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筑神-建筑下载: QSY，DSY 透明石英玻璃仪器透明石英玻璃仪器 本标准主要用于半导体工业采用的透明石英玻璃仪器。其他冶金、化工、科学研 究等所用透明石英玻璃仪器之技术要求均可参考本标准执行。 透明石英玻璃仪器有 QSY 透明石英玻璃仪器和 DSY 透明石英玻璃仪器两种。 技术要求 1透明石英玻璃仪器的化学成分，热稳定性，抗结晶性和高温变色性，均不低 于同类管材的要求。 2透明石英玻璃仪器在加工过程中，应尽量消除应力，必须保证在常温下逐步 升温至 1100，在炉内自然冷却后无炸裂。 3两种透明石英玻璃仪器均按加工部位的外观指标分为二级（见下表）。 项 目 一 级 二级 加工过程中混入（毫米） 0.10.3 0.31.0 色 斑 允许数量（个/100 厘米2）2 2 吊管接口应做到轴向平行径向 垂直加工表面凸凹不大于所用 管材壁厚 1/2 管材壁厚 管材壁厚 长度未注明非重要部位的自由 公差（毫米） 3 3 外 型 锥度（比例） 15、110、115 15、110、115 磨口与未加工亮面呈直径圆周， 弯曲度（毫米） 1 2 磨 口 磨口内亮面（毫米2） 不允许 8 允许数量（个/100 厘米2）不允许 1 塞口的高低公差（毫米） 3 3 二通活塞对孔误差 1/4 1/3 配 合 多通活塞对孔误差 1/2 3/5 面积（毫米2） 10 1150 水 迹 允许数量（个/100 厘米2）2 2 筑神-建筑下载: 云 雾 在加工复杂器件的过程中不易 避免的部位（半透明云雾） 不允许 不允许 焊接之弯曲处熔合圆滑 必须完全熔合 必须熔合 折料和料疙瘩处厚度 在壁厚公差范围内在壁厚公差范围内 炸裂纹 不允许 不允许 焊 接 析晶和指纹印 不允许 不允许 注： 密封性检验方法： 将水盛入磨口仪器中， 在不涂油脂的情况下， 将塞塞紧， 倒翻 10 次，每次在 10 秒内，用滤纸擦试无渗出水液为封口性能合格。 QSY 透明石英玻璃仪器的非主体部分，在不影响性能的情况下，可用外径 D19 毫米以下的 DTS1 透明石英玻璃管（棒）。 4透明石英玻璃仪器，非加工部位（允许加工后达到要求）的技术要求如下。 （1）QSY 透明石英玻璃仪器： 仪器的一级品外观指标不低于相应管材的二级品； 仪器的二级品外观指标不低于租应管材的三级品。 （2）DSY 透
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