刻蚀工序作业指导书简述

刻蚀工序作业指导书1. 目的规范晶硅电池片生产中刻蚀工序的各项操作。2. 范围适用于本公司晶硅125单晶电池片生产中刻蚀工序的操作指导。3. 定义无4. 规范性引用文件无 5. 职责5.1 工艺工程师编制刻蚀工序作业指导书，并培训和指导操作员工进行操作。5.2 生产部操作员工按照作业指导书的要求进行操作。6. 内容6.1 刻蚀岗位上料前作业指导书，见2/17页。6.2 刻蚀岗位上料作业指导书，见4/17页。6.3 刻蚀岗位下料作业指导书，见6/17页。6.4 刻蚀岗位下料后作业指导书，见8/17页。6.5 刻蚀岗位方块电阻测试作业指导书，见9/17页。6.6 减薄量测试作业指导书，见11/17页。6.7 刻通效果测试作业指导书，见12/17页。6.8 防护品使用及交接作业指导书，见13/17页。6.9 集中供液换液作业指导书，见15/17页。7. 记录7.1 电池生产记录表 SH-QM3-Eng003-F018. 支持性文件8.1 各工序返工片和碎片处理作业指导书 SH-QM3-Eng0089. 附录9.1 无 刻蚀岗位上料前作业指导书相关夹具：无操作提示：戴好帽子和口罩，双手戴汗布手套，乳胶手套。下料左手加戴一次性手套（乳胶手套2小时更换一次，一次性手套300片换一次）备注：接触刻蚀后硅片双手均戴一次性手套。相关夹具：无操作提示：禁止传递窗两侧同时开启。1.操作准备2.打开传递窗相关夹具：承载盒 操作提示：双手握承载盒由传递窗最多一盒相关夹具：承载盒操作提示：承载盒连同流程单按顺序轻放于上料工作台上摆放整齐，切勿震碎硅片。3.传递窗取片4.放片于上料工作台相关夹具：承载盒操作提示：关闭传递窗。然后检查硅片是否有新的配料单，如果有新的配料单，检查配料单上硅片阻值大小，如是低阻硅片（0.51.5/sqr）请先通知工艺技术员确认。相关夹具：承载盒操作提示：双手轻握住硅片,取出后竖放于层压皮上，检查是否有缺角或损坏硅片。检查扩散面外观，是否有不良片.挑出不良片（层压皮每班使用前用酒精棉布擦拭）。5.关闭传递窗6. 检查硅片相关夹具：卸片盒操作提示：不良片放于指定位置相关夹具：卸片盒操作提示：每五张单子抽测一次，每次取一单的不连续的5片，测试刻前重量及方阻。 7. 不良片放于指定位置8.取测试片相关夹具：电子天平 操作提示：参照减薄量测试作业指导书见11/17页相关夹具：四探针测试仪操作提示：参照刻蚀岗位方阻测试作业指导书 见9/17页9.刻前硅片重量测试10.刻前方阻测试相关夹具： 操作提示：记录刻前重量及方阻并提交与MES系统中。相关夹具：操作提示：投片前确认设备状态，设备处于自动模式运行，且设备运行灯显示绿色，确认工艺文件正确，并使上料计数归零。 11.数据记录12.设备状态确及计数归零刻蚀岗位上料作业指导书相关夹具：承载盒 操作提示：取一单的大约1/3，准备上料相关夹具：承载盒操作提示：左手捏住片子一侧的中间部位，拇指轻推将片子捻开，捻片动作要轻，柔。1.取片2上料捻片相关夹具：承载盒操作提示：扩散间出来的片子为一正一反放置，所以一定确认扩散面。颜色深为扩散面，扩散面朝上放置。相关夹具：无 操作提示：扩散面朝上，硅片上轻放于传动轨道上，且要放正，放稳,并且从第一根滚轮开始放非扩散面 扩散面3. 区分正反面4. 上料相关夹具：无 操作提示：上料过程中观察是否有不良片，放于工作台指定卸片盒内。如缺角，裂纹做报废处理；针孔退库，色斑，吸笔印，水纹印，盒边印，手指印做返工处理。相关夹具： 操作提示：上料时从1-5道的顺序依次放置 ，硅片斜线前进5上料检查硅片 6.按1-5道顺序投放硅片相关夹具： 无操作提示：两片之间的间距大于5-7cm 备注： 至少间隔一个滚轮。