《产品几何技术规范（gps）表面结构 区域法 第604部分：非接触（相干扫描干涉）式仪器的标称特性gbt 33523.604-2022》详细解读

《产品几何技术规范（gps）表面结构区域法第604部分：非接触（相干扫描干涉）式仪器的标称特性gb/t33523.604-2022》详细解读contents目录1范围2规范性引用文件3术语和定义3.1与区域表面结构测量方法相关的术语和定义3.2与X,Y轴扫描系统相关的术语和定义contents目录3.3与光学系统有关的术语和定义3.4与工件光学特性有关的术语和定义3.5相干扫描干涉测量显微的专用术语和定义4影响量的描述4.1总则4.2影响量contents目录附录A(资料性)相干扫描干涉(CSI)显微镜的概述和组件附录B(资料性)相干扫描干涉工作原理附录C(资料性)空间分辨力附录D(资料性)表面形貌测量重复性评估过程示例附录E(资料性)与GPS矩阵模型的关系contents目录参考文献011范围非接触式相干扫描干涉仪器本标准适用于采用相干扫描干涉原理进行表面结构测量的非接触式仪器。其他相关术语的界定对本标准中使用的专业术语进行了详细定义和解释，确保读者准确理解。1范围022规范性引用文件123GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准的结构和编写》GB/T6060.1-2018《表面结构的术语、定义及参数》GB/T10610-2009《产品几何技术规范(GPS)表面结构轮廓法评定表面结构的规则和方法》2规范性引用文件033术语和定义本部分给出了与表面结构区域法相关的术语和定义。这些术语和定义是理解、应用该标准的基础。确保在交流、文档编制时的准确性和一致性。3术语和定义043.1与区域表面结构测量方法相关的术语和定义03测量方法采用非接触式测量方法对区域表面结构进行高效、精确的测量，包括相干扫描干涉仪等先进设备。01定义区域表面结构是指工件表面在特定区域内形成的微观几何形状特征，包括粗糙度、波纹度、形状误差等。02重要性区域表面结构对工件的摩擦、磨损、密封、配合等性能具有重要影响，是产品质量控制的关键指标之一。3.1与区域表面结构测量方法相关的术语和定义053.2与X,Y轴扫描系统相关的术语和定义X轴扫描范围指沿X轴方向扫描的最大距离或区域。Y轴扫描范围指沿Y轴方向扫描的最大距离或区域。扫描范围限制受仪器设计和制造限制，扫描范围可能有一定限制。3.2与X,Y轴扫描系统相关的术语和定义063.3与光学系统有关的术语和定义光学系统定义由透镜、反射镜等光学元件组成，用于对光线进行传输、变换和聚焦的系统。光线传输特性包括光的直线传播、反射、折射等基本性质，是光学系统设计和应用的基础。光学系统的作用在表面结构测量中，光学系统用于生成和检测相干光，进而实现对被测表面的高精度测量。3.3与光学系统有关的术语和定义073.4与工件光学特性有关的术语和定义光滑表面工件表面粗糙度较小，光线反射较为一致，散射光较少。粗糙表面工件表面粗糙度较大，光线反射散乱，散射光较多。透明表面工件材料具有一定的透光性，允许光线穿过并产生折射、反射等现象。3.4与工件光学特性有关的术语和定义083.5相干扫描干涉测量显微的专用术语和定义本节将详细阐述相干扫描干涉测量显微技术中使用的专用术语。专用术语明确术语定义有助于提高技术应用的准确性和一致性。定义重要性专用术语与其对应定义相互关联，共同构成技术标准的基础。术语与定义关系3.5相干扫描干涉测量显微的专用术语和定义094影响量的描述03了解和掌握这些影响量，对于保证测量的准确性和可靠性具有重要意义。01影响量是指在测量过程中，除被测对象本身的特性外，能够影响测量结果的因素或量。02在非接触（相干扫描干涉）式仪器中，影响量可能包括环境、仪器本身以及被测对象等多方面的因素。4影响量的描述104.1总则定义与范围本部分规定了采用非接触（相干扫描干涉）式仪器测量表面结构的标称特性，包括术语和定义、测量原理、仪器特性及其评定方法等。重要性与应用非接触式测量技术具有高精度、高效率、无损检测等优点，在产品表面质量控制和工艺优化等方面具有广泛应用价值。本标准的制定有助于规范市场，提高测量技术的准确性和可靠性。与其他部分的关联本部分作为《产品几何技术规范（GPS）表面结构区域法》的系列标准之一，与第601、602、603等部分共同构成完整的表面结构测量体系。各部分之间既相互独立，又相互联系，共同为产品表面结构的准确评定提供技术支持。4.1总则114.2影响量非接触式相干扫描干涉仪器在工作过程中，应具备一定的温度稳定性，以确保测量结果的准确性。仪器自身温度稳定性外部环境温度的波动可能对仪器的测量精度产生影响，因此在使用时需关注环境温度的变化范围。环境温度变化采用先进的温度补偿技术，可以减小温度对测量结果的影响，提高仪器的环境适应性。温度补偿技术4.2影响量12附录A(资料性)相干扫描干涉(CSI)显微镜的概述和组件原理介绍相干扫描干涉显微镜基于光学干涉原理，通过测量光程差来分析样品表面形貌。应用领域该显微镜在材料科学、生物医学、微电子等领域具有广泛应用。优势特点高分辨率、非接触测量、三维形貌重构等。附录A(资料性)相干扫描干涉(CSI)显微镜的概述和组件13附录B(资料性)相干扫描干涉工作原理扫描方式该技术采用纵向扫描方式，通过精确控制参考镜或测试镜的位移，实现对被测表面的逐点扫描。相干长度相干长度是相干扫描干涉技术中的重要参数，它决定了系统的测量范围和分辨率。干涉原理相干扫描干涉技术基于光波的干涉原理，通过测量参考光与测试光之间的光程差，得到被测表面的形貌信息。附录B(资料性)相干扫描干涉工作原理14附录C(资料性)空间分辨力空间分辨力指仪器能够分辨的最小空间距离或细节的能力。空间分辨力是评价非接触式测量仪器性能的关键指标之一，直接影响测量结果的准确性和可靠性。定义重要性附录C(资料性)空间分辨力15附录D(资料性)表面形貌测量重复性评估过程示例选择合适的测量仪器根据评估需求，选用符合标准的非接触（相干扫描干涉）式仪器。制定评估方案结合实际情况，设计合理的评估流程和步骤。确定评估目标和要求明确表面形貌测量重复性的评估目的，包括测量精度、稳定性等指标。附录D(资料性)表面形貌测量重复性评估过程示例16附录E(资料性)与GPS矩阵模型的关系定义与组成GPS矩阵模型是一个多维度的框架，用于描述产品几何技术规范中的各要素及其相互关系。作用与意义该模型有助于全面理解产品几何特性，为产品设计、制造和检验提供统一的指导。附录E(资料性)与GPS矩阵模型的关系17参考文献GB/T1957-2006《表面粗糙度参数及其数值》系列标准该标准规定了表面粗糙度的参数及其数值，为GPS表面结构区域法提供了基础参数支持。ISO25178-6042017