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江苏江苏无锡无锡 SK 系统集成电路(无锡)有限公司系统集成电路(无锡)有限公司 年产年产 138 万片万片 8 英寸非存储晶圆项目英寸非存储晶圆项目 场地场地土壤土壤及地下水及地下水调查报告调查报告 (网络公示征求意见稿网络公示征求意见稿) SK 系统集成电路(无锡)有限公司系统集成电路(无锡)有限公司 南京国环科技股份有限公司南京国环科技股份有限公司 2019 年年 07 月月 目 录 1 前 言. 1 1.1 企业介绍 . 1 1.2 项目由来 . 1 1.3 主要调查结论 . 3 2 概述. 1 2.1 调查目的 . 1 2.2 调查原则 . 1 2.3 调查依据 . 1 2.3.1 国家有关法律、法规及规范性文件 1 2.3.2 地方有关法规、规章及规范性文件 2 2.3.3 相关技术规范、标准及导则 2 2.3.4 调查/检测技术规范 . 3 2.3.5 其他相关文件 3 2.4 技术路线及工作程序 3 2.4.1 总体技术路线 3 2.4.2 资料收集方案 5 2.4.3 现场踏勘 6 2.4.4 人员访谈 7 2.5 地理位置及调查范围 . 7 2.6 主要工作内容 . 7 2.6.1 污染识别 7 2.6.2 取样监测 7 2.6.3 结果评价 7 3 场地周边环境概况. 8 3.1 地理位置 . 8 3.2 地形地貌 . 8 3.3 水文条件 . 8 3.4 气象条件 . 9 3.5 自然资源 . 10 3.6 厂区周围环境概况 . 10 3.6.1 厂区四至情况调查 11 3.6.2 土壤环境调查 11 3.6.3 地下水环境调查 12 3.6.4 其它环境调查 13 4 场地及周边土地使用历史、规划. 13 4.1 场地使用功能历史演变情况 . 13 4.2 场地周边土地使用历史演变情况 . 16 4.3 场地土地利用规划情况 . 17 5 污染识别. 18 5.1 场地环境影响识别 . 18 5.2 与污染物迁移相关的环境因素分析 . 18 5.2.1 场地地质情况及与污染物迁移关系分析 18 5.2.2 场地水文地质概况及与污染物迁移关系分析 22 5.4 场地潜在污染源分析 . 22 5.5 污染识别小结 . 22 6 采样调查分析. 24 6.1 采样调查方案 . 24 6.1.1 采样调查布点 24 6.1.2 采样深度及数量 25 6.1.3 采样样品分析方案 27 6.2 现场采样组织及实验室分析控制 . 29 6.2.1 现场采样方法和程序 29 6.2.2 采样方法和程序 29 6.2.3 采样过程中二次污染防控 35 6.2.4 实验室分析 36 6.2.5 质量保证和质量控制 39 6.3 现场采样及送检 . 45 6.3.1 采样时间 45 6.3.2 现场采样 45 6.3.3 样品送检方案 47 6.3.4 送检因子方案 48 6.4 采样调查结果统计及评价 . 49 6.4.1 评价方法及标准 49 6.4.2 土壤监测结果统计及评价 53 6.4.3 地下水监测结果统计及评价 57 6.5 采样调查小结 . 62 7.结论. 63 7.1 调查过程及结果汇总 . 63 7.2 场地土壤和地下水环境状况确认 . 64 7.3 建议 . 64 附附 件件 附件 1:SK 海力士系统集成电路(无锡)有限公司工商登记; 附件 2:土地租赁协议; 附件 3:SK 海力士系统集成电路(无锡)有限公司年产 138 万片 8 英寸非存储晶圆项目立项文件; 附件 4:不动产权登记; 附件 5:厂房项目环评登记; 附件 6:土壤和地下水监测报告; 附件 7:监测单位资质文件; 附件 8:质控报告; SK 系统集成电路(无锡)有限公司年产 138 万片 8 英寸非存储晶圆项目场地土壤和地下水环境调查报告 1 1 前前 言言 1.1 企业介绍企业介绍 SK 海力士系统 IC 公司(SK Hynix System ic Inc.) 是由全球半导体领头企业之一的 韩国 SK 海力士株式会专业从事半导体制造企业。在全球有多个投资项目。 SK 海力士半导体(中国)有限公司位于中国无锡新区意法路,属于 SK 海力士系 统 IC 公司(SK Hynix System ic Inc.)在中国投资建设的工厂,该工厂主要生产 12 英寸 半导体集成电路芯片,应用范围涉及个人电脑、服务器、移动存储等领域。为了进一步 弥补中国市场 8 英寸集成电路生产的空白, 2018 年, SK 海力士系统 IC 公司 (SK Hynix System ic Inc.)在中国无锡成立了 SK 海力士系统集成电路(无锡)有限公司,并负责 投资进行 8 英寸非存储晶圆芯片项目的建设,其工商登记入附件 1 所示。 为了实施 8 英寸非存储晶圆芯片项目,SK 海力士系统集成电路(无锡)有限公司 租用了海辰半导体 (无锡) 有限公司位于新吴区新鸿路以东、 锡张高速以西地块的厂房、 供水供电、土地等基础设施(租用协议如附件 2),向无锡国家高新技术产业开发区管 理委员会申请备案了SK 海力士系统集成电路(无锡)有限公司年产 138 万片 8 英寸 非存储晶圆项目(附件 3)。 