NH3半自动特气柜说明翻译

1、上海韩科电子科技有限公司 Cabinet Manual(Simplified) 目录1.安全1-1.常规1-1-1.危险级别和强度1-1-2.危害类型1-2.重要的安全警告1-2-1.安全装置1-2-2.运行安全1-2-3.维修安全1-3.个人防护设备1-4.危害警告1-4-1.有毒气体危害1-4-2.腐蚀性气体的危害1-4-3.易燃气体的危害1-4-4.氧气及其他氧化剂的危害1-4-5.惰性气体的危害1-4-6.高压气体1-4-7.汽缸操作的危害1-4-8.电气危害1-4-9.清楚气体回流的危害1-4-10.噪音1-5.安全措施1-5-1.安全注意事项1-5-2.安全互锁系统1-5-2-1.

2、互锁1-5-2-2.互锁名单1-6.紧急停止（紧急停止）1-6-1.紧急停止（GMS）开关位置1-6-2.紧急停止（GMS）开关设计1-6-3.从紧急开关复位1-6-4.紧急开关演示1-6-5.紧急开关电路图1-6-6.远程关闭演示1-7.安全连锁装置1-7-1.门连锁控制1-7-2.火灾探测器1-7-3.高温度开关1-7-4.气体泄漏探测器1-7-5.阀门开关1-7-6.自动警示1-7-7.喷洒器1-7-8.同轴泄露包检测2.前言2-1.气柜的作用2-2.应用气体3.制造商名称及地址3-1.名称3-2.地址3-3.品牌4.气柜介绍4-1.外观介绍4-1-1.控制部分4-1-2.多管路概述4-

3、1-3.部件名称列表4-1-4.部件介绍4-2.说明书4-2-1.型号4-2-2.气柜的外观5.安装5-1.安装指导5-1-1.安装安全5-1-2.气柜的移动5-1-3.系统安装5-2.机械暗转5-2-1.安装孔位置5-2-2.外形尺寸5-2-3.管道连接5-3.电气安装5-3-1.环境条件范围5-3-2.电力连接5-4.应用条件5-4-1.管口5-4-2.制程管5-4-3.充气供应5-4-4.气柜排气系统需求5-4-5.城市供水5-5.应用范围5-6.安装后检查表6.控制面板开关&元件的作用6-1.面板元件的位置6-2.功能说明7.运行7-1.系统框图和流程图7-1-1.系统框图7-

4、2.管道加热7-2-1. 管道加热说明7-2-2. TZN4S说明7-3.程序7-3-1.程序7-3-2. MT4N说明8.标记8-1.标签8-2.铭牌8-3.警告，警告标志9.故障如何检查9-1.机械故障检查9-1-1.故障检查9-1-2.无意识的解除线路9-2.电路故障检查9-3.报警信息和状态概要10.维护10-1.常规10-2.维护检查项目10-3.周期检查项目10-3-1.每日检查项目10-3-2.半年检查项目10-3-3.其他检查项目10-4.零件的更换和维修10-4-1.如何更换传感器10-4-2.去和更换零件10-5.基本的项目10-5-1.更换奇点（TASK1）10-5-2.

5、更换气瓶颈圈的气垫（TASK2）11.零件清单11-1.机械零件清单11-2.机械制图11-3.电气零件清单11-4.电气制图12.物质安全资料1.安全1-1.常规1-2.重要的安全警告1-3.个人防护设备1-4.危害警告1-5.安全措施1-6.紧急停止（紧急停止）1-7.安全连锁装置1.安全操作设备之前，您应该熟悉下面有关的警告和通知.安全.1-1. 常规以下内容是各种符号的解释，和说明，并且包含了设备和手册的各章节的安全和警告.在设备和每章的手册.1-1-1.危害级别和强度提醒：这符号指你应该检查商品的损失或者使用者的伤害，除非你承担。以便你应该遵守相关规定或者依照相关条例建立相关规章制度

