SJT 10097-1991 F-250／1400型立式涡轮分子泵.pdf

Si 中华人民共和国电子工业行业标准 S J / T 1 0 0 9 7 - - 9 1 F一 2 5 0 1 4 0 0 型立式涡轮分子泵 1 9 9 1 - 0 4 - 0 8 发布 1 9 9 1 一 0 7 - 0 1实施 中华人民共和国机械电子工业部发布 中 华 人 民 共 和 国 电 子 工 业 行 业 标 准 F一 2 5 0 1 4 0 0型立式涡轮分子泵 S J / T 1 0 0 9 7 -9 1 主.内容与适用范围 本标准规定了F -2 5 0 / 1 4 0 0 型立式祸轮分子泵的产品分类、 技术参数、 技术要求、 试验方 法、 检验规则和标志、 包装、 运输、 贮存等要求。 本标准适用于F -2 5 0 / 1 4 0 0 型立式涡轮分子泵( 以下简称“ 泵” ) . 2 弓 1 用标准 G B 1 9 1包装储运图示标志 G B 5 0 8 0 . 7设备可靠性试验 恒定失效率假设下的失效率与平均无故障时 间的验证试验方案 G B 6 0 7 0 . 4活套真空法兰 G B 6 5 8 7 . 1 -6 5 8 7 . 6电子侧量仪器环境试验 G B 7 7 7 2变容真空泵噪声试验方法 G B 7 7 7 3变容真空泵振动试验方法 G B 7 7 7 4涡轮分子泵性能试验方法 G B 1 1 4 9 1立式涡轮分子泵通用技术条件 S J 3 1 9 2立式涡轮分子泵型式与基本参数 S J 1 6 5 8 - 1 6 6 。铜丝密封超高真空 法兰 J B 8产品标牌 3 产品分类 泵的结构型式与技术参数应符合S J 3 1 9 2 和本标准的规定。 3 . 1 结构型式 3 . 1 . 1 泵由主机和电漂构成。 3 . 1 . 2 主机为立式结构， 主要由泵体、 涡轮组件、 电机、 润滑系统和烘烤装置等组成。 3 . 1 . 3 电源为电子变频电源。 3 . 2 型号 中华人民共和国机械电子工业部 1 9 9 1 - 0 4 - 0 8批准1 9 9 1 - 0 7 - 0 1 实施 一1 一 S 3 / T 1 0 0 9 7 - 9 1 泵的型号组成和含义如下 F2 5 0 / 1 4 0 0 体积流率 进气 口通径 立式涡轮分子泵代号 技术要 求 4 . 1 技术参数 a . 体积流率( 对干燥空气) 1 4 0 0 L / s ; b . 极限压力1 。 一 毕a ; c . 压 缩 比对 N 1 0 ; 对 Hz 1 0 4 ; d . 起动时间1 0 mi n ; e . 振动0 . 3 p m; f .噪声7 0 d B; g . 冷却水耗量6 0 L / h , 4 . 2 其他参数 a . 进气 口通径2 5 0 mm; b . 出气口通径6 3 mm; c . 电源输入电压( 5 0 H z ) 2 2 0 V士1 0 %; d . 电源消耗功率4 4 0 V A; e . 电源起动功率2 0 0 0 V A; f . 重量主机6 5 k g ; 电 源 2 5 k g , 4 . 3 一般要求 4 . 3 . 1 泵的技术要求应符合 G B 1 1 4 9 1和本标准 4 . 1 , 4 . 2 条的规定， 并按经规定程序批准的 设计图样和技术文件制造. 4 . 3 . 2 泵在下列环境条件下应能正常工作: a . 环境温度0 -4 0 0C; b . 空气相对湿度8 5 %; c . 冷却水进水温度2 5 0C, 4 . 3 . 