新吴区新鸿路以东、锡张高速以西地块及附属厂房、基础供电、供水等设施属于海 辰半导体(无锡)有限公司,土地性质为工业用地,土地所属如附件 4 所示。海辰半导 体(无锡)有限公司已经完成海辰半导体(无锡)有限公司新建 8 英寸非存储晶圆厂 房项目项目环评工作(附件 5)。 SK 海力士系统集成电路(无锡)有限公司拟投资 55.109 亿元人民币(合计 8.25 亿美元),租用海辰半导体(无锡)有限公司位于新吴区新鸿路以东、锡张高速以西地 块的厂房、供水供电、土地等基础设施,建设SK 海力士系统集成电路(无锡)有限 公司年产 138 万片 8 英寸非存储晶圆项目,项目总占地面积 187158.5 平方米。 1.2 项目项目由来由来 工矿用地土壤环境管理办法(试行)自20182018年年8 8月月1 1日日起施行,网址: 要求: “第七条第七条 重点单位新、改、扩建项目,应当在开展建设项目环境影响评价时,按 照国家有关技术规范开展工矿用地土壤和地下水环境现状调查,编制调查报告,并按规 SK 系统集成电路(无锡)有限公司年产 138 万片 8 英寸非存储晶圆项目场地土壤和地下水环境调查报告 2 定上报环境影响评价基础数据库。” 同时,根据2 2018018年年1 10 0月月1 10 0日日,部长信箱回复(网址: “一、针对工矿用地土壤环境管理办法(试行)第三条有关问题的答复 根据我部发布的重点排污单位名录管理规定(试行)第七条,具备下列条件之 一的企业事业单位,纳入土壤环境污染重点监管单位名录。 (一)有事实排污且属于土壤污染重点监管行业的所有大中型企业。 土壤污染重 点监管行业包括:有色金属矿采选、有色金属冶炼、石油开采、石油加工、化工、焦化、 电镀、制革等。各地可根据本地实际情况增加相关土壤污染重点监管行业。 (二)年产生危险废物100 吨以上的企业事业单位。 (三) 持有危险废物经营许可证, 从事危险废物贮存、 处置、 利用的企业事业单位。 (四)运营维护生活垃圾填埋场或焚烧厂的企业事业单位,包含已封场的垃圾填埋 场。 (五)三年内发生较大及以上突发固体废物、危险废物和地下水环境污染事件,或 者因土壤环境污染问题造成重大社会影响的企业事业单位。 除了工矿用地土壤环境管理办法(试行)第三条前两款规定的企业外,符合 以上条件的企业事业单位,都可纳入土壤环境污染重点监管单位名录。 目前各地方已 陆续发布土壤环境重点监管单位名单。” 本项目属于工矿用地土壤环境管理办法(试行)中应该纳入重点监管单位的情 形, 同时应该在新改扩建项目环评时开展土壤和地下水现状调查工作, 并编制调查报告, 调查报告主要内容通过其网站等便于公众知晓的方式向社会公开。 鉴于以上国家法规要求, 同时为了查明土壤和地下水环境质量现状,南京国环科技 股份有限公司接受委托,对 SK 海力士系统集成电路(无锡)有限公司年产 138 万片 8 英寸非存储晶圆项目场地进行土壤和地下水环境现状调查工作。 接受委托后,南京国环科技股份有限公司组织技术人员对厂区内进行了多次踏勘, 结合大量搜集的设计、建设、环保、安全、应急等资料分析,采取现场采样调查评价为 主,辅以分析判断的方式,完成了土壤和地下水现状调查工作,并编制了SK 海力士 系统集成电路 (无锡) 有限公司年产 138 万片 8 英寸非存储晶圆项目场地土壤和地下水 环境现状调查报告。 SK 系统集成电路(无锡)有限公司年产 138 万片 8 英寸非存储晶圆项目场地土壤和地下水环境调查报告 3 1.3 主要主要调查结论调查结论 通过污染识别和采样调查两个阶段的调查工作,场地所有监测因子检出率较低, 且 均达到相应的土壤和地下水环境质量标准,未发现超标现象。符合工业用地要求,根据 场地环境调查技术导则(HJ 25.1-2014),“场地内污染物的浓度未超过国家和地方 等相关标准,场地环境调查工作可以结束”,因此,SK海力士系统集成电路(无锡)有 限公司年产138万片8英寸非存储晶圆项目场地环境调查工作结束, 无需进行下一步的风 险评估工作,可以作为工业用地进一步开发使用。 SK 系统集成电路(无锡)有限公司年产 138 万片 8 英寸非存储晶圆项目场地土壤和地下水环境调查报告 1 2 概述概述 2.1 调查目的调查目的 本次调查通过资料收集、现场踏勘、人员访谈、样品采集与分析、数据判读与评估 等,明确场地是否属于污染场地。如果属于污染场地,进而分析污染物的种类、浓度水 平和初步污染范围,明确是否需要启动详细调查、风险评估、风险管控、治理与修复。 2.2 调查原则调查原则 针对性原则针对性原则。根据场地历史使用状况,分析可能受到污染的区域,开展有针对性的 调查,为确定场地是否污染,是否需要治理修复提供依据。 规范性原则规范性原则。 严格按照目前可搜集到的场地环境调查技术规范及要求, 采用程序化 和系统化的方式, 规范场地环境调查的行为, 保证场地环境调查过程的科学性和客观性。 可操作性原则可操作性原则。综合考虑调查方法、时间、经费等因素,使调查过程切实可行。 