6、.注意：这符号指告知你重要的或普通的信息以便让你保持谨慎警告：这符号指你应该检查危急的破坏或者对使用者决定性的伤害，除非你承担，以便你应该遵守相关规定或者依照相关条例建立相关规章制度.危险：这符号指你直接检查对商品决定性的破坏或者对使用者决定性的破坏，除非你承担。以便你应该遵守相关规定或者依照相关条例建立相关规章制度。注意：上面的符号就标记的项目当你读完并了解相关记录，你能保护在商品和操作者在此环境中的安全1-1-2.灾害类型（标志）这个标志指你不擅自操作. 操作设备前，你应该熟悉内容，设备可被培训过的人操作。这个标志指你在操作前应带好防护手套. 您在有毒气体的地方工作时应戴上口罩。 这个标志

7、指你在设备区域应带上防毒面具 您在有毒气体的地工作时应带上口罩。 这个标志指有电危险 当你触碰时当心触电 设备配置前请关闭电源 这个标志指当你在此区域呼吸时存在危险 设备可用于培训过的人而你在处理设备时 应知道相关内容。 由于在此区域存在有毒气体 由于与皮肤接触是危险的 在使用前你必须了解相关手册 这标志指引诱可燃气体存在你必须谨慎 当你无任何保护时可收到严重的伤害 在使用前你必须了解相关使用手册 这个标志指因有腐蚀气体存在，你须谨慎 当你无任何保护时可能受到严重伤害 在使用前你须了解相关使用手册 这个标志指因有爆炸气体存在，你须谨慎 当你无任何保护时可受到严重伤害 子使用前你须了解相关使用手

8、册1-2. 重要的安全警告1-2-1.安全装置警告你绝不应该在设备周围存放易燃材料警告气体探测器应安装到包含危险气体的机架警告应该在设备位置安装一个灭火器或一个保护设备警告依照气体的特性来连接系统的排风注意安装设备环境的允许温度变化范围为055注意安装设备环境的允许湿度在1090%RH注意安装设备环境的允许震动在57HZ注意安装设备环境的允许海拔在2000米范围内注意你不能是设备受到冲击注意系统电源应该从UPS所提供的稳压电源1-2-2.运行安全警告在你没熟悉此手册前，你不应擅自去运行设备警告此设备应该有专业操作人员警告在更换容器瓶后，没做保压测试前不能进行供气警告供气前需进行质量检测，检测合

9、格后才能进行供气1-2-3.维修安全警告你绝不能是气柜容器受到撞击警告当气体管路维护后，你应该对设备先吹扫再拆解警告当控制电源开着时请勿维护警告当更换容瓶，在没有吹扫前请勿拆解气体管路注意在安装管路时不能过度用力拧注意在运输容瓶时，应该对容瓶进行密封1-3. 个人防护设备 穿戴防护手套 扎个标签贴在又腐蚀性气体或液态气体的气柜上以引起人们的重视，而在维修时你应带上防护手套。如果在管道中又剩余气体流出接触到你的肢体，你将受到伤害 佩戴面具 这个标签应贴在有毒的气柜上以引起人们的重视，而在维修时你应带上佩戴面具.如果你呼吸到的有毒气体达到允许浓度水平以上将对人的生命构成危险，请谨慎！当你呼吸到有毒

10、气体时尽快离开你所在的位置到含氧多的地方，并去求医 穿戴防护服 这个标签应贴在又可燃气体或者爆炸气体的气柜上易引起人们的重视当发生事故时你应穿上防护服保护身体. 当气温上升时可燃气体和其它气体容易引发火灾可能性将增大.你应该与其他隔绝并远离火源.由于火灾极大的破坏性所以这种气体在使用时特别规定 佩戴防护面罩 这个标签应铁在有腐蚀性气体或者有毒气体的气柜上以引起人们的重视.你应当佩戴防护面罩. 液态气态飞溅到眼睛有可能使你失明，当你使用时应特别小心.警告设备运行前，客户应该准备个人防护用品，以下是要准备的东西*安全淋浴*紧急电话*洗眼器*气体泄漏检测系统*充足的通风1-4.危害警告警告 在全面掌