3 泵的进气口法兰及密封圈应符合S J 1 6 5 8 -1 6 6 0的规定. 4 . 3 . 4 泵的出气口法兰及密封圈应符合GB 6 0 7 0 . 4 的规定。 4 - 3 . 5 为了防止异物进入泵内， 泵的进气口应设置不锈钢过滤网， 并加以固定。 4 . 3 . 6 泵安装时， 应使主机的轴线垂直于水平线。其垂直度偏差应小于 5 0 , 4 . 3 . 7 当被抽系统振动较大或被抽系统对振动要求特别小时， 泵与被抽系统间应设置减振装 置 。 4 . 3 . 8 泵应采用饱和燕汽压不高于 3 X 1 0 - P a ( 在常温下) 的专用润滑油润滑轴承， 并设置油 量指示标志。 一2 一 S J / T 1 0 0 9 7 -9 1 4 . 3 . 9 泵应避免抽除带粉尘、 腐蚀性或爆炸性气体.泵在正常工作时不允许有强烈振动和电 磁场干扰 。 4 . 3 . 1 0 为了除气， 对泵体、 测试罩和真空测量规管进行洪烤时， 其供烤温度不得超过以下规 定 : a泵体1 2 0 c; b . 测试罩3 5 0 C; c . 测量规管4 0 0 C , 4 . 3 . 1 1 泵所配置的前级泵应符合下列要求: 压力1 O P a ; 体积流率)1 5 L / s , 4 . 3 . 1 2 泵应在 4 . 3 . 1 1 条规定的前级压力下启动和工作。泵在正常工作时应防止暴露大气。 4 . 3 . 1 3 电源输出的三相线电压应对称， 其不对称性不得超过士0 . 5 V, 4 . 4安全要求 4 . 4 . 1 绝缘电阻 泵的电动机和烘烤装置对泵体、 电源线路对箱体， 应有可靠的绝缘措施， 其绝缘电阻不小 于 2 Mn。 4 . 4 . 2 水流保护装置要求 冷却水流量应符合设计图样要求， 且具有保护装置。 4 - 4 - 3 电流保护装置要求 电源输出电流不应大于设计图样规定值， 且有保护措施。 4 - 5 可靠性要求 4 . 5 . 1 平均无故障工作时间( MTB F ) 主机和电源在正常工作条件下的平均无故障工作时间( MT B F ) 应达到以下要求: 主机)8 0 0 0 h ; 电 源)2 0 0 0 h . 4 . 5 - 2 连续运转试验 主机和电源配套试车后， 应连续进行5 0 0 h的运转试验。 4 . 6 产品成套性要求 a泵主机1台 ， b . 电源装置1 台; c . 备附件1 套; d随机文件 产品技术说明书1 份; 产品合格证1 份; 装箱单1 份; 备附件清单1 份。 试验 方法 5 . 1 一般要求的检查 泵的一般要求用常规仪器及方法检测。 一3 一 S J / T 1 0 0 9 7 -9 1 5 . 2 体积流率、 极限压力和起动时间的测试 体 积流率、 极限压力和起动时间的 测试按G B 7 7 7 4 规定进行。 5 . 3 一压缩比的测试 压缩比的测试除按 G B 7 7 7 4规定外， 测试氮气( N z ) 的压缩比时， 还应采用具有足够分辨 率、 质量数为 1 -1 0 0 的质谱分压计进行监测。 5 . 4 振动和噪声的测试 5 . 4 . 1 泵应牢固地固定在刚性测试架上， 测试架的重最应大于被测泵重量的四倍。 5 . 4 . 2 泵的出气口 与前级泵进气口之间应采用金属波纹管或真空橡胶软管连接。 5 . 4 . 3 泵正常运转 1 小时后， 按GB 7 7 7 3 规定测量泵的振动， 测量位置如图示 A, B , C, D, E, F各 点。 5 - 4 . 4 泵正常运转 1 小时后， 前级泵停止运转， 立即按G B 7 7 7 2 规定测量泵的噪声。 