标准解读

《GB/T 36706-2018 磷化铟多晶》是一项国家标准，该标准详细规定了磷化铟多晶材料的技术要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、运输和贮存等方面的内容。磷化铟作为一种重要的半导体材料，在光电子器件等领域有着广泛的应用。

根据该标准，磷化铟多晶的纯度是关键指标之一，对杂质含量提出了严格限制，以确保其适用于后续加工成高质量的单晶或薄膜材料。此外，对于磷化铟多晶的外观质量也给出了具体描述，包括但不限于颜色、形状等特征，旨在保证材料的一致性和可加工性。

在试验方法部分，《GB/T 36706-2018》介绍了如何通过化学分析法来测定磷化铟多晶中的主元素（如In、P）含量及主要杂质元素（如Fe、Cu、Si等）浓度，同时提供了采用X射线荧光光谱仪进行快速成分分析的方法。这些测试手段为评估磷化铟多晶的质量提供了科学依据。

关于检验规则，《GB/T 36706-2018》明确了抽样方案与判定原则，确保每批次产品均能满足规定的性能要求。最后，在包装、标志、运输和贮存章节中，则是对如何妥善处理磷化铟多晶进行了指导，比如使用适当的包装材料避免物理损伤；在外包装上清晰标注相关信息以便于识别；采取必要措施防止运输过程中发生泄漏等问题；以及推荐适宜的储存条件以保持材料性能稳定。


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  • 现行
  • 正在执行有效
  • 2018-09-17 颁布
  • 2019-06-01 实施
©正版授权
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ICS29045 H 83 . 中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准 GB/T367062018 磷 化 铟 多 晶 Polycrystallineindiumphosphide2018-09-17发布 2019-06-01实施 国 家 市 场 监 督 管 理 总 局 发 布 中国国家标准化管理委员会 GB/T367062018 前 言 本标准按照 给出的规则起草 GB/T1.12009 。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会 与全国半导体设备和材料标准 (SAC/TC203)化技术委员会材料分会 共同提出并归口 (SAC/TC203/SC2) 。 本标准起草单位 南京金美镓业有限公司 有色金属技术经济研究院 中国电子科技集团公司第十 : 、 、三研究所 广东先导稀材股份有限公司 石家庄麦特达电子科技有限公司 中国科学院半导体研究所 云 、 、 、 、南中科鑫圆晶体材料有限公司 。 本标准主要起 草 人 范 家 骅 邢 志 国 杨 桂 芳 刘 文 兵 李 素 青 王 阳 李 晓 岚 孙 聂 枫 刘 惠 生 : 、 、 、 、 、 、 、 、 、赵有文 惠峰 朱刘 刘永豪 、 、 、 。 GB/T367062018 磷 化 铟 多 晶1 范围 本标准规定了磷化铟多晶的要求 试验方法 检验规则 标志 包装 运输 贮存 质量证明书及订货 、 、 、 、 、 、 、 单 或合同 内容 ( ) 。 本标准适用于生产磷化铟单晶用的磷化铟多晶 。2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 凡是注日期的引用文件 仅注日期的版本适用于本文 。 , 件 凡是不注日期的引用文件 其最新版本 包括所有的修改单 适用于本文件 。 , ( ) 。 贵金属及其合金密度的测试方法 GB/T1423 非本征半导体单晶霍尔迁移率和霍尔系数测量方法 GB/T4326 半导体材料牌号表示方法 GB/T14844 3 要求 31 牌号 . 磷化铟多晶的牌号表示应符合 的规定 GB/T14844 。32 电学性能 . 磷化铟多晶的电学性能应符合表 的规定 1 。 表 1 电学性能 要求 项目 级 级 级 级 级 A B C D E 载流子迁移率 2 4500 3500 3000 2500 2500 cm /(Vs) 载流子浓度 15 15 15 16 16 3 310 610 810 110 310 atoms/cm33 密度 . 磷化铟多晶的理论密度为 3 实测密度与理论密度的偏差应在 以内 即实测密度应 4.787g/cm , 5% , 为 3 3 4.548g/cm 5.
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