11、握以下手册的警告以后，你方可处理和正常工作.警告 除非参照以下警告目录，不然你将严重损坏设备和作业人员.1-4-1.有毒气体的危害 这标签是用于有毒气体的支架，在处理有毒气体时十分重要的提示，如果你呼吸到的有毒气体高于允许吸入密度的级别（份量级）将危害到人身安全，所以当你在处理时，应特别小心谨慎！ 一旦你吸入有毒气体时，请你尽可能的逃离目前所处位置到氧气充足的地方，并求医。 这标签应贴在有毒气体的支架上 在维护时须佩戴面具.1-4-2.腐蚀性气体的危害 这标签是用于由腐蚀性气体的支架，在处理有腐蚀性气体时十分重要的提示。因为每种气体具有各自的反应特性，所以你在处理时，请依照气体的特性。 一旦你

12、与该气体接触，你应该用干净的谁冲洗并咨询医生 这标签应贴在液态气体的支架上以引起重视. D 当你维护时，应穿戴上防护手套. 这标签贴在有腐蚀性气体或有毒气体支架上，以引起重视. 当在维护时或发生重大事故时，应当佩戴防毒面具.1-4-3.易燃气体的危害 这标签贴在有易燃气体的支架上，在处理有易燃气体时有重要的提示。 当气温上升时客人气体和其它气体结合容易引发火灾可能性将增大.你应该与其他隔绝并远离火源. 由于火灾时重大灾难，所以在处理这种气体时的特别提示 这标志贴在易燃气体或爆炸性气体支架上. 当发生重大事故或系统维护时，须穿防护服. 1-4-4.爆炸性气体的危害 这标签贴在有爆炸性气体的支架，

13、在处理有爆炸性气体时十分重要的提示 在温度增高的情况下，爆炸性气体易和空气或其他气体结合，所以极易发生火灾或爆炸，造成重大灾难。 这标签贴在易燃性气体或爆炸性气体支架上，以引起重视. 当发生重大事故或维护系统时，你应当穿防护服。1-4-5.氧气及其它氧化剂的危害 系统使用氧气或其他氧化剂对特定的设备有特定的要求，材料结构或者系统洁净可能导致伤害或死亡*在使用氧气或氧化剂按照安全惯例*仅用于氧气或氧化剂设计的设备检修*在任何时候都应该保持氧气洁净*无明火，烟火，或火花靠近氧气设备*不可用氧气替代压缩空气1-4-6.惰性气体的危害 当N,H或者其它惰性气体浓缩在一个狭小的空间，人就有可能因为缺氧而

14、窒息 工作场所应该有足够的新鲜空气 当你在狭小空间维护时，你应该带上面具1-4-7.高压气体的危害警告 高压气体会破坏设备，并给操作者带来危害警告 在加压环境中，你不应该解开或者松开他按照典型的最小停工/挂牌系统程序根据职业安装健康管理Laborpara.1910.147在1.5节找到本手册1-4-8.气瓶操作的灾害警告 对高压气瓶不当的处理易导致未知的危险警告 当人员维护培训时，对高压气体设备进行保压测试，是为了增强操作者的安全提醒 为了防止气瓶跌落，被存的气瓶应放在一个指定区域。如果充满高压的气瓶被跌落遭受重撞，阀门被破坏，将使人受到重大伤害提醒 当你备存气瓶时，应将气瓶用CAP密封保存提

15、醒 当您运输气瓶超过20公斤，应使用集装箱运输提醒 你应通过CAP SEALED运输气瓶 1-4-9.电气危险为主系统控制单元供电，代表电力部分说明书应遵循系统的规格要求一般来说从UPS供应稳压电源为AC220伏电压按照典型的最小停工/挂牌系统程序由职业安全健康管理Laborpara.1910.147在本手册1.5节找1-4-10.清除气体回流的危害警告 因为清除气体为低压，你应该使高压气体在气瓶内不倒流通过在设备上安装单向阀，防止气体倒流1-4-11.噪音注意 系统运行82db以下1-5.安全措施当此系统通过各种不同的安全措施被保护包含互锁装置，为确保设备安全运行，以下基本安全预防措施需要落

