[毕业论文]电感式位移传感器的设计

毕业设计（论文）题目电感式传感器测量电路设计作者届别2006届系别机械与电气工程系专业自动化指导教师职称副教授完成时间2006年5月20日目录摘要1ABSTRACT21绪论411引言12传感器介绍513研究的基本内容，拟解决的主要问题62整体的方框图与工作原理83各个单元电路的设计8318051单片机简介832电感式位移传感器的基本原理1233电感测头的结构1434正弦波电路的设计1435零点残余电压的调整1636交流放大电路1737相敏检波电路1838A/D转换及显示电路194软件部分的设计41本系统设计的程序流程图2242单片机8051的C语言程序清单224、致谢245、参考文献25摘要随着现代制造业的规模逐渐扩大，自动化程度愈来愈高。要保证产品质量，对产品的检测和质量管理都提出了更高的要求。我们为此要设计一种精度的检测位移的仪器。电感测微仪是一种分辨率极高、工作可靠、使用寿命很长的测量仪,应用于微位移测量已有比较长的历史国外生产的电感测微仪产品比较成熟,精度高、性能稳定,但价格昂贵国内生产的电感测微仪存在漂移大、工作可靠性不高、高精度量程范围小等问题,一直与国外的传感器水平保持一定的差距在超精密加工技术迅猛发G4649的G1182G3837,G17837种测量精度G17246来G17246G7186G5483不G17878应加工技术发G4649的G19668求G16825G7003G19036对G17837G1135问题,对电感传感器测量电G17347G17839G15904了一定的设计和G6925G17839对电感测微仪的G8503G5370G8886生成电G17347、G1144G8981G6930大电G17347、G5114G17902G9400G8886电G17347、G11468G6947检G8886电G17347等G17839G15904了分G7524和G11468应的设计。关键词G29G8503G5370G8886发生器，G11468G6947检G8886，G19658G9869G8543G1325电G2399。ABSTRACTG36G49G72G90G75G76G74G75G83G76G85G68G70G76G72G86G76G81G71G88G70G87G68G81G70G72G86G72G81G86G82G85G76G86G71G72G89G72G79G82G83G72G71G55G75G76G86G86G72G81G86G82G85G70G82G81G86G76G86G87G86G82G73G68G75G76G74G75G83G76G85G68G70G76G72G86G76G81G71G88G70G87G68G81G70G72G83G85G82G69G72G68G81G71G86G76G74G81G68G79G83G85G82G70G72G86G86G76G81G74G70G76G85G70G88G76G87G55G75G72G70G76G85G70G88G76G87G68G71G82G83G87G86G83G72G68G78G86G68G80G83G79G76G81G74G87G72G70G75G81G76G84G88G72G68G81G71G71G76G85G72G70G87G71G76G74G76G87G68G79G82G88G87G83G88G87G76G81G87G72G85G73G68G70G72G87G82G86G88G69G86G87G76G87G88G87G72G87G75G72G70G82G81G89G72G81G87G76G82G81G68G79G83G75G68G86G72G73G85G72G84G88G72G81G70G92G71G72G87G72G70G87G76G82G81G87G72G70G75G81G76G84G88G72G68G81G71G68G81G68G79G82G74G82G88G87G83G88G87G76G81G87G72G85G73G68G70G72G55G75G72G81G82G81G21G79G76G81G72G68G85G76G87G92G76G86G68G79G86G82G71G72G70G85G72G68G86G72G71G44G81G68G71G71G76G87G76G82G81,G87G75G72G70G76G85G70G88G76G87G68G71G82G83G87G86G73G85G72G84G88G72G81G70G92G68G81G71G68G80G83G79G76G21G87G88G69G72G86G87G68G69G76G79G76G93G76G81G74G87G72G70G75G81G76G84G88G72G87G82G82G55G75G72G68G70G70G88G85G68G70G92G68G81G71G86G87G68G69G76G79G76G87G92G82G73G87G75G72G86G72G81G86G82G85G70G76G85G70G88G76G87G86G68G79G86G82G76G81G70G85G72G68G86G72G71G74G85G72G68G87G79G92KEYWORDSINDUCTANCESENSOR,SELFFIXEDAMPLITUDECIRCUIT,DIGITALPHASESENSITIVITYDETECTION,DIGITALFILTER,STATICTESTING1绪论11引言测量技术是G4466现超精加工的G2081提和G3534G11796。