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真空镀膜机的电气控制系统,2,目 录,3,4,设计任务,系统整体设计方案及具体方法,1,真空镀膜的优点,总结,一、真空镀膜的优点,真空蒸发式镀膜的优点比化学镀膜多的多,主要有: 1、真空镀膜不会损坏薄膜材料; 2、镀制出来的成品寿命比化学镀膜多出好几倍。 3、可以镀制各类金属或者非金属的材质,种类丰富; 4、镀膜过程都是在真空环境下,出现较少的杂质,环境污染 小; 5、符合当代绿色发展的要求。,二、设计任务,本控制系统主控单元采用PLC通过上位机设置对纸张力、电机速度、蒸发舟的状态和蒸发量等工艺要求参数的控制。实现以下几个主要功能:1、PLC能与上位机进行通信,接受上位机参数的设置;2、进行机械联动及电机转速检测控制;3、进行张力的自动控制,找出影响张力的物理因素;4、对蒸发舟的状态检测和控制,也就转化为对镀膜厚度的自动控制;5、具有对变频控制器输入控制。,三、真空镀膜机的整体方案设计,1、镀膜系统是用于完成基材镀膜的地方;,2、真空系统主要是为镀膜部分制造一个高真空的环境,为得到良好的蒸镀效果;,3、电气控制系统主要来控制真空室中机械泵、扩散泵等的启停、相应阀门的开关量以及相应泵的指示灯和故障告警等,它是真空镀膜机的一个重要环节;,4、卷绕系统主要负责放膜、镀膜、收膜,它是和镀膜室是相结合工作的,其中也包括对送丝机构的设计。,工艺流程图,真空系统,对镀膜室抽真空是整个系统设计的关键环节,选取性能良好的真空泵对蒸镀效果起着重要作用。在本设计中,采用的是从抽粗真空到高真空的过程,并采用了前级泵(机械泵)和低真空泵(罗茨泵),这样达到的真空能满足设计的要求。选型如下表所示。,真空度的测量由热偶规管和电离规管组成的复合真空计完成,将测量到的实时数据首先会传到PLC的数字/模拟量转换模块,采用PLC的CMP指令,当达到设定的值,自动跳转执行命令(控制真空泵的启停)。,真空系统,蒸发镀膜系统及卷绕系统,整个卷绕张力系统由收卷辊、放卷辊、张力检测辊、弹簧辊、导辊、压辊、冷却辊(主辊)、收卷跟踪机构等组成。卷绕系统各导辊的布置详见下图,1.放卷辊2.收卷辊3.卷径跟踪辊4.展平辊5.导辊6.张力检测辊7.压辊8.冷却辊(主辊)9.弹簧棍10.蒸发坩埚11.送铝丝机构,蒸发镀膜系统及卷绕系统,整个镀膜过程如下:镀材由放卷辊放出,铝丝由送丝机构送出,镀材经过冷却辊,铝丝经过蒸发薄膜沉积在镀材上,然后由收卷辊将镀好的薄膜送出。,放膜系统的张力控制,收膜系统的张力控制,送丝机构的设计,蒸发系统的送铝丝机构可前后移动,使铝丝在蒸发舟中前后移动,不但提高了蒸发量,而且还可以延长蒸发舟的使用寿命。,蒸发系统的蒸发舟采用氮化硼电阻式蒸发坩埚,具有电阻小、寿命长等优点。电阻蒸发采用单向可控硅交流压。,步进电机的连接图,电气控
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