16、实危险遵从以下系统指示操作后，如果不符合以下指示可能导致身体受伤或危险事故的发生1. 操作运行前，请仔细阅读和理解本手册2. 在维修过程中，运行设备前，注意设备附近正在工作的人员3. 在使用适当工具时，严格遵守流程4. 穿适当的防护装备5. 不单独操作，在运行时操作时，确保其他人员能明显或清洗的条件作业人员声音6. 记住紧急通道和避难所7. 确保任何繁重的货物是由两个或两个以上的人进行8. 工作以后，检查所有零件和螺丝将返回到之前的工作地方9. 当生病或醉酒后，禁止操作，以免意外事故发生10. 当维修手册中没有提到的发生时，禁止操作1-5-2.安全互锁装置系统1-5-2-1.互锁装置当系统发生

17、异常时，该系统通过互锁装置提供保护，以致使损失降到最低程度不要禁用或更改任何一个互锁装置当一个互锁装置被禁用，对于此系统的部分或者整个系统的功能都是不正常的。（不用互锁装置操作类型和引发异常检测都是同的，请参考下页的互锁装置）解决方法是激活互锁装置，然后进行适当的恢复操作 危险尝试安全互锁装置的重写不仅损害系统而且非常危险，只有经过培训的工程师或 维修工作人员被允许暂时屏蔽的安全互锁装置工作系统运行前，依照安全互锁装置清单检查互锁装置正常运行1-5-2.联锁清单联锁类型检测方式警告信息输入信号原因状态备注陈列蜂鸣器空气阀紧急开关紧急开关紧急开关紧急开关被按下00关闭标准安全连锁装置排气开关排气

18、出错当排气比设定值低时开始运行00警报标准火灾检测高温警报由于在系统内部有火灾探测器00关闭参考操作手册11高温检测高温传感器警报由于在系统内部有高温探测器00关闭烟雾检测烟雾传感器警报由于在系统内部有烟雾探测器00关闭N/A气体检测泄露警报由于在系统内部气体泄漏00关闭参考操作手册11超流量开关超流量开关(2)出错由于系统运行瞬时超流量00警报参考操作手册11同轴开关同轴开关开由于系统内部具有同轴开关检测00关闭N/A安全警报压缩压力开关真空低警报由于氮气比设定压力低00警报标准纵向压力开关纵向消除出错在纵向控制压力变低00警报标准管路加热器及RTD传感器加热器高温警报由于管路加热器温度比设

19、定值高00警报参考操作手册11加热器低温警报由于管路加热器温度比设定值低00警报参考操作手册11加热器A(B)出错RTD传感器不正常00警报参考操作手册11气体检测泄露检测警报系统内存具有气体泄漏检测00警报参考操作手册11外部信号洗涤塔出错外部输入终端部正常00警报N/A联锁类型检测方式警告信息输入信号原因状态备注陈列蜂鸣器空气阀吹扫&保压警告重量表W/S 1s low limit稳定的配置设定值变成了汽缸内部气体存在的重量值00参考操作手册11W/S 2s low limit压力传感器(PT1)1s low limit稳定的配置设定值变成了系统内部的稳定压力值00(PT2)2s l

20、ow limit(PT3)1s low limit00(PT3)2s low limit(PT1)1s high limit00(PT1)2s high limit关闭质量表&压力传感器Cylinder change fail当自动更换气瓶后发生的00Cylinder changeA<->BPLC&触摸屏Force Change由于临时停工，停止或强制改变00Process Pause StopProcess Stop00系统警告压力传感器&PLCRemain Gas Error由于管道中存在残余气体Line Vaccum Error由于正空未建立00Lin

21、e Error由于正空未建立N2 Error吹扫 N2值比设定值低00L/C He Error在气体保压检测时比配置设定值低Negative L/C Error在正压保压时出错00Positive L/C Error In在正保压时出错PLCPLC CPU Memory L/C Error由于PLC内存溢出00PLC Battery Low L/C Error由于PLC电池电量低Mementery Power off紧急停止开关被按下00关闭Ars PLC Fail由于PLC内存溢出或者无输入信号1-6.紧急停止开关本节介绍紧急停止开关及其重要作用，紧急停止和远程关闭有毒气体.一旦有人按下其中

