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文档简介
《真空技术真空计热阴极电离真空计规范GB/T42604-2023》详细解读contents目录1范围2规范性引用文件3术语和定义4符号和缩略语5热阴极电离真空计的原理6制造商给出的热阴极电离真空计规范contents目录7制造商另给出的热阴极电离真空计规范(可选)8热阴极电离真空计测量不确定度的贡献分量附录A(资料性)典型的玻璃壳体的B-A型真空计附录B(资料性)B-A型真空计的典型电连接附录C(资料性)电离真空计的问题参考文献011范围03其他类型真空计可参照使用。01规定了热阴极电离真空计的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。02适用于测量粗低真空、低真空和高真空的热阴极电离真空计(简称电离计)的制造、验收、使用、维护和修理。1范围022规范性引用文件保持与最新技术同步及时引用更新发布的标准,使本规范与当前真空技术发展水平保持一致。提高规范的可操作性引用的文件涵盖了真空计制造的各个方面,为制造商和用户提供了详细的指导和建议。确保标准内容准确无误通过引用相关的国家和行业标准,确保本标准的各项规定均基于权威、准确的技术文件。2规范性引用文件033术语和定义组成由热阴极、阳极(收集极)和测量离子流的电路组成。特点具有较高的灵敏度和测量精度,适用于低真空至高真空的测量范围。定义热阴极电离真空计是一种利用热阴极发射电子电离气体分子,并测量所产生的离子流来推断气体压强的真空计。3术语和定义044符号和缩略语p气体压力(单位可根据具体情况选择,如Pa、kPa等)I气体电离产生的离子流(单位:A)U真空计电离规的供电电压(单位:V)4符号和缩略语055热阴极电离真空计的原理123在热阴极电离真空计中,通过加热阴极使其发射出电子。加热阴极发射电子发射出的电子在真空环境中会与气体分子发生散射作用。电子被气体分子散射散射电子的数量与气体分子的密度(即气压)成正比关系。散射电子数量与气压关系5热阴极电离真空计的原理066制造商给出的热阴极电离真空计规范市场需求热阴极电离真空计在真空技术领域中应用广泛,制定规范是满足市场需求的必要举措。技术发展随着真空技术的不断进步,热阴极电离真空计的性能指标和测试方法亟需更新和规范。标准化趋势为推动真空技术的标准化发展,制定热阴极电离真空计规范势在必行。6制造商给出的热阴极电离真空计规范077制造商另给出的热阴极电离真空计规范(可选)制造商可提供特定型号热阴极电离真空计的测量范围,包括最小测量值和最大测量值。测量范围制造商可根据实际需求,提供不同准确度等级的热阴极电离真空计,以满足用户不同应用场景的需求。准确度等级制造商可提供经过计量部门校准的真空计校准证书,确保真空计量值的准确性和可追溯性。校准证书7制造商另给出的热阴极电离真空计规范(可选)088热阴极电离真空计测量不确定度的贡献分量电流测量的稳定性由于电流波动或测量仪器的不稳定,可能引入一定的不确定度。电流测量精度电流测量仪器的精度限制也会对不确定度产生影响。电流测量环境的影响外部环境因素,如电磁干扰等,可能对电流测量结果产生微小影响。8热阴极电离真空计测量不确定度的贡献分量09附录A(资料性)典型的玻璃壳体的B-A型真空计玻璃壳体设计采用透明玻璃材料,便于观察内部结构和工作状态。B-A型结构具有特定的电极配置,包括阴极、阳极等,以实现电离真空的测量。高真空度测量范围适用于高真空度的测量,具有较高的测量精度和稳定性。附录A(资料性)典型的玻璃壳体的B-A型真空计10附录B(资料性)B-A型真空计的典型电连接为确保真空计的稳定运行,应提供稳定的直流电源,并符合规定的电压和电流要求。稳定的直流电源电源线规格接地保护根据真空计功率及使用环境,选择合适的电源线规格,确保电流传输的安全与稳定。真空计的电源系统应具备良好的接地保护,以防止电气故障和雷击等潜在风险。030201附录B(资料性)B-A型真空计的典型电连接11附录C(资料性)电离真空计的问题
附录C(资料性)电离真空计的问题真空计无显示或显示异常检查电源线路是否接触良好,确认电源电压是否符合要求;检查真空计传感器及连接线是否损坏。测量结果偏差较大对真空计进行校准,确保其准确度;检查测量环境是否存在干扰因素,如电磁干扰、温度波动等。真空计响应速度慢检查真空计传感器是否受到污染,进行清洗;确认真空系统是否存
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