2.3 调查依据调查依据 2.3.1 国家国家有关法律、法有关法律、法规及规范性文件规及规范性文件 (1)中华人民共和国环境保护法(2014年4月24日第十二届全国人民代表大 会常务委员会第八次会议修订,2015年1月1日起施行); (2)中华人民共和国土壤污染防治法,2018年8月31日第十三届全国人民代表 大会常务委员会第五次会议通过,2019年1月1日起施行; (3)污染地块土壤环境管理办法(试行)(环境保护部令 第42号,2016年12 月31日); (4) 中华人民共和国固体废弃物污染环境防治法,2015年4月24日第十二届全 国人民代表大会常务委员会第十四次会议通过; (5)废弃危险化学品污染环境防治办法,国家环境保护总局令(第27号), 2005年8月30日颁布,自2005年10月1日起施行; (6) 关于加强土壤污染防治工作的意见 (环发20088号),国家环境保护部, 2008年6月6日; (7)国务院关于印发土壤污染防治行动计划的通知(国发201631号); (8)工矿用地土壤环境管理办法(试行)(生态环境部令 第3号,2018年5 月3日),2018年8月1日开始实施; (9)关于印发地下水污染防治实施方案的通知(环土壤【2019】25号); SK 系统集成电路(无锡)有限公司年产 138 万片 8 英寸非存储晶圆项目场地土壤和地下水环境调查报告 2 (10) 关于加强工业企业关停、搬迁及原址场地再开发利用过程中污染防治工作 的通知(环发201466 号); (11) 关于保障工业企业场地再开发利用环境安全的通知 (环发2012140 号) 。 2.3.2 地方有关法规、规章及规范性文件地方有关法规、规章及规范性文件 (1)江苏省固体废弃物污染环境防治条例(公告第29号),江苏省人大常委 会,2009年9月23日; (2) 关于转发国家环保总局办公厅的通知(苏环控200452号); (3)关于加强我省工业企业场地再开发利用环境安全管理工作的通知(苏环 办2013157号文); (4)关于规范工业企业场地污染防治工作的通知(苏环办2013246号); (5) 省政府关于印发江苏省土壤污染防治工作方案的通知(苏政发2016169 号); (6)江苏省固体废弃物污染环境防治条例(2017.6.3第二次修正); (7)市政府关于印发无锡市土壤污染防治工作方案的通知(锡政发2017 15号)。 2.3.3 相相关技术规范关技术规范、标准及、标准及导则导则 (1)场地环境调查技术导则(HJ 25.1-2014); (2)场地环境监测技术导则(HJ 25.2-2014); (3)污染场地风险评估技术导则(HJ 25.3-2014); (4)污染场地土壤修复技术导则(HJ 25.4-2014); (5)污染地块风险管控与土壤修复效果评估技术导则(HJ 25.5-2018); (6)工业企业场地环境调查评估与修复工作指南(试行)(2014.11); (7)建设用地土壤环境调查评估技术指南(环发2017年第72号); (8)岩土工程勘察规范GB50021-2001,2009版); (9)土工试验方法标准(GB/T50123-1999); (10)建筑工程地质勘探与取样技术规程(JGJ/T 87-2012); (11)工程测量规范(GB50026-2007); (12)岩土工程勘察规范(DGJ32/TJ208-2016); SK 系统集成电路(无锡)有限公司年产 138 万片 8 英寸非存储晶圆项目场地土壤和地下水环境调查报告 3 (13)地下水质量标准GB/T14848-2017; (14) 土壤环境质量 建设用地土壤污染风险管控标准 (试行) (GB36600-2018) ; (15)环境影响评价技术导则 土壤环境(HJ 964-2018)。 2.3.4 调查调查/检测技术规范检测技术规范 (1)土的工程分类标准(GB/T 50145-2007); (2)工程测量规范(GB 50026-2007); (3)供水水文地质勘察规范(GB 50027-2001); (4)岩土工程勘察规范(GB50021-2001; (5)污染场地术语(HJ 682-2014); (6)土壤环境监测技术规范(HJ/T 166-2004); 2.3.5 其他相关文件其他相关文件 (1)SK海力士系统集成电路(无锡)有限公司年产138万片8英寸非存储晶圆项 目环境影响报告表(初稿); (2)海辰半导体(无锡)有限公司新建8英寸非存储晶圆厂房项目环境影响登记 表; (3)SK海力士8英寸非存储晶圆项目可行报告; (4)无锡M8新建工厂项目(FAB、CUB)岩 土 工 程 详 细 勘 察 报 告 (2018.03); (5)厂区地下管线布局、总平面布局及与生产、环保、应急、安全等相关的其它 设计资料。 2.4 技术路线及工作程序技术路线及工作程序 在场地环境调查中,严格执行我国现有的污染场地管理法律法规、 场地环境调查的 技术规范,特别是场地环境调查技术导则(HJ25.1-2014)、环境影响评价技术 导则 土壤环境(HJ 964-2018)为依据,来组织实施本次场地环境调查工作。 2.4.1 总体总体技术路线技术路线 场地环境调查的工作程序具体见图 2.4-1。 SK 系统集成电路(无锡)有限公司年产 138 万片 8 英寸非存储晶圆项目场地土壤和地下水环境调查报告 4 图 2.4-1 本次环境调查技术路线图 根据场地环境调查技术导则(HJ 25.1-2014),场地环境调查主要包括三个逐 级深入的阶段,是否需要进入下一个阶段的工作,主要取决于场地的污染状况。