22、一个紧急开关主要电源和所有气体阀门全部被关闭注意：积极开关盒互锁装置按下复位开关后重新运行. 警告：不要再非紧急情况下使用紧急开关，这种尝试对设备和系统是有损害的！1.6.1.紧急停止开关位置紧急停止开关系统分布在以下地点，当你正在系统前工作，按下靠你最近的紧急开关 1-6-2.紧急停止开关设计紧急停止开关具有下述功能和作用紧急停止电路是一个独立的电路.一旦何一个紧急停止开关被按下时，所有空气阀关闭一旦何一个紧急停止开关被按下时，开关的接触点断开恢复紧急停止的情况下，顺时针方向旋转开关复位.这种复位使得系统重新启动1-6-3.恢复紧急停止开关危险：在紧急停止开关恢复时，确认系统无任何人操作此外

23、，在系统重新启动前，请确保没有任何工具或系统以外的物品存在，安全模块启动，该系统才能安全运行危险：只有经过训练的人员才可以从紧急停止中复位系统，客户要求任何人或者工作附近的人都完全知道后，紧急停止开关才能恢复安全生产按顺时针方向旋转紧急开关复位后，电源重新启动然后电源启动后，紧急停止开关按钮突起1-6-4.紧急停止开关演示当在气体支架发生紧急情况时，按下紧急停止按钮，此时系统所有阀门关闭，停止气体供应。此时屏幕上显示紧急状态，并且信号灯和蜂鸣器同时警告。通过硬写入来确保紧急开关的功能。1-7.安全联锁装置注意：仅当你把紧急停止开关或安全连锁装置复位后，这系统被再次运行。1-7-1.门联锁控制有

24、控制门被打开，门联锁控制则切断电源1-7-2.火灾传感器定义：此装置时为了通过警告和连续的步骤防止大灾难的产生，如果是那样的话，在气柜中易燃气体，爆炸性气体的泄露或者其它原因导致发生火灾工作原理:原理是用超声波检测特定频段的光波的信号使用：安装支架内部的顶部，例如易燃气体，爆炸性气体导致警报或者联动自动停止被安装在如易燃气体，爆炸性气体的特殊气体的气体支架上部里面使用，当检测温度升高，则转换成电信号去控制发出警报并且紧急投入自动执行一系列行动1-7-4.气体泄漏探测器定义：该器件在大气中检测到的存量超过标准值并警告信号报警或气体检测报告工作原理在大气中测量部分超过的特定气体是在传感器校准完成后

25、通过特定气体与大气之间的化学反应。您可以指定的标准值做出警报，如果被检测气体比配置设定值更高则发出电子信号，使输出报警信号JEIL气体架配备端口（选配），可以收到这些警告信号并在收到预警信号的事件发生供应中断和报警功能或其它设备的警告通知.使用：被安装在专门指定的领域（气体架，气体室等），以通过检测防止有毒气体泄露损害人，贵重物品.1-7-5.阀门快门定义：自动锁定装置被安装在汽缸顶部在处于气体准备供应状态或者气体供应时在特定的错误或紧急装置设备锁自动锁闭使用：被直接安装在有毒，易爆缸盖，和腐蚀性气体.当特性错误和紧急在气体支架发生，这一个装置避免对人们和日用品的伤害和从汽缸盖自动锁定不断恶化

26、的状况.1-7-6.自动控制定义：这个装置时程序控制，防止操作员未处理而开启货柜更换易爆性气体或者剧毒性气体.工作原理：装置在空气中运行，空气供应被电磁阀控制这个装置只能由操作者拿六角螺母连接器的圆筒容器断开.使用：被安装在具有特别管理以防止意外发生的气体，这让操作者断开后，直至调节水平1-7-7.喷洒器定义：系统防止因火灾或者其它错误造成温度超过72额外事故，通过喷漆机以防意外工作原理：当温度升高时，喷洒器运行通过高压喷嘴喷水使用：被安装在支架顶部，当检测到热源对气瓶摇动喷水1-7-8.同轴保温套检漏仪定义：装置停止提供处理气体或发送电信号，当泄露再次在分流处理时出现探测器检测泄露.工作原理

