- 现行
- 正在执行有效
- 2016-07-11 颁布
- 2017-01-01 实施
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文档简介
ICS77.150.99
H68
中华人民共和国有色金属行业标准
YST1123—2016
铂蒸发料
Evaporatedplatinummaterial
2016-07-11发布2017-01-01实施
中华人民共和国工业和信息化部发布
YST1123—2016
前言
本标准按照给出的规则起草
GB/T1.1—2009。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会提出并归口
(SAC/TC243)。
本标准起草单位有研亿金新材料有限公司有色金属技术经济研究院
:、。
本标准主要起草人张巧霞张涛王兴权向磊万小勇贺昕张玉利王越王永辉贾存锋
:、、、、、、、、、。
Ⅰ
YST1123—2016
铂蒸发料
1范围
本标准规定了铂蒸发料的要求试验方法检验规则标志包装运输贮存质量证明书及订货单
、、、、、、、
或合同内容
()。
本标准适用于半导体行业用的铂蒸发料
。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文
。,
件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件
。,()。
海绵铂
GB/T1419—2004
计数抽样检验程序第部分按接收质量限检索的逐批检验抽样计划
GB/T2828.11:(AQL)
贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法
GB/T15077—2008
3要求
3.1产品分类
3.1.1产品按照化学成分分为两个牌号
IC-Pt99.95、IC-Pt99.99。
3.1.2产品主要分为片状柱状如图所示产品形状定义及供货状态应符合表的要求需方有
、,1。、1,
其他要求时由供需双方协商解决
。
说明
:
A长度L长度
———;———;
B宽度D直径
———;———。
C厚度
———;
图1铂蒸发料示意图
表1铂蒸发料分类
形状定义供货状态
片状厚度为长度为宽度为的片材
0.5mm~5mm,5mm~20mm,5mm~20mm加工态
柱状直径为
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