场地环 境调查的三个阶段依次为: 第一阶段资料收集分析、人员访谈与现场踏勘;第二阶段场地环境污染状 况确认采样与分析;第三阶段场地特征参数调查与补充取样。 第一阶段场地环境调查是以资料收集、现场踏勘和人员访谈为主的污染识别阶段, 原则不进行现场采样分析。 若第一阶段调查确认场地内及周围区域当前和历史上均无可 能的污染源,则认为场地的环境状况可以接受,调查活动可以结束。 SK 系统集成电路(无锡)有限公司年产 138 万片 8 英寸非存储晶圆项目场地土壤和地下水环境调查报告 5 第二阶段场地环境是否污染确认阶段是以采样分析为主的污染证实阶段, 确定污染 物种类、污染程度和空间分布。该阶段通常可以分为初步采样分析和详细采样分析,每 一步均包括制定工作计划、现场采样、数据评估和结果分析等步骤。在初步采样分析的 基础上,进一步采样和分析,确认场地污染程度和范围。 若场地需要进行风险评估或土壤修复时,则需要进行第三阶段场地环境调查。本阶 段以补充采样和测试为主,获得满足风险评估及土壤和地下水修复所需要的参数,提出 详细的污染程度评估及污染范围界定,并提出治理目标与推荐治理方案。 2.4.2 资料收集资料收集方案方案 根据场地环境调查技术导则 (HJ 25.1-2014),本次场地环境调查工作启动时, 项目组根据场地及周边的情况,制定了资料调研计划,具体资料收集的清单详见表 2.4.2-1。本次资料收集,目的是弄清楚场地历史曾经的开发活动及现状,进而分析场 地存在的潜在污染源。 表表 2.4.2-1 场地场地拟拟资料收集清单资料收集清单 序号序号 资料信息资料信息 1 场地利用变场地利用变迁资料迁资料 1.1 用来辨识场地及其邻近区域的开发及活动状况的航片或卫星照片 1.2 土地管理机构的土地登记资料 1.3 场地的土地使用和规划资料 1.4 其它有助于评价场地污染的历史资料如平面布置图、地形图 1.5 场地利用变迁过程中的场地内建筑、设施、工艺流程和生产污染等的变化情况 2 场地环境资料场地环境资料 2.1 场地内土壤及地下水污染记录 2.2 场地内危险废弃物堆放记录 2.3 场地与保护目标的位置关系 3 场地相关记录场地相关记录 3.1 产品、原辅材料和中间体清单、平面布置图、工艺流程图 3.2 地下管线图、化学品储存和使用清单、泄漏记录、废物管理记录、地上和地下储罐清单 3.3 环境监测数据 3.4 环境影响报告书或表、环境审计报告 3.5 地勘报告 4 由政府机关和权威机构所保存和发布的环境资料由政府机关和权威机构所保存和发布的环境资料 SK 系统集成电路(无锡)有限公司年产 138 万片 8 英寸非存储晶圆项目场地土壤和地下水环境调查报告 6 序号序号 资料信息资料信息 4.1 环境质量公告 4.2 企业在政府部门相关环境备案和批复 4.3 生态和水源保护区规划 5 场地所在区域的自然和社会经济信息场地所在区域的自然和社会经济信息 5.1 场地周边地块工业企业情况 5.2 地理位置图、地形、地貌、土壤、水文、地质、气象资料,当地地方性基本统计信息 5.3 场地所在地的社会信息,如人口密度和分布,敏感目标分布 5.4 土地利用的历史、现状和规划,相关国家和地方的政策、法规标准 2.4.3 现场踏勘现场踏勘 项目组组织调查人员进行现场踏勘,踏勘的范围以场地内为主,并包括了场地周边 区域。现场踏勘的主要内容包括:场地的现状,场地历史,相邻场地的现状,相邻场地 的历史情况,周围区域的现状与历史情况,地质、水文地质、地形的描述,建筑物、构 筑物、设施或设备的描述。 表表 2.4.3-1 现场踏勘的主要内容现场踏勘的主要内容 序号序号 主要内容主要内容 1 场地的现状与历史情况场地的现状与历史情况 1.1 可能造成土壤和地下水污染的物质的使用、生产、贮存或三废处理与排放以及泄漏状 况 1.2 场地过去使用中留下的可能造成土壤和地下水污染异常迹象, 如灰渣场废弃物临时堆 放污染痕迹 2 相邻场地的现状与历史情况相邻场地的现状与历史情况 2.1 相邻场地的使用现况与可能存在的污染 2.2 以及过去使用中留下的可能造成土壤和地下水污染的异常迹象,如罐、槽泄漏,废弃 物临时堆放污染痕迹 3 周围区域的现状与历史情况周围区域的现状与历史情况 3.1 对于周围区域目前或过去土地利用的类型,如住宅、商店、工厂等,应尽可能观察和 记录 3.2 周围区域的废弃和正在使用的各类井,如水井等 3.3 污水处理和排放系统 3.4 化学品和废弃物的储存和处置设施 3.5 地面上的沟/河/池 3.6 地表水体、雨水排放和径流及道路和公用设施 4 地质、水文地质、地形的描述地质、水文地质、地形的描述 SK 系统集成电路(无锡)有限公司年产 138 万片 8 英寸非存储晶圆项目场地土壤和地下水环境调查报告 7 4.1 场地及其周围区域的地质、水文地质与地形应观察、记录,并加以分析,以协助判断 周围污染物是否会迁移到调查场地,以及场地内污染物迁移到地下水和场地之外。 2.4.4 人员访谈人员访谈 人员访谈的内容应包括资料分析和现场踏勘所涉及的问题,由项目组提前准备设 计。受访者为场地现状或历史的知情人,本项目计划访谈人员包括:周围群众、环保局 等相关部门,企业环保管理人员。 