27、：装置在高压火低压相对探测器压了一半时产生电信号运行使用：气体用双管覆盖是因为有毒并且危险2.前言2-1.气柜的作用2-2.天然气的应用2-1.系统的作用该气体柜是一个在安全情况下提供高纯无污染的气体，为半导体制程所需高纯气体，调整气体的具体压力是在高压力或者发送到被控VMB/P（阀组盒/组）或者为制程装置直接提供而被用于晶片制造.VMB/P允许一系列柜台装置布高纯度气体被从气柜提供并发送到不同的设备.随着半导体技术的日益提高，制程需要的是得到所需纯度的高纯度气体，该装置尽可能的降低其中的污染并使之降到最低纯度.2-2.气体的应用注释：C：腐蚀性F：可燃性O：氧化性T：有毒性P：易燃性I：惰性

28、警告：对于危险气体因标明“YES”，你应该参考MSDS报告，准备各种个人防护用品.警告：你应当根据气体类型对个人防护设备进行分类（依据1.安全章节1-3个人防护设备）3.制造商名及地址3-1.名称3-2.地址3-3.铭牌3.制造商名称及地址如全面的半导体设备制造商，这个系统目前正在生产和提供气体供应团队.因制造设备被JELT通过一系列安全测试，所以提供高质量并为高新技术部门制造高性能产品。3-1.名称Jeil Eng Co.,Ltd.3-2.详细地址FACTORY :119-1, Deokcheon-Ri, Paltan-Myeon, Hwaseong-Si, Kyonggi-Do, Kore

29、aTel : +81-31-350-9777 Fax : +81-31-350-97783-3.铭牌（立体式气柜）4.气柜介绍4-1.外观介绍4-1-1.控制部分4-1-2.多管路概述4-1-3.部件名称列表4-1-4.部件介绍4-2说明书4-2-1.型号4-2-2.气柜外观4.系统介绍4-1.外观介绍下图是气柜外貌，机身构造和控制.内部链接面板和气瓶，上面链接应用面板的控制.通常，上部控制可被组建为第2章第1节4-1-1.控制部分Main Power : 220V, 1, 50/60Hz, 5A Heater : 15APLC : N / ATouch Screen : N / APower

30、 Supply : S8VM-10024C (Omron)4-1-2.多管路概述4-1-3.部件名称列表4-1-4.部件介绍1.AV1A,AV1B：吹扫气体隔离阀此阀为在更换气瓶前N2吹扫2. AV2A,AV2B：制程气体隔离阀此阀为气瓶供气第一个控制阀.尤其在吹扫期间内包吃吹扫3. MV3A,MV3B：制程气体输送手动隔离阀此阀通过调节后自动传送提供制程气体，因此，此阀的设计，对气瓶的交换过程没有影响.4. MV4A,MV4B：制程气体输送手动排气阀此阀为调节后制程气体排气，其目的是党压力超过了标准压力值使控制器自动排出.5.MV5AMV5B：工艺气体供应手动排气阀门.此阀用于气瓶供气或者N

31、2吹扫.此阀用于“制程气体保压检查”，和“净化N2保压检查”可中断的排气管连接6.MV6：保压测试此阀用于系统更换气瓶后保压检查在保压检查时通过系统的正常N2压力规格执行“保压检查”7.MV7：吹扫气体循环阀此阀是在更换气瓶前用N2吹扫8.MV8：真空建立阀门此阀通过真空发生器提供氮气调节9.MV9：吹扫气体流量阀在换瓶，此阀的安装以防腐蚀和污染里面的工具,排出受污染的空气并维持免使外部空气进入。10.PT1A,PT1B：压力传感器此阀起到了重要作用，通过检查并读出在钢瓶的气体交换时的传送气体实际压力，当容器压力比自动开关值小时通过电信号自动更换钢瓶.11. PT3A,PT3B：压力传感器此装

