• 现行
  • 正在执行有效
  • 2020-11-19 颁布
  • 2021-10-01 实施
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文档简介

ICS7715030

H62..

中华人民共和国国家标准

GB/T39158—2020

平面显示用高纯铜旋转管靶

Highpuritycopperrotatabletubetargetforflatpaneldisplay

2020-11-19发布2021-10-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T39158—2020

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准由中国有色金属工业协会提出

。

本标准由全国有色金属标准化技术委员会归口

(SAC/TC243)。

本标准起草单位有研亿金新材料有限公司有色金属技术经济研究院宁波江丰电子材料股份有

:、、

限公司沈阳有色金属加工有限公司

、。

本标准主要起草人曾浩罗俊锋韩知为贺昕董艳霞陈明熊晓东曹欢欢万小勇林若虚

:、、、、、、、、、、

袁海军刘晓张健郭姗姗

、、、。

Ⅰ

GB/T39158—2020

平面显示用高纯铜旋转管靶

1范围

本标准规定了平面显示用高纯铜旋转管靶的术语和定义分类技术要求试验方法检验规则标

、、、、、

志包装运输贮存质量证明书及订货单或合同内容

、、、、()。

本标准适用于平面显示用各种规格的高纯铜旋转管靶产品

4N、4N5、5N。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

一般公差未注公差的线性和角度尺寸的公差

GB/T1804—2000

铜及铜合金化学分析方法第部分电感耦合等离子体原子发射光谱法

GBT5121.2727:

数值修约规则与极限数值的表示和判定

GB/T8170

金属材料中氢氧氮碳和硫分析方法通则

GB/T14265、、、

铜及铜合金平均晶粒度测定方法

YS/T347

高纯铜化学分析方法痕量杂质元素含量的测定辉光放电质谱法

YS/T922

铜及铜合金管材超声波纵波探伤方法

YS/T1000—2014

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件

。

31

.

旋转管靶rotatabletubetarget

一种平板显示领域用的管状靶材

。

注主要用于电子薄膜沉积

:。

32

.

表面粗糙度surfaceroughness

Ra

加工表面具有的较小间距和微小峰谷的不平度轮廓的平均算术偏差值Ra即在一定测量长度l

。,

范围内轮廓上各点至中线距离绝对值的平均算术偏差用下式表示

,y。:

1

Ra=1|y|x

ld

∫0

4分类

产品的牌号按纯度分三个牌号产品的规格可分为ϕϕ

RCu-4N、RCu-4N5、RCu-5N。155×438、155×

ϕϕϕ不同牌号对应的规格见表

888、155×1091、155×888、167×2490。

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