精密加工和超精密加工G17819程G1025不G1177要对工G1226和G15932G19766质量G17839G15904检G20576，G13792G1000要检G20576加工设G3803和G3534G11796G1815G18108G1226的精度，G3926G7536G8821有G7447G4053性的测G6523技术和仪器，G4613不能证G4466G6164G17810G2052的加工质量。加工和检测是不可分的，测量是对加工的G6915持，G7092G16782G3822G1052精密的加工，都G5529G20047用更为精密的测量技术作保G19568。G3252此，位移测量的精密和超精密测量已G13475成为G6984G1022超精密加工G1319G13007G1025一G20045G14279为G1863G19202的技术。检测技术和G16025G13634是自动化G13007G13491G1025不可G13582G4581的G13464成G18108分。G1231G1321生产G17819程都可G1209G11487作是G256G10301G8981G257和G256G1461G5699G8981G257G13464G2524G13792成，G2465G7156G10301G8981的G6980量、状态和趋向的G1461G5699G8981则是人们管理和G6523制G10301G8981的依据。人们为了有目的地G17839G15904G6523制，首先G5529G20047G17902G17819检测获取有G1863G1461G5699，然后才能G17839G15904分G7524判断G1209便G4466现自动G6523制。G6164谓自动化，G4613是用各种技术工具与方法代替人来完成检测、分G7524、判断和G6523制工作。一G1022自动化G13007G13491G17902常由G3822G1022环节G13464成，分别完成G1461G5699获取、G1461G5699转换、G1461G5699处理、G1461G5699传送及G1461G5699执G15904等功能。在G4466现自动化的G17819程G1025，G1461G5699的获取与转换是极其重要的G13464成环节，只有精确及时地将被G6523对象的各G20045参G6980检测出来并转换成易于传送和处理的G1461号，G6984G1022G13007G13491才能G8503常地工作。G3252此，自动检测与转换是自动化技术G1025不可G13582G4581的G13464成G18108分。检测G13007G13491或检测G16025G13634目G2081G8503迅速地由模拟式、G6980字式向智能化方向发G4649。G5114有微处理机的各种智能化仪G15932已G13475出现，G17837类仪G15932选用微处理机做G6523制单G1815，利用计算机可编程的特G9869，使仪G15932内的各G1022环节自动地协调工作，并G1000具有G6980据处理和故G19568诊断功能，成为一代崭新仪G15932，把检测技术自动化推G17839G2052一G1022新水平。12传感器介绍传感器是获取被测量G1461G5699的G1815G1226，其质量和性能的好坏直接影响G2052测量结G7536的可靠性和准确度，衡量其质量的特性有许G3822，主要包括静态和动态两G1022方G19766。当被测量不随时间变化或变化很慢时，可G1209认为输入量和输出量都和时间G7092G1863。G15932示它们之间G1863G13007的是一G1022不含时间变量的代G6980方程，在G17837种G1863G13007的G3534G11796上确定的性能参G6980为静态特性；当被测量随时间变化很快时，G4613G5529G20047考虑输人量和输出量之间的动态G1863G13007。G17837时，G15932示它们之间G1863G13007的是一G1022含有时间变量的微分方程，与被测量G11468对应的输出响应特性称为动态特性。位移传感器主要有G1209下几种电容式位移传G17810室感器、差动式电感受式位移传感器和电阻应变式位移传感器一般用于小位移的测量（几微米G14279毫米）；差动变G2399器用于G1025等位移的测量，G17837种传感器在工业测量G1025应用G5483最G3822；电阻电位器式传感器G17878用于较大范围位移的测量，但精度不高；感应同步器、光栅、磁栅、激光位移传感器等用于精密检测G13007G13491的位移的测量，测量精度高（可G178101G83G80量程也可大G2052几米。