32、置通过检测气体传送实际压力，当实际压力比设定压力小时进行调节12.PT4：真空压力传感器在更换气瓶时此装置在开启制程管前能允许实际真空管在可使用的真空13.REG1A,REG1B：调节此装置允许调节高压，通过调节，从气瓶提供需要的压力14.VG：真空发生器改设备用于更换设备气瓶时吹扫管道，允许通过“venturi的原则”建立管道内的真空过程15.CV1：低吹扫N2单向阀该设备可用于N2气体对“系统压力保压检查时”，防止回流16.CV2A,CV2B：吹扫N2单向阀该设备在吹扫入口，可用于在吹扫状态时防止自控气体回流，防止N2反响流动引起污染和事故17.CV3A,CV3B：传递排气单向阀该设备可用

33、于在“吹扫或排气时”防止回流，其中装载单向阀后，以免造成污染气体反响流动的污染.18.CV5：venturi N2单向阀该设备可用于“排气时”防止回流道制程气体里，在venturi N2入口安装，防止N2反向流动引起污染和事故19.LF1A,LF1B：过滤该设备用于过滤在更换气瓶时产生的粒子，以防止在更换气瓶时气管进口产生比直径0.5 µm大的颗粒20.LF2：终端过滤器此设备用于清除阀门操作，调整时，气管中的流动粒子和清除安装其他部件产生的达0.01µm的小颗粒21.MV3A,MV3B：制程气体输送手动分离阀此设备安装后AV3A AV3B阀给最后的气动供应，为该设备的手动

34、操作部分.因此是设备维护时出于双重安全考虑的设计22.MG：抽风表你应该对泄露的气体（泄露气体可能发生）快速排漏并在任何时刻对柜内提供真空这是现实内部真空而无需打开柜门的真空计， 23.MD：手动调节阀你应该对泄露的气体（泄漏气体可能发生）快速排漏，并保持柜内提供真空.此组件与排气管连接的挡板是能够控制真空量4-2.说明书本章提供解释技术指标气柜的特点下表为安排气柜的规范.下表设置气柜后安排所需的设备规范4-2-1.型号这种安全的气体是JEIL自己标记作为产品名称，JEIL被贴在气柜或者阀门管道盒、面板上JC800-M-0003 : All Manual Type(Display &

35、Alarm only, No control)02 : SemiAuto Controller With PLC01 : PLC Touch Auto Type Controller4-2-2.系统的外观气柜具有下述特性和功能，高安全系数的系统.*控制器-能够使用PLC构建联锁和尽量减少操作者的失误-无操作人员能够自动处理和手动操作-具有自动吹扫和排气的功能-使用PLC的GMS可以在办公室监视气柜-触摸屏使用简单-通过触摸屏现实消息密码安全科技安全验收*实用工具-吹扫，排气，自动更换时由程序自动操作-能够通过压力传感器确定气压，报警压力出错警报并通过PLC关闭相关配置-使用AV9能够尽量减少管

36、内污染（Bleed Valve）-当气体超过流量时，通过过流量开关自动停止工作-通过调节器使汽缸压力变小-过滤器会移除粒子-通过净化器能够增加气体纯度*案例-附件：你必须使用以防止易燃气体腐蚀性气体由于存在延时问题，你必须使用“开放型”*应用气体-能够应用于每种惰性，腐蚀，有毒气体的气等等*选择可以通过设置快门阀传感器，高温传感器，检漏火灾传感器，气体特性烟雾传感器，提高安全水平4-2-2-1.零部件名称4-2-2-2.部件说明*塔灯：显示制程条件的系统，绿灯上出于正常状态，并且通过肉眼确认报警和紧急状态的红灯。*触摸面板：改设备可以通过手指触摸触摸屏操作的系统只收过教育的指定操作人员可触摸面

37、板*排气开关&表：这是用肉眼确认是否排气系统的设备*电贴纸：对主要危险的带电控制系统通过标签警示*窗口锁定：您可以通过窗口进行简单处理.当您使用完成并关闭操作.装置则出于锁定状态*颜色带：根据气体的特性将连接分成红、黄、绿*铭牌：贴在系统表面的标识牌是合格品*门柄：当你完成气瓶更换供应，打开门后更换.刹车装置被按好后关门*控制面板：关联组件和系统主要控制相连接*气体探测器：当对人体有害气体泄漏时，能够通过检测并发出通知*控制锁：锁定装置时除了让指定的人打开外，其他人禁止打开*型号牌： 历史系统的管理*安全玻璃：安装是为了当门关闭时能明白内部情况*安全工具贴纸：连接告知当系统错误发生时采