访谈计划采用当面交流、电话交流进行。对访谈所获得的内容应进行整理,并对照 已有资料,对其中可疑处和不完善处进行再次核实和补充。 2.5 地理位置及地理位置及调查范围调查范围 调查场地位于新吴区新鸿路以东、锡张高速以西地块,地理位置如图2.5-1所示。 调查范围重点分布在SK海力士系统集成电路(无锡)有限公司年产138万片8英寸 非存储晶圆项目整个厂区,如图2.5-2所示。同时,对大气下风向以及厂区附近不同 土地利用类型的区域也进行分析、采样调查,以判断是否对场外产生影响。 2.6 主要工作内容主要工作内容 2.6.1 污染识别污染识别 通过文件审核、现场调查、人员访问等形式,获取场地水文地质特征、土地利用情 况等信息,识别和判断场地潜在污染物种类、污染途径、污染介质、重点调查区域等。 2.6.2 取样监测取样监测 在污染识别的基础上,根据国家现有导则、相关标准要求制定初步调查方案,进行 场地初步调查取样。对于地块内疑似污染区域,布设了较为全面的监测点位,并在现场 取样时根据实际情况适当调整。对有代表性的土壤样品送实验室检测。其中主要对场地 内从事生产活动所用到的原辅材料与可能产生的中间污染物等污染物进行实验室分析 检测,通过检测结果分析判断场地实际污染状况。 2.6.3 结果结果评价评价 参考国内现有的评价标准和评价方法,确定该场地是否存在污染,如无污染则场地 调查工作完成;如有污染则需进一步判断场地污染状况与程度,为场地调查和风险评估 提供全面详细的污染范围数据。 SK 系统集成电路(无锡)有限公司年产 138 万片 8 英寸非存储晶圆项目场地土壤和地下水环境调查报告 8 3 场地场地周边周边环境概况环境概况 3.1 地理位置地理位置 无锡市位于长江三角洲(长)江(太)湖间走廊部分,江苏省东南部。东邻 苏州,距上海 128 公里;南濒太湖,与浙江省交界;西接常州,去南京 183 公里; 北临长江,与无锡市所辖的靖江市隔江相望。无锡市新区位于无锡市区东南部, 南临太湖,距市中心约 6 公里,有沪宁高速公路、312 国道、沪宁铁路、京杭大 运河穿境而过,距离长江口岸 40 余公里,地理位置优越。 场地位于无锡高新区 C 区,新吴区新鸿路以东、锡张高速以西地块。项目地 理位置见图 2.5-1 所示。 3.2 地形地貌地形地貌 无锡市位于长江流域太湖地区北部, 太湖地区在印支运动形成褶皱基础上经 燕山运动的断裂作用,又经第四纪气候的变迁,海漫和海退的变形,长江和钱塘 江沿岸沙滩的发育,逐渐形成的平原。本地区属太湖平原,地势平坦宽广,平原 海拔高度2-5米,河湖港纵横分布,零星分布着低山、残丘。土质肥沃,河湖港 汊纵横分布,河道密布,地表物质组成以粒径较小的淤积物和湖积物为主。 项目地区地层属于江苏省地层南区,于中生年代印支期(距今约1.8亿年) 形成华夏系构造,燕山运动(距今约1.5亿年7000万年)形成新块褶皱构造, 距今2500万年的喜马拉雅山运动,又加强了区域内东西间的褶皱和断裂,形成了 以现代太湖为中心的坳陷盆地,即太湖盆地。本区地层较为发育齐全,基底未出 露, 中侏罗纪岩浆喷出物盖在老地层上并侵入到各系岩层中; 第四纪全新统 (Qn) 现代沉积物遍布全区;泥盆纪地层有少量分布,为紫红色沙砾岩、石英砾岩、石 英岩,向上渐变为砂岩与黑色页岩的交替层,顶部为含优质陶土层的砂质页岩。 项目所在区域内地下水层为松散岩类孔隙含水岩组, 潜水含水层为泻湖相亚 粘土夹粉砂,水质被地表水所淡化。项目所在地地震基本烈度为6度,地耐力为 (810)t/m 2。 3.3 水文条件水文条件 (1)区域水系 项目所在地周围水系为河网水系,属太湖流域武澄锡虞水系分区。项目所在 区域外围较大河流有京杭运河、伯渎港和望虞河。区内原有许多小河浜,随着开 SK 系统集成电路(无锡)有限公司年产 138 万片 8 英寸非存储晶圆项目场地土壤和地下水环境调查报告 9 发区建设的发展,大多数河浜已填埋,仅剩少量的断头浜,代之而形成的是以地 块为格局的排水管网系统,雨水和净下水则通过雨水管网与京杭运河等相通,污 水管网经提升泵站与城市污水处理厂相接。 京杭运河新区段河宽约82m,平均水深2.4m,受长江影响,运河河水主流向 为自北向南,根据近几年水文资料,流量变化较大,1998年7月平均流量达 70.8m3/s,而1997年4月平均流量仅18.9m3/s,河水流速基本随流量变化而变, 根据历年的水文观测表明,河道最枯流量约为9.4m3/s,流速为0.05m/s,50%保 证率流量约为41m3/s,流速为0.21m/s。 据历年的水文观测表明, 京杭运河的流向基本是不变的, 即自西北流向东南。 其水位特征值如下: 历史最高水位 4.99 米(1991 年) 历史最低水位 1.92 米(1934 年) 平均水位 3.03 米(历年) 历史最大流量 74.3m3/s(1%频率); 多年平均流量 25.0m3/s; 95%频率最小流量 14.8m3/s; 最枯流量测得值 9.4m3/s。 无锡地区地表水流向是由北向南、由西往东。江南运河(即京杭运河)位于 太湖的下游,承受太湖的部分出水(太湖出口处均建有闸门);与下游的望虞河 立交(望虞河是“引江济太”的清水通道);京杭运河的下游支流如伯渎港等,均 在与望虞河的交汇处建有闸门,在望虞河引水时可关闭。