相关夹具：无操作提示：抽测减薄量与方阻的硅片投放时要与前后投放的硅片区别开，5片并列放齐。（测试片允许用手推齐）7.放片间距8.抽测硅片的投放相关夹具：操作提示：一张流程单投完后确认数目。相关夹具：操作提示：一张流程单投完后确认数目。准确，完整填写上料数据于电池生产记录表SH-QM3-Eng003-F01。9.上料卡数10. 表单填写上料不良片类型缺角（报废）对角裂纹（报废）中间裂纹（报废）针孔（退库）白点手指印吸笔印盒子印水纹片备注： 除有标报废与退库的，其余为上料返工片。色斑色斑刻蚀岗位下料作业指导书相关夹具：承载盒 吸笔操作提示：下料承载盒放置开口端朝下，闭口端朝上。限放5盒。相关夹具：汗布手套 乳胶手套 一次性手套操作提示：下料人员要先依次戴好汗布手套和乳胶手套。最后再在双手最外层戴上一次性手套。1.空承载盒放于下料台2 戴好一次性手套 相关夹具：承载盒操作提示：右手轻轻拿起下料处硅片，靠近承载盒最底部的左右两边慢慢平行插入。相关夹具：承载盒 吸笔操作提示：从插第二片硅片开始沿着第一片的平行推进插入，将硅片的3/4插到承载盒内并留1/4长度在外面。一盒插满后用手背将盒中硅片全部轻推进承载盒底部。3. 插入第一片4. 下料插片相关夹具：承载盒操作提示：满一盒把承载盒竖成45角，让硅片轻轻滑下。相关夹具：承载盒 小推车操作提示：硅片整齐，轻放于小推车。小推车车底垫泡沫板，泡沫板铺垫整齐。5. 插满后抬起承载盒6.放于小推车相关夹具：电子天平 操作提示：参照减薄量测试作业指导书见11/17页。 备注： 刻蚀后加戴一次性手套测试。 相关夹具：四探针测试仪操作提示：参照刻蚀岗位方阻测试作业指导书见9/17页。 备注： 刻蚀后加戴一次性手套测试。7.测试片刻后称重8.测试片刻后方阻测试相关夹具：冷热探针测试仪 操作提示：每张单子测试5片（1-5道）。测试参照刻通效果测试作业指导书见12/17页。 备注： 刻蚀后加戴一次性手套测试。相关夹具：承载盒 操作提示：下料完一单后，核实流出数目。9.确认是否刻通10.下料核实数目备注1：生产过程中，生产人员查看片子走动情况不得打开窗户。 备注2：每次间隔一段时间重新投料时，上料人员通知下料人员或测试人员，下料人员或测试人员从上料端巡查到下料端，观察片子走动情况，是否有卡片等异常出现，尤其关注风刀、水刀部位。备注3：如下料发现某道未有片子走出，请立即与上料人员核实情况，如是卡片，停止上料，迅速巡查并确定位置，并通知工艺和设备人员。注: 查看生产中片子走动下料返工类型没刻通（图片为硅片背面）正面滚轮印过刻（刻蚀印大于1.5mm）注：另外下料测试不合格硅片（减薄量不合格，冷热探针测试30mV，方阻提升异常）均要返工，详细见6.5-6.7测试环节。刻蚀岗位下料后作业指导书相关夹具：无操作提示：填写生产数据与生产记录表，包括流出数目，碎片等。参看表格电池生产记录表：SH-QM3-Eng003-F01相关夹具：承载盒 小推车操作提示：下料硅片满一单，由小推车推到PECVD，硅片和小推车一起留在PECVD间1.表单填写2.推至PECVD相关夹具：承载盒 小推车操作提示：把载有空盒的小推车推回刻蚀间相关夹具：电脑操作提示：MES系统提交流程单3.空盒返回4.系统提交流程单相关夹具：承载盒 吸笔操作提示：每生产完一张流程单硅片留一段间隔后继续投下一张流程单硅片。相关夹具：无操作提示：当班生产结束后，整理小推车碎片，并将本班碎片及返工片包好，按各工序返工片和碎片处理作业指导书要求处理（碎片送至统计差异处登记，返工片送回返工工序登记返工）。5.持续生产6.