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微进给工作台伺服控制技术.pdf微进给工作台伺服控制技术.pdf

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ISSN100020054CN1122223N清华大学学报自然科学版JTSINGHUAUNIVSCITECH,2004年第44卷第5期2004,VOL44,NO521366572660微进给工作台伺服控制技术蒋培军,齐国生,徐端颐,李庆祥,范晓东,钱坤清华大学精密仪器与机械学系,北京100084收稿日期2003209211基金项目国家“九七三”重点基础研究项目G19990330作者简介蒋培军19772,男汉,浙江,博士研究生。通讯联系人徐端颐,教授,E2MAILXUDYTSINGHUAEDUCN摘要为实现母盘刻录机中光学头的精密进给,研制了精密微进给工作台及其伺服控制系统。利用线光栅作为工作台位移检测工具,采用数字比例积分微分PID伺服滤波器实现位移控制。经实验方法测定,系统摩擦可以近似为COULOMB摩擦加STRIBECK效应的模型。采用了基于该模型的摩擦补偿方法以消除电机死区影响。为实现精确轨迹控制,控制系统采用了零相位误差跟踪控制ZPETC技术。针对高增益PID、摩擦补偿和ZPETC加摩擦补偿这3种控制方法,分别进行了轨迹跟踪实验,其轨迹误差分别为08、06和03LM。关键词机电一体化;精密工作台;前馈控制;摩擦补偿中图分类号TP2714文献标识码A文章编号10002005420040520657204CONTROLTECHNOLOGYFORHIGHPRECISIONFEEDTABLEJIANGPEIJUN,QIGUOSHENG,XUDUANYI,LIQINGXIANG,FANXIAODONG,QIANKUNDEPARTMENTOFPRECISIONINSTRUMENTSANDMECHANOLOGY,TSINGHUAUNIVERSITY,BEIJING100084,CHINAABSTRACTAHIGHPRECISIONFEEDTABLEANDCONTROLSYSTEMWEREDEVELOPEDTODRIVETHEOPTICALHEADINADISCMASTERINGDEVICELINEARGRATINGANDADIGITALPROPORTIONAL2INTEGRAL2DERIVATIVEPIDFILTERWEREUSEDFORPOSITIONMEASUREMENTANDSERVOCONTROLTHEMEASUREDSYSTEMFRICTIONCOULDBEMO
编号:201311161802204891    类型:共享资源    大小:218.22KB    格式:PDF    上传时间:2013-11-16
  
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