里明确以下考核阶段点的时间进度：l 完成可规模化试生产可规模化试生产的技术研发。l 经过用户使用并取得产品检测报告和用户使用报告。l 实现规模化应用生产能力及相应的市场销售。l 根据项目合同的技术、经济指标进行评审验收。7资金要求7.1承担方应有能力并保证为该项目的实施提供配套资金，配套资金与电子信息产业发展基金的比例至少为5：1，列出项目总费用以及具体费用结构。7.2 承担方应提供上述经费中的用汇预算额度。7.3 承担方应列出项目预算明细，具体报价格式见附录表1。注：其他一栏包括：技术许可费、外协加工费等内容。8附录8.1 提供“项目资金来源及使用情况表”（内容见表1） 8.2 提供“企业股权结构及项目实施目标情况表”（内容见表2）8.3 提供经审计的2007、2008年度和2009年度企业资产负债表、利润及利润分配表、现金流量表等财务报表；如因受公开上市公司信息披露规则所限，无法及时提供经审计的2009年财务报表，应提供经审计的2007年度、2008年度和2009年前三季度投标方财务报表（企业自行制表，并附在建议书后）。8.4 提供已经达成的销售合同或配套协议16表1 项目资金来源及使用情况表资金来源落实情况 及使用计划资金来源项目及使用年份电子发展基金银行贷款企业自筹其它合计资助贴息投资小计投资总概算累计已投入资金计划期