碎片、返工片处理刻蚀岗位方块电阻测试作业指导书相关夹具：无操作提示：打开电源开关，初次测量时，要先预热15min。相关夹具：四探针测试仪操作提示：使“R”“I”各个指示灯亮。电流档位是0.1MA。1. 操作准备2. 检查指示灯相关夹具：无操作提示：把电流档位从0.1MA调至10MA。相关夹具：承载盒、吸笔操作提示：测试刻蚀前方阻如图，任意取5片（注意颜色深为扩散面）。 3.调节电流档位4.准备硅片相关夹具：无操作提示：扩散面向上,把硅片放到测试台上,片子轻轻靠住定位块,确保了测试点正好是硅片的中心点。相关夹具：四探针测试仪操作提示：用手按下“下降”按钮使针头平压在硅片上。6. 放置硅片7.按“下降”按钮相关夹具：四探针测试仪操作提示用手轻轻旋转调节按钮，用手旋转粗调旋钮“Rough”或者细调旋钮“Fine”。 相关夹具：四探针测试仪操作提示用手轻轻旋转调节按钮使电流值4.530MA（单晶电流校对值）8.校准电流9. 电流显示相关夹具：四探针测试仪操作提示：把“I”的指示灯切换至R/P相关夹具：四探针测试仪操作提示：待R数值稳定时读取数值。方阻提升2-8正常，异常通知工艺。备注：通常刻前方阻不高于50，刻蚀不高于55，异常联系工艺。10.切换指示灯11.显示数值相关夹具：吸笔操作提示：按下“上升”按钮，取出测试好的硅片。相关夹具：无操作提示：将R的测试数值记录在电池生产数据记录表上，见“电池生产记录表” SH-QM3-Eng003-F01，并MES系统提交数据。14. 按“上升”按钮15. 记录数值2019整理的各行业企管，经济，房产，策划，方案等工作范文，希望你用得上，不足之处请指正减薄量测试作业指导书相关夹具：电子天平操作提示：称量前调试天平显示为0相关夹具：电子天平操作提示：推开右侧窗口1. 电子天枰调试2. 推开窗口相关夹具：电子天平操作提示：硅片轻轻平放，然后并关闭右侧窗口，读取数据。刻蚀后称重加戴一次性手套。相关夹具：电子天平操作提示：依次称量硅片。 3. 轻放于天枰上4.按顺序称量 相关夹具：无操作提示：按顺序记录硅片重量与生产记录表，参看文件SH-QM3-Eng003-F01，并提交于MES系统。减薄量范围0.035g-0.075g（125S）正常，异常通知工艺。相关夹具：无 操作提示：归还给上下料人员。 5.按顺序记录数据6.硅片归还刻通效果测试作业指导书相关夹具：冷热探针测试仪 操作提示：按POWER键打开电源相关夹具：冷热探针测试仪 操作提示：调节量程为200MV1打开电源2.调节量程 相关夹具：冷热探针测试仪 操作提示：左手拿硅片，使硅片一侧接触冷热两个探针，右手拿有黑线的笔并接触热探针。四条边都要测。相关夹具：冷热探针测试仪操作提示：显示数值大于等于30MV，为刻通，小于30MV通知工艺人员3.硅片放置4.数据显示相关夹具：冷热探针测试仪操作提示：按POWER键关闭电源。相关夹具：冷热探针测试仪操作提示：硅片交换给下料人员。5.关闭电源6硅片交还防护品使用及交接作业指导书相关夹具：乳胶手套、PH试纸操作提示：戴好乳胶手套检查防酸手套上外部及内部有无水迹。（如有：用PH测试纸检测，确认后使用）如有异常通知领班及时更换。相关夹具：气枪、防酸手套操作提示：将手套中吹入空气，握紧手套口，检查是否有漏气想象。如有异常通知领班及时更换。1防酸手套2防酸手套有无破损相关夹具：PH试纸操作提示：检查过滤罐使用期限，防毒面具外部及内部是否有水迹，（如有：用PH测试纸检测，确认后使用）。如有异常通知领班及时更换。相关夹具：防毒面具操作提示：戴好防毒面具，向外吹气，检查透气性是否良好。面具镜片上是否有水珠及雾状。呼吸时是否有异味。如有异常通知领班及时更换。