电容式位移传感器G7693据被测G10301G1319的位移变化转换为电容变化的一种传感器，一般用于高G20069G6403动微小位移的测量，与电位式、电感式等G3822种位移传感器G11468比，它的G1260G9869是结G7512G12628单；能G4466现G19762接G16314测量，只要极小的输入G2159G4613能使G6915极G7507移动，并G1000在移动G17819程G1025G8821有G6717G6842和G2465作用G2159；G9801G6947度高、分辨G2159G5390，能G6947感G102G19G191G88G80G10990G14279更小的位移；动态响应好；能在G5706G2167环G3671G1025（高、G1314G9213，各种G5430式的G17764G4568等）工作。但它也存在着一G1135G13582G9869，主要是输出特性的G19762G13459性和对G13489G13548电阻要求比较高，为了G1823G7393G4504生电容的影响，G19489G1314电容的内阻，要求对传感器及输出G4560G13459G18331取G4643G15121G6526G7057和G18331用较高的电G9316G20069率等。光栅是一种新G3423的位移检测G1815G1226，是把位移变为G6980字量的位移G16G6980字转换G16025G13634。它主要用于高精度直G13459位移和G16294位移的G6980字检测G13007G13491。其测量精确度高（可G178101G88G80）光栅传感器具有G6251电磁G5190G6212、G13796G1049性好、准分G5079式传感、G13489对测量、G4622G4556小、G9801G6947度高、精度高、G20069G5114G4497、G1461G3134比高等G1260G9869，是结G7512G4628G18108G1593G5259G11429测最理G5831的智能传感G1815G1226之一，可G1209直接或间接（G17902G17819G7588种G4565G16025或G9801G5051G16025G13634）G11429测应变、G9213度、G16022G13553、位移、G6403动、G14116G15444、应G2159等G10301理量，G18108分取代传G13491的测G16809G6175G8585，G5203G8879用于G3315G7420工程、G14334G12366G14334G3837工业、G14349G14346工业、电G2159工业、G11719G8845化工、G7692工业、G2319G4410等G20058G3507。电感式位移传感器是把被测移量转换为G13459G3292的自感或G1126感的变化，G1186G13792G4466现位移的测量的一类传感器。它具有G9801G6947度高、分辨G2159大，能测出G102G191G88G80G10990G14279更小的G13459性位移变化和G191度的G16294位移,输出G1461号比较大,电G2399G9801G6947度一般G8611毫米可G17810几G11346毫G1251,G3252此有利于G1461号的传输测量范围为G102G21G24G88G80G16G24G19G80G80,测量精度与电容式位移传G17810室感器差不G3822,但是它的G20069率响应较G1314,不G4464于高G20069动态测量。13研究的基本内容，拟解决的主要问题G16825智能电感测微仪的G11840G1226电G17347主要包括电感式传感器、G8503G5370G8886G6403G14645器、G6930大器、G11468G6947检G8886器及单G10267机G13007G13491。G8503G5370G8886G6403G14645器为电感式传感器和G11468G6947检G8886器提G1391了G20069率和G5145G1552稳定的激G2181电G2399，G8503G5370G8886G6403G14645器输出的G1461号加G2052测量G3848G1025。工G1226的微小位移G13475电感式传感器的测G3848G5114动两G13459G3292内G15912G19093移动，使两G13459G3292内的电感量发生G11468对的变化。当G15912G19093处于两G13459G3292的G1025间位G13634时，两G13459G3292的电感量G11468等，电G7737平衡。当测G3848G5114动G15912G19093上下移动时，G14521上G13459G3292的电感量G3698加，下G13459G3292的电感量则G1955G4581；G14521上G13459G3292的电感量G1955G4581，下G13459G3292的电感量则G3698加。G1144G8981阻G6251G11468应地变化，电G7737G3845G2447平衡G1186G13792输出了一G1022G5145G1552与位移成G8503比，G20069率与G6403G14645器G20069率G11468同，G11468位与位移方向G11468对应的调制G1461号。此G1461号G13475G6930大，由G11468G6947检G8886器G18504出极性，G5483G2052一G1022与G15912G19093位移G11468对应的直G8981电G2399G1461号，G13475G36G18G39转换器输入G2052单G10267机，G13475G17819G6980据处理G17839G15904G7186示。