5 . 5 冷却水耗摄测试 泵在正常工作时， 用流量计或其它仪器在出 水口 测量冷却水耗量。 5 . 6 安全要求检查 5 . 6 . 1 绝缘电阻检查 拆除主 机与电源之间电连接， 用交流5 0 0 V 摇表测量电源进线插头对电源外壳 绝缘电阻， 以 及主机插头各引线柱对主机外壳的 绝缘电阻， 5 . 6 . 2 水流保护装置检查 泵起动后， 人为地改变冷却水流量( 或压力) ， 观察保护装置的可靠性， 当流量( 或压力) 低 于规定值时， 电源应自动断开， 并报警。 5 . 6 . 3 电流保护装置检查 通过对电源启动电流的测量， 检查电流保护装凳的可靠性。检查时， 用交流钳式电流表侧 电源起动时输入电 流值。 测起动电流前， 应拆除电 漂后部电流测it柱的短路片， 串 入2 0 A的直 流电流表( 附分流器) ， 测量主机静态起动时的最大电流， 观察多次所测得的数据是否相同. 与 本标准 4 . 2条的规定一致。 5 . 7 可靠性试验 5 . 7 . 1 平均无故障工作时间试验 一4 一 S J / T 1 0 0 9 7 -9 1 主机和电源的平均无故障工作时间按 G B 5 0 8 0 . 7 规定的“ 定时截尾” 试验方案 5- 3 进行 试验。 5 . 7 . 2 连续运转试验 主机与电源配套试车后， 按本标准 4 . 5 . 2 条规定时间， 进行运转试验， 检查泵的运转情况. 5 . 8 产品成套性检查 按本标准 4 . 6 条规定， 检查产品、 资料是否齐全。 6 检验规 则 6 . 1 泵须经制造厂检验部门检验合格， 并且有质2合格证， 方能出厂. 6 . 2 泵的检验分交收检验和定型检验。 6 . 21 交收检验必须逐台进行， 检验项目一般包括: a . 一般要求检查; b . 绝缘电阻测量; c . 水流保护装置检查; d . 电流保护装置检查; e . 极限压力的测量; f . 振动测量; 9 . 冷却水耗量的测量; h . 连续运转试验; 1 . 产品成套性检查. 6 . 22 凡新试制的产品或在产品结构、 制造工艺、 使用材料等方面有重大改变和批量生产时， 应进行定型检验。 6 . 2 . 2 . 1 定型检验的项目包括: a交收检验的所有项目; b .压缩 比; c . 体积流率; d . 起动时间; e . 噪声 ; f . 平均无故障工作时间。 6 - 2 - 2 . 2 批量生产的产品每两年抽试一次， 抽试台数为: 每批2 0台以下者. 抽 1台; 每批2 0台以上者， 抽 2台。 6 . 2 . 2 . 3 抽样检验如有不合格项目者， 应对该项目加倍抽样检验; 如仍有不合格者， 该批泵判 为不合格产品。 6 . 3 用户在遵守保 管和使用规则条件下， 从到货( 到站、 到港) 之日 起， 一年内 因产品制造质通 不良而发生故障不能正常工作时， 制造单位应负责包修或包换。 标志 、 包装、 运翰和贮 存 7 . 1 每台泵应在明显位置装有产品标牌， 标牌的型式及尺寸应符合J B 8 规定。 产品标牌至少 应注明以下内容: 一5 一 S J / T 1 0 0 9 7 - 9 1 氏产品型号及名称; b . 制造厂厂名; 产 品编号 ， d . 制造日期。 了2 泵包装前应排除冷却水管内的积水和油杯内的润滑油， 并将泵的进气口和出气口用盖板 封严。 7 . 3 主机和电源包装时， 分别先用塑料薄膜罩封， 再用发泡塑料封装。然后， 分尉或合装在包 装箱内， 并加以固定封牢. 电源用塑料薄膜罩封时应放入千燥剂( 如硅胶) 。 当分子泵附有