3防毒面具检查4检查防毒面具密封性相关夹具：PH试纸操作提示：检查外部及内部是否有水迹，（如有：用PH测试纸检测，确认后使用）检查是否有破损现象。帽子系带是否完好。上衣纽扣是否完好。如有异常通知领班及时更换。相关夹具：PH试纸操作提示：检查外部及内部是否有水迹，（如有：用PH测试纸检测，确认）检查是否有破损现象。带是否完好。如有异常通知领班及时更换。5防护服6防护裤相关夹具：无操作提示：防酸手套内至少戴二层以上层乳胶手套。相关夹具：无操作提示：穿戴好防护用品后，两个换液人员相互检查佩戴防护用品是否合格。7正确穿戴8确认检查相关夹具：无操作提示：戴着防酸手套用流水将手套冲洗2分钟。相关夹具：无操作提示：再将防酸手套脱下用水冲洗。再将手套用气枪吹干。放在指定的线别区域。9 防酸手套一10防酸手套二相关夹具：无操作提示：将防毒面具摘下。相关夹具：无操作提示：用干净的抹布将防毒面具擦拭干净，再将过滤罐的盖子盖好。放在指定的线别区域。将使用过的擦拭布丢入酸性废弃物垃圾桶内11防毒面具12防毒面具相关夹具：无操作提示：将防护服脱下。相关夹具：无操作提示：防护裤脱用干净的抹布擦拭干净，放在指定的线别区域内。将使用过的擦拭布丢入酸性废弃物垃圾桶内。13防护服14防护裤相关夹具：无操作提示：按照线别标整齐摆放好防护用品。相关夹具：无操作提示：交接班按线别分开交接。15摆放16. 交接班集中供液换液作业指导书相关夹具：无操作提示：防护用具包括：防护服、防毒面具、防酸手套、防护鞋。未佩戴防护用具的人员不可以进行任何换液操作流程。换液必须双人操作，工序长或领班、主管监督确认每一步操作流程。相关夹具：无操作提示：换液人员检查确认集中操作屏画面所需换的化学品。1佩戴好防护用具2集中供液机操作屏相关夹具：无操作提示：用于打开化学桶的回液口的盖子。在穿戴防护用品前必须检查防护用品并在防护用品使用检查记录表上签名后，进行换液操作。相关夹具：无操作提示：使用清洗间集中供液换液专用的升格叉车。3工具、防护用品检查4准备升格叉车相关夹具：无操作提示：液压车操作员及换液操作员佩戴好防护用品后，将化学品桶的抽液口与回流口正确放置,使其在回流管与抽液管正下方.相关夹具：无操作提示：液压车操作员检查化学桶上的标签，是否为所需要更换的化学品。5准备化学品6核对化学品相关夹具：无操作提示：换液操作员在操作显示屏上点击“起用”，将“起用”状态切换为“停止”状态.相关夹具：无操作提示：检查操作显示屏上是否为停止状态，显示为停止状态时才可以进行换液操作。7集中供液机操作8集中供液机操作相关夹具：无操作提示：换液操作员关闭回流管及抽液管球阀以及需要更换化学桶的抽液阀。相关夹具：无操作提示：将回流及抽液管接口慢慢拧松0.53圈（先拧松0.5圈，如残液不回流，再拧松半圈，依次类推直至残液回流），让管内残液回流至化学桶内。切勿完全拧开，否则会造成污染和伤害。9关闭回流及抽液阀10稍稍拧松接口至残夜回流相关夹具：无操作提示：将回流管取下，拧下抽液管与桶的连接阀。注意回流及抽液管接头密封胶圈。将空桶桶盖装好并拧紧。相关夹具：无操作提示：双人操作取下空桶,(换液操作员扶住化学桶，液压车操作员拉升格叉车将换下的空化学桶按标签放置在专用区域)并将桶上“满桶”标签撕下。11松下回流及抽液管12取下空桶相关夹具：吸液棉操作提示：用吸液棉将空桶上的残留化学品清理干净。将使用过的吸液棉丢入酸性废弃垃圾桶内。 相关夹具：缠绕膜操作提示：使用缠绕膜将空桶包好后放于指定位子。 13 清理残液14 包装空桶相关夹具：无操作提示：双人操作，化学品名称双人确认，将新的化学桶铲上叉车,送至换液处。换液操作员再进行化学品标签确认。过程