电感式传感器测位移时，由于G13459G3292G1025的电G8981不为G19658，G3252G13792G15912G19093G3999G13468G6227受电磁G2572G2159，G1262G5353G17227G19480加G16835差，G13792G1000G19762G13459性G16835差较大；G2490外，外G11040的G5190G6212G11G3926电G9316电G2399G20069率的变化，G9213度的变化也G1262使输出产生G16835差。G6164G1209在G4466G19481工作G1025常G18331用差动G5430式，G17837G7691G7094可G1209提高传感器的G9801G6947度，G2460可G1209G1955小测量G16835差。两G1022完G1852G11468同的单G1022G13459G3292的电感式传感器G1861用一G1022活动G15912G19093G4613G7512成了差动式电感传感器。G18331用差动式结G7512除了可G1209G6925善G13459性、提高G9801G6947度外，对外G11040影响，G3926G9213度的变化、电G9316G20069率的变化等也G3534本上可G1209G11468G1126抵消，G15912G19093G6227受的电磁G2572G2159也较小，G1186G13792G1955小了测量G16835差。G19658G9869G8543G1325电G2399也是G2465G7156差动变G2399器式传感器性能的重要指标。理G5831情况是在G19658G9869时，两G1022次级G13459G3292感应电G2399大小G11468等方向G11468G2465，差动输出电G2399为G19658G4466G19481情况是两G13464次级G13459G3292的不对称G19093心的BG16H曲G13459的G19762G13459性，G1209及激G2181电G9316存在的高次谐G8886等G3252素G5353G17227G19658G9869处UG19知。其G6980G1552约为G19658G9869几毫G1251，有时G10990G14279可G17810几十毫G1251，并G1000G7092G16782怎G7691调节G15912G19093的位G13634均G7092法消除。G19658G9869G8543G1325电G2399的存在，使传感器的G9801G6947度G19489G1314，分辨率变差和测量G16835差G3698大。G1823G7393办法主要是提高次级两绕G13464的对称性G11包括结G7512和匝G6980等，G2490外输出端用G11468G6947检测和G18331用电G17347补偿方法，可G1209G1955小G19658G9869G8543G1325电G2399影响。2整体的方框图与工作原理电感式位移传感器G1815G1226由静止的螺管G13459G3292和可在G13459G3292上移动的G15912G19093测G3848G13464成,它依据电磁感应原理工作当G13459G3292由高G20069电G9316驱动时,其两G17347G5353出端将输出两G1022感应电势,G17837G1135G1461号G13475G1461号检出电G17347综G2524后,G5430成在G5145G1552及G11468位上随测G3848位G13634G13792变的电G2399G1461号,代G15932了位移量的大小和方向此G1461号再G13475G6930大、G9400G8886及G6984G5430等初步调理后，由A/D转换器转换为对应的G6980字量送入微G6523制器。微G6523制器对它G17839G15904G1461号处理、存储G1209及G7186示，获G5483较高精度的测量结G7536，然后按G13007G13491G13464成态设定的输出方式，G1209要求的G1461号G5430式将测量结G7536输出。G13007G13491的G6984G1319方框图G3926图2G6164示。A2A3A4A0A1A5A6A7A8A23各个单元电路的设计318051单片机简介目G2081，8G19G241单G10267机在工业检测G20058G3507G1025G5483G2052了G5203G8879的应用，G3252此我们可G1209在许G3822单G10267机应用G20058G3507G1025，配接各种类G3423的语音接口，G7512成具有G2524成语音输出能G2159A9A10A11A12A13A14A15A16A17A18A19A20A21A22A15A23A24A25A20A26A27A28A29A/DA30A31A32A33A15A34A35A36的综G2524应用G13007G13491，G1209G3698G5390人机对话的功能。89CG241是G44G81G87G72G79公司生产的一种单G10267机，在一小块芯G10267上集成了一G1022微G3423计算机的各G1022G13464成G18108分。