类金刚石薄膜

类金刚石薄膜Tag内容描述：<p>1、类金刚石薄膜的电子结构及组分分布研究类金刚石薄膜的电子结构及组分分布研究 摘要：本论文采用直流磁控溅射，以Ar、Ar与CH4为工作气体溅射高纯石墨靶材制备了DLC薄膜。通过改变沉积基体的温度，溅射功率，沉积气压和工作气体等实验参数，以使得到的碳膜呈现出不同的表面形貌和性能；采用AES、FTIR、Raman、等现代化测试手段，通过对薄膜宏观和微观结构的分析，研究了制备工艺对DLC薄膜电子化学键结构的影响,重点用俄歇电子能谱CKLL的dN(E)/E的形式来探索类金刚石薄膜sp2和 sp3的组分分布及其随膜厚的分布图。得到以下结果：（1）俄歇电子。</p><p>2、实验二 等离子体增强化学气相沉积 方法制备类金刚石薄膜实验 一、实验目的 二、实验内容 三、实验仪器设备和材料 四、实验原理 五、实验方法和步骤 六、实验报告要求 七、实验注意事项 八、思考题 提纲： 一、实验目的 （1）通本实验使学生了解气体辉光放电的原理和过程。 （2）使学生了解并熟悉直流辉光放电等离子体化学气相沉积系统的 结构和使用方法。 （3）掌握等离子体化学气相沉积薄膜的工艺原理及在基片上沉积类 金刚石薄膜的工艺过程。 二、实验内容 （1）高真空的获得与测量。 （2）等离子体的产生。 （3）设定实验工艺参数、利。</p><p>3、泓域咨询MACRO/ 类金刚石膜项目可行性研究报告目录第一章 项目概况第二章 投资单位说明第三章 项目背景及必要性第四章 项目市场前景分析第五章 项目方案分析第六章 项目选址分析第七章 建设方案设计第八章 工艺说明第九章 项目环境影响分析第十章 项目职业安全第十一章 项目风险概况第十二章 项目节能说明第十三章 实施进度计划第十四章 投资可行性分析第十五章 经济效益可行性第十六章 项目结论第一章 项目概况一、项目概况（一）项目名称类金刚石膜项目（二）项目选址xxx科技园项目建设区域以城市总体规划为依据，布局相对独立，便于集。</p><p>4、1,微波CVD制备硅薄膜 & 类金刚石薄膜,2,微波法制备大面积硅薄膜设备及工艺（大面积）,表面波微波等离子体 线形微波等离子体,3,Capacitvely Coupled Plasma, ,Relatively low density,Non-uniformity caused by,Standing Wave Effect,Skin Effect,Edge Effect,Electromagnetic properties,Quasi-static property,Electrostatic property,PECVD & MWCVD（表面波微波等离子体）,(1010 1011 cm-3),4,Great need for large-area plasma sources for giant materials processing.,Example: - thin film deposition for LCD (Liquid Crystal Disp。</p><p>5、星形MPCVD装置上制备类金刚石薄膜的研究,报告人：熊礼威,第十三届全国等离子体科学技术会议,四川 成都 2007年8月,湖北省等离子体化学与新材料重点实验室,武汉工程大学 等离子体化学与新材料重点实验室,报告主要内容,研究背景 星形微波等离子体装置介绍 类金刚石薄膜的沉积研究 结论 后期工作计划,湖北省等离子体化学与新材料重点实验室,研究背景,类金刚石薄膜（DLC）具有一系列接近于金刚石薄膜的优异性能，如很高的硬度、很小的摩擦系数、良好的化学稳定性、较高的电阻率、优异的红外和微波频段的透过性和高的光学折射率等，在机械、电子。</p><p>6、第4 5卷第1期 2 0 0 8年1月 真空V A C U U M V o l 4 5 N o 1 J a n 2 0 0 8 收稿日期 2 0 0 7 0 7 0 9 作者简介 王淑占 1 9 8 1 女 吉林省松原市人 硕士生 联系人 李合琴 教授 基金项目 安徽省自然科学基金 0 3 0 4。</p><p>7、实验二,等离子体增强化学气相沉积方法制备类金刚石薄膜实验,一、实验目的二、实验内容三、实验仪器设备和材料四、实验原理五、实验方法和步骤六、实验报告要求七、实验注意事项八、思考题,提纲：,一、实验目的,（1）通本实验使学生了解气体辉光放电的原理和过程。,（2）使学生了解并熟悉直流辉光放电等离子体化学气相沉积系统的结构和使用方法。,（3）掌握等离子体化学气相沉积薄膜的工艺原理及在基片上沉积类金刚石薄膜。</p>