• 现行
  • 正在执行有效
  • 2013-10-17 颁布
  • 2014-03-01 实施
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文档简介

ICS7715099

H68..

中华人民共和国有色金属行业标准

YS/T937—2013

镍铂靶材

Nickel-platinumtarget

2013-10-17发布2014-03-01实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

YS/T937—2013

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准由全国有色金属标准化技术委员归口

(SAC/TC243)。

本标准负责起草单位有研亿金新材料股份有限公司北京有色金属研究总院

:、。

本标准参加起草单位宁波江丰电子股份有限公司中国有色金属工业标准计量质量研究所

:、。

本标准主要起草人朱晓光顾新福杨永刚向磊何金江郭力山吕保国姚力军王学泽

:、、、、、、、、、

李勇军尚再艳孙秀霖陈彩霞张丽李娜刘红宾夏乾坤蒋宇辉

、、、、、、、、。

Ⅰ

YS/T937—2013

镍铂靶材

1范围

本标准规定了镍铂靶材的要求试验方法检验规则和标志包装运输贮存质量证明书及合同

、、、、、、

或订货单内容

()。

本标准适用于半导体薄膜用的各类镍铂靶材

。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

产品几何技术规范表面结构轮廓法表面粗糙度参数及其数值

GB/T1031(GPS)

金属平均晶粒度测定法

GB/T6394

金属材料中氢氧氮碳和硫分析方法通则

GB/T14265、、、

贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法

GB/T15077

变形金属超声检验方法

GJB1580A

溅射靶材背板结合质量超声波检验方法

YS/T837-

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件

。

31

.

靶材target

溅射沉积技术中的阴极部分该阴极材料在带正电荷的阳离子撞击下以分子原子或离子的形式

。、

脱离阴极而在阳极表面沉积

。

32

.

靶坯targetblank

阴极上用作目标材料的部分

。

33

.

背板backingplate

用来支撑或固定靶坯的部分靶材与背板可以通过焊接如钎焊电子束焊扩散焊等机械复合

。(、、)、、

粘接等方式连接

。

4要求

41产品分类

.

411镍铂靶材分类按照结构形式分为单体和复合两种

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