G8611一G1022单G10267机包括一G10228位的微G3423处理器CPU；一G1022G21G246K的G10267内G6980据存储器RG36M；G10267内程序存储器ROM；四G10228位并G15904的G44G18O接口PG19G16P3，G8611G1022接口G7094可G1209输入，也可G1209输出；两G1022定时器G18记G6980器；五G1022G1025断G9316的G1025断G6523制G13007G13491；一G1022G1852双工UG36RG55的串G15904G44G18O口；G10267内G6403G14645器和时钟产生电G17347，但G11719英晶G1319和微调电容G19668要外接。最高允许G6403G14645G20069率是1G21MHZ。G1209上各G1022G18108分G17902G17819内G18108总G13459G11468连接。下G19766G12628单介绍下其各G1022G18108分的功能。G1025央处理器CPU是单G10267微G3423计算机的指挥、执G15904G1025心，由它读人用户程序，并逐条执G15904指令，它是由8位算术逻辑运算G18108G1226G11G12628称G36LG88、定时G6523制G18108G1226，G14521G5190G4504存器G36、B、BG24G90、G24PG1209及16位程序计G6980器G11PG70和G6980据指G19036G4504存器G11G39M等主要G18108G1226G13464成。算术逻辑单G1815的G11840G1226结G7512与典G3423微G3423机G11468似。它具有对8位G1461G5699G17839G15904、G16、X、G18四则运算和逻辑与、或、异或、取G2465、清G256G19G257等运算，并具有判跳、转移、G6980据传送等功能，此外还提G1391存G6930G1025间结G7536及常用G6980据G4504存器。G6523制器G18108G1226是由指令G4504存器、程序计G6980器PG70、定时与G6523制电G17347等G13464成的。指令G4504存器G1025存G6930指令代码。枷执G15904指令时，G1186程序存储器G1025取来G13475译码器译码后，G7693据不同指令由定时与G6523制电G17347发出G11468应的G6523制G1461号，送G2052存储器、运算器或G44G82接口电G17347，完成指令功能。程序计G6980器PG70程序计G6980器PG70用来存G6930下一条将要执G15904的指令，G186116位可对G1209K字节的程序存储器直接寻址G70指令执G15904结束后，PG70计G6980器自动G3698加，指向下一条要执G15904的指令地址。CPU功能，总的来说是G1209不同的方式，执G15904各种指令。不同的指令其功自略异。有的指令涉及G2052枷各G4504存器之间的G1863G13007；有的指令涉及G2052单G10267机G7692心电G17347内G18108各功能G18108G1226的G1863G13007；有的则与外G18108器G1226G3926外G18108程序存储器发生联G13007。事G4466上，G70RJ是G17902G17819复杂的时序电G17347完成不同的指令功能。G6164谓G70RJ的时序是指G6523制器G6523照指G1182功能发出一G13007列在时间上有一定次序的G1461号，G6523制和启动一G18108分逻辑电G17347，完成G7588种操作。一时序1时钟电G173478G19G241G10267内设有一G1022由G2465向G6930大器G6164G7512成的G6403G14645电G17347，XG55G36LG44和XG55G36LG21分别为G6403G14645电G17347的输入端和输出端。时钟可G1209由内G18108方式产生或外G18108方式产生。G18331用内G18108方式时，在C1和CG21G5353脚上接G11719英晶G1319和微调电容可G1209G7512成G6403G14645器，G6403G14645G20069率的选择范围为1G211G21MHZ在使用外G18108时钟时，XG55G36LG21用来输入外G18108时钟G1461号，G13792XG55G36LG44接地。G21时序MGLG24G79单G10267机的一G1022执器周期由6G1022状态G11G861G866G13464成，G8611G1022状态G2460持续G21G1022接G14645周期，分为P1和PG21两G1022节拍。G17837G7691，一G1022机器周期由1G21G1022G6403G14645周期G13464成。G14521G18331用1G21MHG93的晶G1319G6403G14645器，则G8611G1022机器周期为1G88G86，G8611G1022状态周期为16G88G86；在一G6980情况下，算术和逻辑操作发生在G49期间，G13792内G18108G4504存器G2052G4504存器的传输发生在PG21期间。