因此,京杭运河河水不 会流入太湖。 该地区水系概化图见图 3.3-1。 3.4 气象条件气象条件 本项目地处北亚热带湿润性季风气候区,气候温和,冬夏较长,春秋较短, 日照充足,四季分明,雨水充沛,冬无严寒,夏无酷暑,气候宜人。常年主导风 向为ESE,其主要气象气候特征见表3.4-1。 表表 3.4-1 主要气象气候主要气象气候特征特征 编号 项目 数值及单位 SK 系统集成电路(无锡)有限公司年产 138 万片 8 英寸非存储晶圆项目场地土壤和地下水环境调查报告 10 1 气温 年平均气温 15.6 极端最高温度 39.9 极端最低温度 -12.5 最热月平均温度 28.2(七月) 最冷月平均温度 2.5(一月) 2 风速 年平均风速 2.63m/s 最大风速 24m/s 3 气压 年平均大气压 101.6kPa 绝对最高大气压 105.2kPa 绝对最低大气压 97.76kPa 4 空气湿度 年平均相对湿度 80% 最热月平均相对湿度 88% 最冷月平均相对湿度 76% 5 降雨量 年平均降水量 1113.2mm 年最大降雨量 1713.1mm(1999 年) 日最大降水量 552.9mm(1978 年) 小时最大降水量 65mm 6 雷暴日数 年平均雷暴日数 35.4d 年最大雷暴日数 43d 7 积雪、冻土 深度 最大积雪深度 150mm 最大冻土深度 120mm 8 风向和频率 年主导风向和频率 ESE10.4% 冬季主导风向和频率 WNW12.5% 夏季主导风向和频率 SE15% 3.5 自然资源自然资源 无锡市为江苏省省辖市,全市总面积为4787.61平方公里(市区1622.64平方 公里,其中建成区面积190平方公里),其中山区和丘陵面积为782平方公里,占 总面积的16.8%,水面面积为1502平方公里,占总面积的31.4%。具有开采价值的 矿产资源主要是粘土矿、石灰石、大理石等非金属矿。全市已通过省级以上技术 鉴定的矿泉水井(泉)共有11处,已开发的有5处;无锡市除栽培植物外,拥有 自然分布于地区内以及外来归化的野生维管束植物共141科、497属、950种、75 变种。主要用材林有竹、松、杉,优良用材的树种有杉木、檫树、樟树、紫南、 红楠、麻栎、锥栗、榆树等。药用植物400多种。鸟类有170多种;鱼类为90多种, 太湖中的银鱼,长江中的刀鱼、鲥鱼、河豚鱼是名贵鱼类;兽类有30多种,主要 有华南兔、穿山甲、豹猫、黄鼬等。 3.6 厂区周围厂区周围环境概况环境概况 本项目位于无锡市新吴区新鸿路以东、锡张高速以西地块,租用海辰半导体 SK 系统集成电路(无锡)有限公司年产 138 万片 8 英寸非存储晶圆项目场地土壤和地下水环境调查报告 11 (无锡)有限公司在建的海辰半导体(无锡)有限公司新建8英寸非存储晶圆 厂房项目项目所见厂房设施及土地,建设SK海力士系统集成电路(无锡)有 限公司年产138万片8英寸非存储晶圆项目。厂区周围500m环境概况如图3.6-1 所示。 图3.6-1 场地周围环境概况图 3.6.1 厂区四至情况调查厂区四至情况调查 项目周边主要由闲置的工业用地、道路设施、企业等组成。项目厂界东距锡 张高速约90m,锡张高速以东为鸿山街道工业集中区。项目厂界以南为空地,南 距300m为邮政物流中心。项目厂界西邻新鸿路,再往西为空地,远处存在居民。 3.6.2 土壤环境土壤环境调查调查 根据厂区附近现状调查以及规划资料分析,厂区四至现状主要为闲置土地、 市政道路、 工业用地等建设用地, 厂区南部为一条工业河, 属于水域非建设用地。 项目用地及四至200m范围内属于土壤环境质量 建设用地土壤污染风险管 控标准(试行)(GB36600-2018)中的第二类用地。 参照环境影响评价技术导则 土壤环境(HJ964-2018)中关于土壤敏感 目标敏感性分类, 项目周围200m范围内土壤利用类型属于不敏感的类型。 根据 环 SK 系统集成电路(无锡)有限公司年产 138 万片 8 英寸非存储晶圆项目场地土壤和地下水环境调查报告 12 境影响评价技术导则 土壤环境 (HJ964-2018)附录A土壤环境影响评价项目类 别,本项目属于“其它行业”类别,属于IV类项目。 表 3.6.2-1 污染影响型土壤环境敏感程度分级表 敏感程度 判断依据 敏感 建设项目周边存在耕地、园地、牧草地、饮用水水源地或居住区、学校、 医院、疗养院、养老院等土壤环境敏感目标的 较敏感 建设项目周边存在土壤环境敏感目标的 不敏感 其他情形 3.6.3 地下水环境地下水环境调查调查 根据环境影响评价技术导则地下水环境(HJ610-2016),地下水环境敏 感程度可分为敏感、较敏感、不敏感三级,分级原则见表3.6.3-1。 表 3.6.3-1 地下水环境敏感程度分级表 敏感程度敏感程度 地下地下水环水环境敏感特征境敏感特征 敏感 集中式饮用水水源(包括已建成在用、备用、应急水源,在建和规划的饮用水水 源)准保护区;除集中式饮用水水源以外的国家或地方政府设定的与地下水环境 相关的其它保护区,如热水、矿泉水、温泉等特殊地下水资源保护区。 