38、取适当的保护措施*气体名称牌：为了区别词系统供应气体5.安装5-1.安装指导5-1-1.安装安全5-1-2.气柜的移动5-1-3.系统安装5-2.机械安装5-2-1.安装孔位置5-2-2.外形尺寸5-2-3.管道连接5-3.电气安装5-3-1.环境条件范围5-3-2.电力连接5-4.应用条件5-4-1.管口5-4-2.丘线5-4-3.制程管5-4-4.吹扫管5-4-5.充气供应5-4-6.排气柜系统需求5-4-7.N2防泄管5-4-8.城市供水5-5.布置应用&移除5-6.安装后检查列表5.安装5-1.安装说明5-1-1.安装安全警告你绝不能在系统周围堆放易燃材料警告应该在对于危害柜体

39、中安装气体检测器警告应该在系统所在位置安装灭火装置和防护装置警告应该对特有气体连接排风系统提醒系统允许温度范围055提醒系统允许湿度范围10-90%RH提醒系统允许脉冲57HZ内提醒系统允许海拔高度在2000M提醒系统不能被碰撞提醒系统应该从UPS提供稳定电源（220AC,50/60HZ,3A）5-1-2.气柜的移动注意在搬运系统时并不能过度撞击并用额外安全搬运尤其是，您应该谨慎，并使用额外的连接以免设备掉下来5-1-3.系统安装1.在安装时，为了不影响侧面和正面的气体流动应该在侧面和正面留适当的空间2.为不妨碍人们来往应该在前面留足够的空间3.为两部妨碍系统正常工作应该在系统上方留足够的空间

40、4.系统应安装在气体室，当系统发生事故时以便立即逃离5.第二管路应并行安装，而绝不能交叉安装6.在系统安装时，在同一地方应该考虑整体环境7.通过调节电压和电流，使之能供给控制系统5-2.机械安装5-2-1.安装孔位置注意假如你担任此系统安装，你应该使用固定栓固定，用冲击钻在地面打孔减少晃动.部分孔能被修饰，但是你应该分那四等分并用固定栓固定5-2-2.外形尺寸5-2-3.管路连接所有管路系统包括通风管必须按照相关的守则或者条例做保压测试业主遵守的职责请参阅警告使用前操作者应重新确认连接管是否被接好5-3.电气安装5-3-1.环境条件范围气柜使用电源应该由UPS提供适当的电源供压范围应该在220

41、VAC 50/60HZ,对每个控制全载时的额定消耗电流大约3A更多详细说明请联系供应商，对各个控制电源提供特殊电源在添加加热器或添加特殊要求时，功耗应分开估计加热器供应电源为220VAC 50/60HZ,对每个控制全载时的额定消耗电流大约25A5-3-2.电力连接在旗鼓安装场所，电气布线应该由合格电工完成电源配线提供的大小，由所需电压和额定电流决定5-4.应用条件在更换气瓶或其他部件前后，需要通过真空泵或者真空发生器把管内残留气体排出柜内中的管一般使用1/4不锈钢管管口必须和清洁后通过排风管的清洁器相连，应使用每种的气体洗涤器正确连接并连接时请参阅其公司你应该依照各种气体同合适的清洁器相连，当你连接时参考清洁器资料5-4-2.制程管连接从气柜出来的制程气管用管路工具或者气柜压力应该可调，气柜和工具要求（大约80-100psi）和1/4不锈钢管连接5-4-3.气动供应G-N2的供应是为了由于气体鬼的气动阀运行供应压力可被调节到大约80Psi, 1/4不锈钢管，通过在气柜上方的特殊阀完成连接，通过内部调动或者压力开关，内部文雅供给螺旋管阀或运行气动阀.5-4-4.气柜排气系统要求排风的作用是为了排出由气体的微露引起的气体烟雾，或者由