对于单周期指令，当指令操作码读人指令G4504存器时，使G1186S1PG21开G3999执G15904指令。G3926G7536是双字节指令，则在同一机器周期的G86G23读人G12544G1120字节。G14521为单字节指令，则在G241期间G1185G17839G15904读，但G6164读入的字节操作码被G5585略，G1000程序计G6980据也不加1。在加结束时完成指令操作。G3822G6980MG70G86G241指令周期为1G21G1022机器周期，只有G1068法和除法指令G19668要两G1022G1209上机器周期的指令，它们G19668G23G1022机器周期。对于双字节单机器指令，G17902常是在一G1022机器周期内G1186程序存储器G1025读人两G1022字节，但MG82G89X指令G1375外，MG82G89X指令是G16787问外G18108G6980据存储器的单字节双机器周期指令，在执G15904MG82G89X指令期间，外G18108G6980据存储器被G16787问G1000被选G17902时跳G17819两次取指操作。二引脚极其功能MCSG241G13007列单G10267机的G23G19G1022G5353脚G1025有G21G1022G999用于主电G9316G5353脚，G21G1022外接晶G6403的G5353脚，G23G1022G6523制或与其它电G9316复用的G5353脚，G1209及3G21条输入输出G44G18OG5353脚。下G19766按G5353脚功能分为G23G1022G18108分G2477G17860G1022G5353脚的功能。1、电G9316G5353脚G57G70G70和G57G86G86G57G70G70（G23G19脚）接G24G57电G9316G8503端；G57G86G86（G21G19脚）接G24G57电G9316G8503端。G21、外接晶G6403G5353脚XG55G36L1和XG55G36LG21XG55G36L1（19脚）接外G18108G11719英晶G1319的一端。在单G10267机内G18108，它是一G1022G2465G11468G6930大器的输入端，G17837G1022G6930大器G7512成G18331用外G18108时钟时，对于HMOS单G10267机，G16825G5353脚接地；对于CHOMS单G10267机，G16825G5353脚作为外G18108G6403G14645G1461号的输入端。XG55G36LG21（18脚）接外G18108晶G1319的G2490一端。在单G10267机内G18108，接G14279G10267内G6403G14645器的G2465G11468G6930大器的输出端。当G18331用外G18108时钟时，对于HMOS单G10267机，G16825G5353脚作为外G18108G6403G14645G1461号的输入端。对于CHMOS芯G10267，G16825G5353脚G5760G12366不接。3、G6523制G1461号或与其它电G9316复用G5353脚G6523制G1461号或与其它电G9316复用G5353脚有RSG55G18G57A37A38、G36LG40G18P、PSG40G49和G40G36G18G57A37A37等G23种G5430式。（G36）RSG55G18G57A37A38（9脚）RSG55G2375为RG40SG40G55，G57A37A38为G3803用电G9316，G6164G1209G16825G5353脚为单G10267机的上电复位或G6493电保G6264端。当单G10267机G6403G14645器工作时，G16825G5353脚上出现持续两G1022机器周期的高电平，G4613可G4466现复位操作，使单G10267机复位G2052初G3999状态。当G57A39A39发生故G19568，G19489G1314G2052G1314电平规定G1552或G6493电时，G16825G5353脚可接上G3803用电G9316G57A37A38（G24G57）为内G18108RG36MG1391电，G1209保证RG36MG1025的G6980据不G1014G3845。（B）G36LG40G18P（3G19脚）当G16787问外G18108存储器时，G36LG40（允许地址G19157存G1461号）G1209G8611机器周期两次的G1461号输出，用于G19157存出现在PA40口的G1314（C）PSG40G49G11G219脚G29G10267外程序存储器读选G17902输出端,G1314电平有G6940。当G1186外G18108程序存储器读取指令或常G6980期间，G8611G1022机器周期PG40SG49两次有G6940，G1209G17902G17819G6980据总G13459口读G3250指令或常G6980。当G16787问外G18108G6980据存储器期间，PG40SG49G1461号将不出现。（G39）G40G36G18G57G83G83（31脚）G40G36为G16787问外G18108程序储器G6523制G1461号，G1314电平有G6940。