较敏感 集中式饮用水水源(包括已建成在用、备用、应急水源,在建和规划的饮用水水 源)准保护区以外的补给径流区;未划定准保护区的集中式饮用水水源,其保护 区以外的补给径流区;分散式饮用水水源地;特殊地下水资源(如矿泉水、温泉 等)保护区以外的分布区等其他未列入上述敏感分级的环境敏感区(a)。 不敏感 上述地区之外的其它地区。 注:a“环境敏感区”是指建设项目环境影响评价分类管理名录中所界定的涉及地下水的环 境敏感区。 建设项目所处场地及其周边调查评价区范围内不涉及集中式饮用水水源准 保护区以及国家或地方政府设定的与地下水环境相关的其它保护区, 高新区的生 活用水全部取用管道自来水,无分散式饮用水源地分布;调查评价区内未有特殊 地下水资源(如矿泉水、温泉等)保护区及其以外的分布区。地下水环境敏感程 度为不敏感。 由于区域内地下水并没有作为饮用水源的规划、要求,现状也没有作为饮用 水源使用,因此,厂区周围地下水环境按照IV类功能区进行评价,执行地下水 质量标准GB/T14848-2017(类标准)。 SK 系统集成电路(无锡)有限公司年产 138 万片 8 英寸非存储晶圆项目场地土壤和地下水环境调查报告 13 3.6.4 其它环境其它环境调查调查 1、大气环境调查 根据无锡市大气环境功能区划,项目所在区域大气环境为二类功能区,执行 环境空气质量标准(GB3095-2012)二级标准。项目附近500m范围内存在少量 居民点。 2、地表水环境调查 项目西北厂界外为一条宽度58m的工业河,主要功能为工业、农业、景观、 防洪排涝,属于地表水环境质量标准(GB3838-2002)类功能。 4 场地及周边场地及周边土地使用历史土地使用历史、规划、规划 4.1 场地场地使用使用功能历史功能历史演变情况演变情况 根据现场调查、历史资料搜集分析及现场人员访谈结果,SK 海力士系统集 成电路(无锡)有限公司拟建厂区 187158.5m2范围内,场地使用情况如表 4.1-1 所示。 表 4.1-1 场地使用功能历史变迁一览表 可追溯的年代 企业名称 土地性质 土地使用情况 2004 年 9 月 无 农用地、居住用 地、未利用地 朱马祥村居住地及其农耕用地 2004 年2011 年 5 月 无 农用地、居住用 地、未利用地 朱马祥村居住地及其农耕用地; 朱马祥北部已拆 2011 年2013 年 12 月 无 农用地、居住用 地、未利用地 朱马祥村居住地及其农耕用地; 朱马祥北部已拆 2013 年2016 年 2 月 无 农用地、 未利用地 农耕用地;未利用地 2018 年 7 月 至今 海辰半导体(无锡) 有限公司 工业用地 海辰半导体(无锡)有限公司厂 房项目用地 SK 系统集成电路(无锡)有限公司年产 138 万片 8 英寸非存储晶圆项目场地土壤和地下水环境调查报告 14 图 4.1-1 场地历史使用情况(2004 年 9 月) 图 4.1-2 场地历史使用情况(2011 年 3 月) SK 系统集成电路(无锡)有限公司年产 138 万片 8 英寸非存储晶圆项目场地土壤和地下水环境调查报告 15 图 4.1-3 场地历史使用情况(2013 年 12 月) SK 系统集成电路(无锡)有限公司年产 138 万片 8 英寸非存储晶圆项目场地土壤和地下水环境调查报告 16 图 4.1-4 场地历史使用情况(2016 年 2 月) 图 4.1-5 场地历史使用情况(2018 年 7 月) 在 2004 年以前,该地块为农用地、居住用地、未利用地,主要用于朱马祥 村居住地及其农耕用地。 2004 年开始,朱马祥逐步拆迁,该地块为农用地、居住用地、未利用地, 主要用于朱马祥村居住地及其农耕用地。 截止 2016 年 2 月,场地内居民已经完全拆除,场地主要为未利用地、农用 地及未利用地。 2018 年 5 月,海辰半导体(无锡)有限公司开始施建厂房项目。 4.2 场场地地周边土周边土地使用地使用历史历史演变演变情况情况 场地四周土地使用演变情况主要为: 场地东侧一直为未利用地、高速公路用地。场地南侧在 2017 年以前主要为 农用地、未利用地、水域用地等,而后农用地逐步废弃,现状主要为未利用地、 水域等。 场地西邻新鸿路,新鸿路西侧附近主要为未利用地。 场地北侧为未利用地。 SK 系统集成电路(无锡)有限公司年产 138 万片 8 英寸非存储晶圆项目场地土壤和地下水环境调查报告 17 4.3 场地土地利用规划场地土地利用规划情况情况 根据无锡国家高新技术产业开发区发展规划,高新区分为A、B、C三区。 其中,本项目位于C区,该地块属于工业用地规划。如图4.3-1所示。 SK 系统集成电路(无锡)有限公司年产 138 万片 8 英寸非存储晶圆项目场地土壤和地下水环境调查报告 18 5 污染污染识别识别 5.1 场地环境场地环境影响影响识别识别 场地历史上没有进行过工业生产,主要为居住用地、农用地、未利用地等。 没有进行过有毒有害物质的储存、使用和处置。没有布置过各类生产用槽罐、管 线和沟渠等。固体废物主要为生活过程产生的生活垃圾,历史存在过暂存,现状 未见。结合访谈情况,场地历史上没有发生过泄漏污染情况。 