当G40G36端保持高电平时，单G10267机G16787问G10267内程序存储器G23KB（MSG24G21G4388G13007列为8KB）。G14521超出G16825范围时，自动转G2447执G15904外G18108程序存储器的程序。当G40G36端保持G1314电平时，G7092G16782G10267内有G7092程序存储器，均只G16787问外G18108程序存储器。对于G10267内含有G40PROM的单G10267机，在G40PROM编程期间，G16825G5353脚用于接G211G57的编程电G9316G57G83G83。G23输入G18输出（G44G18O）G5353脚PG19口、P1口、PG21口及P3口G11G36PA40口（39脚G794G21G21脚）PA40A41A40G794PA40A41A42G13491称为PA40口。当不接外G18108存储器与不扩G4649G44G18O接口时，它可作为准双向8位输入G18输出接口。当接有外G18108程序存储器或扩G4649G44G18O口时，PA40口为地址G18G6980据分时复用口。它分时提G13918位双向G6980据总G13459。对于G10267内含有G40PROM的单G10267机，当G40PROM编程时，G1186PA40口输入指令字节，G13792当检G20576程序时，则输出指令字节。G11BPA43口（1脚G7948脚）PA43A40G794PA43A42G13491称为PA43口，可作为准双向G44G18O接口使用。对于MCSG24G21G4388G13007列单G10267机，PA43A41A40和P11还有G12544G21功能PA43A41A40口用作定时器G18计G6980器G21的计G6980G14045G1926输入端G55G21；PA43A41A43用作定时器G18计G6980器G21的外G18108G6523制端G55G21G40X。对于G40PROM编程和G17839G15904程序G7669G20576时，PA40口接G6922输入的G13148位地址。G11CPA44口（G211脚G794G218脚）PA44A40G794PA44A41A42G13491称为PA44口，一般可作为准双向G44G18O接口。当接有外G18108程序存储器或扩G4649G44G18O接口G1000寻址范围超G17819G21G246G1022字节时，PA44口用于高8位地址总G13459送出高8位地址。对于G40PROM编程和G17839G15904程序G7669G20576时，PA44口接G6922输入的8位地址。G11G39PA45口（1G19脚G7941G26脚）PA45A41A40G794PA45A41A42G13491称为PA45口。它为双功能口，可G1209作为一般的准双向G44G18O接口，也可G1209将G86111位用于G12544G21功能，G13792G1000PA45口的G8611一条G5353脚均可G10432G12447定G1053为G125441功能的输入输出或G12544G21功能。PA45口的G12544G21功能G16277下G15932单G10267机P3G19管脚含G1053综上G6164G17860，MCSG241G13007列单G10267机的G5353脚作用可G5414G13447为G1209下两G98691单G10267机功能G3822，G5353脚G6980G4581，G3252G13792许G3822G5353脚具有G12544G21功能；G21单G10267机对外G25883总G13459G5430式，由PA44、PA40口G13464成16位地址总G13459；由PA40口分时复用作为G6980据总G13459。32电感式位移传感器的基本原理G7693据磁G17347的G3534本知G16794，G13459G3292的自感可按下式计算LG32G49A44G18RG80其G1025G49G13459G3292的匝G6980,RG80G16磁G17347总磁阻G6980,在G8680G19565G2414度较小的情况下，可G1209认为磁G3342是均G2260的，其G1025L为G13459G3292自感，G49为各G8585G4560磁G1319的磁G4560率G13459G3292的电感G17331G8680G19565G2414度、G8680G19565的G19766G12227、G4560磁G1319的长度等有G1863。G7693据G6925变G12366G8680G19565的G2414度、G12366G8680G19565的G19766G12227、磁G1319的长度来G4466现电感的变化，G1186G13792G4466现测量的作原理，自感式电感传感G5353脚G12544G21功能P3G19RXG39（串G15904口输入端G19）P31G55XG39（串G15904口输出端）P3G21G44G49G55G19（G18108G1025断G19G16843求输入端，G1314电平有G6940）P33G44G49G551（G1025断1G16843求输入端，G1314电平有G6940）P3G23G55G19（时器G18计G6980器G19计G6980G14045G1926端）P3G24G551（时器G18计G6980器1G6980G14045G1926端）P36G58R（G18108G6980据存储器G1901选G17902G1461号输出端，G1314电平有G6940）P3G26RG39（G18108G6980据存储器读选G17902G1461号输出端，G1314电平有G6940）器可分为G8680G19565G3423、G6142G19766G3423、螺管G3423。G8680G19565G3423传感器G9801G6947度高，对后续测量电G17347的G6930大G1505G6980要求G1314，它的G13582G9869是G19762G13459性G1017重，为了G19492制G19762G13459性，示G1552范围只能较小，由于G15912G19093在运动方向上受G19093心的G19492制，故自由G15904程小。G6142G19766G3423具有较好的G13459性，自由G15904程较大，制造G16025配比较方便，但G9801G6947度较G1314。螺管G3423则结G7512G12628单，制造G16025配容易G29由于G12366G8680G19565大，磁G17347的磁阻高，G3252此G9801G6947度G1314，但G13459性范围大G30此外，螺管G3423还具有自由G15904程可G1231G5859G4445G6502、制造方便等G1260G9869，在G6221量生产G1025的G1126换性较好，G17837G13485测量仪器的G16025配、调G16809、使用G5114来很大的方便，G4600其在使用G3822G1022测微仪G13464G2524测量G5430状的时G1517。G3252为螺管G3423的G17837G1135G1260G9869，G6164G1209我们G18331用螺管G3423差动式电感测G3848。图为螺管G3423电感式传感器的结G7512图。螺管G3423电感传感器的G15912G19093随被测对象移动，G13459G3292磁G2159G13459G17347G5464上的磁阻发生变化，G13459G3292电感量也G3252此G13792变化。G13459G3292电感量的大小与G15912G19093G6566入G13459G3292的G9157度有G1863。设G13459G3292长度为L、G13459G3292的平均G2334G5464为R、G13459G3292的匝G6980为N、G15912G19093G17839入G13459G3292的长度LA、G15912G19093的G2334G5464为RA、G19093心的有G6940磁G4560率为M，则G13459G3292的电感量L与G15912G19093G17839入G13459G3292的长度LA的G1863G13007可G15932示为G1144G8981电G7737是电感式传感器的主要测量电G17347，它的作用是将G13459G3292电感的变化转换成电G7737电G17347的电G2399或电G8981输出。G2081G19766已提G2052差动式结G7512可G1209提高G9801G6947度，G6925善G13459性，G6164G1209G1144G8981电G7737也G3822G18331用双G14230工作G5430式。G17902常将传感器作为电G7737的两G1022工作G14230，电G7737的平衡G14230可G1209是G13443电阻，也可G1209是变G2399器的G1120次G1403绕G13464或G13051G13818G2524电感G13459G3292。图G1120是G1144G8981电G7737的几种常用G5430式G3926图3G6164示。2222214AAMRLLRLNLPILRXRA4612A47A48A49A50A51A52A53A54A53A55A56A57A58A59A48A57A60A61A62A63A63A64A65A66A67A68A69A70A71A69A72A73A74A73A75A76A74A73A75A76A74A73A77A74A78A65A79A80A81A82A69A72A83A84A83A85A83A84A83A85A73A77A74A73A74A86A84A86A85A86A84A87A83A88A73A77A74A89A65A69A90A91A92A71A69A72A47A93A94A95A52A96A97A98A99A100A101电阻平衡臂电桥如图二A所示。Z1、Z2为传感器阻抗。高L1L2L则有Z1Z2ZRJWL,另有R1R2R。由于电桥工作臂是差动形式，则在工作时，Z1ZZ和Z2ZZ，当ZL时，电桥的输出电压为当LR时，上式可近似为由上式可以看出交流电桥的输出电压与传感器线圈电感的相对变化量是成正比的。变压器式电桥如图二B所示，它的平衡臂为变压器的两个二次侧绕组，当负载阻抗无穷大时输出电压为由于是双臂工作形式当衔铁下移时，Z1ZZ，Z2ZZ，则有同理，当衔铁上移时，则有可见，输出电压反映了传感器线圈阻抗的变化，由