5.2 与污染物迁移相关的环境因素分析与污染物迁移相关的环境因素分析 5.2.1 场地地质情况场地地质情况及与污染物迁移关系分析及与污染物迁移关系分析 根据搜集到的无锡M8新建工厂项目(FAB、CUB)岩 土 工 程 详 细 勘 察 报 告(2018.03),本次勘察揭示的60.3m以浅土层由第四系全新统(Q4)至 上更新统(Q3)沉积物,按其时代、成因及土的物理力学性质,可分为6个工程 地质层(、层缺失,与区域资料地层层号一致): a a淤泥淤泥层层:灰黑色,流塑,有臭味,含大量有机质,主要分布于河塘底部, 层厚0.001.4m,层底标高-1.00 -0.35m,该层土质不均,工程性能极差。 1 1素素填土填土:灰灰黄色,松散,成分以黏性土为主,堆积35年,局部夹有 25碎石、砖块等,厚度08.00m,层底标高-1.054.51m。该层土质极不均,强 度低,工程特性差。 2 2素素填土:填土:灰灰黄色,松散,成分以黏性土为主,局部(原来道路)夹大 量27碎石、砖块等,局部表层含生活垃圾,厚度0.604.00m,层底标高 -0.473.20m。该层土质极不均,强度低,工程特性差。 粉质黏土粉质黏土:灰黄青灰色,可塑状态为主,含少量铁锰氧化物,切面光滑、 有光泽,韧性、干强度中等,无摇震反应。场地内普遍分布,填土较厚部位(如 C54)、河道部位变薄或缺失,厚度04.90m,层底标高-2.77 -0.50m。中等压 缩性,中等强度,工程特性中等。 粉质黏土粉质黏土:青灰灰色,软可塑状态,CUB栋区域夹有粉土团块,切面稍 光滑、无光泽,韧性、干强度中等,无摇震反应。场地内分布较稳定,厚度 1.704.30m,层底标高-5.87 -2.93m。中等压缩性,中低强度,工程特性一般。 1 1粉质黏土粉质黏土:灰色,软流塑状态,含少量云母碎屑,偶夹少量粉土,刀切 面稍光滑、有光泽,韧性、干强度低,无摇震反应。场地内分布较稳定,厚度 SK 系统集成电路(无锡)有限公司年产 138 万片 8 英寸非存储晶圆项目场地土壤和地下水环境调查报告 19 8.8012.50m,层底标高-16.50 -12.90m。中高压缩性,低强度,工程特性稍差。 2 2粉质黏土夹粉土:粉质黏土夹粉土:灰色,软可塑状态,含云母碎屑,夹薄层粉土,具水 平层理,偶夹腐植质,刀切面稍粗糙、无光泽,韧性、干强度低,摇震反应无 缓慢。场地内局部分布,厚度012.70m,层底标高-27.36 -15.70m。中高压缩 性,低等强度,工程特性一般。 3 3粉质黏土:粉质黏土:灰色,软塑状态,含云母碎屑,刀切面稍光滑、无光泽,韧 性、干强度低,无摇震反应。场地内局部分布,厚度012.40m,层底标高-34.88 -18.90m。中高压缩性,低强度,工程特性稍差。 1 1粉质黏土粉质黏土:灰黄色,可塑状态为主,刀切面较光滑、无光泽,韧性、干 强度中等,无摇震反应。层分布较厚区域变薄或缺失,厚度03.60m,层底标 高-18.70 -16.00m。中等压缩性,中等强度,工程特性中等。 2 2黏土:黏土:灰黄色,可硬塑状态,刀切面较光滑、有光泽,韧性、干强度中 高, 无摇震反应。 层分布较厚区域变薄或缺失, 厚度06.50m, 层底标高-23.50 -21.96m。中等压缩性,中等强度,工程特性良好。 3 3粉质黏土:粉质黏土:灰黄、青灰色,可塑状态为主,局部夹有粉土、粉砂或可偏 硬塑黏土,刀切面稍光滑、无光泽,韧性、干强度中等,无摇震反应。层分布 较厚区域变薄或缺失,厚度08.50m,层底标高-30.97 -29.05m。中等压缩性, 中等强度,工程特性中等。 1 1粉质黏土:粉质黏土:灰、青灰黄色,可塑状态为主,局部夹薄层粉砂,偶夹可偏 硬塑粉质黏土,含云母碎屑,刀切面光滑、有光泽,韧性、干强度中等,摇震反 应无中等。层分布较厚区域变薄或缺失,厚度05.30m,层底标高-34.97 -33.60m。中等压缩性,中等强度,工程特性中等。 2 2粉质黏土:粉质黏土:灰色,可软塑状态,含少量云母碎屑,局部夹粉土或粉砂薄 层,具水平层理,刀切面稍粗糙、无光泽,韧性、干强度中等,摇震反应无迅 速。最大控制厚度21.8m。中等压缩性,中低强度,工程特性中等。 典型剖面如图5.2-15.2-2所示。 SK 系统集成电路(无锡)有限公司年产 138 万片 8 英寸非存储晶圆项目场地土壤和地下水环境调查报告 20 表5.3-1 各个岩土层物理力学试验一览表 层号及土层名 称 含水 量% 重度 kN/m 3 孔隙比 e0 塑性指数 IP 液性指 数IL 压缩系数 1-2 MPa -1 压缩模量 Es1-2 MPa 粘聚力 C kPa (固 快) 内摩擦 角 (固 快) 锥尖阻 力 qc MPa 侧壁摩 擦力 fs kPa 标贯击数 N(击) 实测 值 修正 值 1素填土 27.8 19.5 0.790 15.7 0.50 0.298 6.03 42.25 14.25 0.72 33.91 / / 2素填土 25.8 19.5 0.770 15.4 0.43 0.281 6.39 44.00 14.39 1.02 36.65 / / 粉质黏土 24.9 19.8 0.722 15.9 0.31 0.269 6.48 45.19 14.54 1.30 74.66 7.8 7.46 粉质黏土 29.7 19.1 0.837 11.3 0.76 0.310 6.29 29.91

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