硅片的等级标准.doc

硅片的检测版本1A级B级C级D级E级线痕：TV：TTV：孪晶：多晶：裂纹、裂痕：应力：空洞：缺角：V型缺口：弯曲度翘曲度：硅多晶线性尺寸长度：无或轻线无无无不存在多晶无无无无无无6L100mm10m,5条20m15无不存在多晶无无无无无,50m6L100mm20m,10条20m30无不存在多晶无无无无无75m6L100mm30m,15条20m50无不存在多晶无有无无无100m6L100mm50m20m50有存在多晶有严重(可能碎裂)有有有100mL6或L100mm一、 优等品1：硅片表面光滑洁净2：TV：22020um 。3：几何尺寸：边长：1250.5mm；对角1500.5mm、1480.5mm、1650.5mm；边长：1030.5mm、对角：1350.5mm；边长：1500.5mm、1560.5mm、对角：2030.5mm、2000.5mm、。同心度：任意两个弧的弦长之差1mm 垂直度：任意两边的夹角：900.3二、合格品一级品：垂直度：任意两边的夹角：900.5二级品：1：表面有少许污渍、线痕。凹痕、轻微崩边。 2：22030um TV22040um。 3：凹痕：硅片表面凹痕之和30um 4：崩边范围：崩边口不是三角形， 崩边口长度1mm ，深度0.5mm 5：几何尺寸： 边长：1250.52mm；对角1500.52mm、1480.52mm、1650.52mm；边长：1030.52mm、对角：1350.52mm；边长：1500.52mm、1560.52mm、对角：2030.52mm、2000.52mm、。同心度：任意两个弧的弦长之差1.5mm 垂直度：任意两边的夹角：900.8三级品：1：表面有油污但硅片颜色不发黑，有线痕和硅洛现象。2：22040um TV22060um。3：硅落：整张硅片边缘硅晶脱落部分硅晶脱落。三、不合格品严重线痕、厚薄片：TV22060um。崩边片：有缺陷但可以改103的硅片气孔片：硅片中间有气孔外形片：切方滚圆未能磨出的硅片。倒角片（同心度）：任意两个弧的弦长之差1.5mm菱形片：（垂直度）：任意两边的夹角900.8凹痕片：硅片两面凹痕之和30um 脏片：硅片表面有严重污渍且发黄发黑尺寸偏差片：几何尺寸超过二级片的范围。注：以上标准针对的硅片厚度为220um 。硅片等级分类及标准（150*150）一、 优等品（类片）1、 物理、化学特性型号：P 晶向1001氧含量：1.0X1018at/cm3碳含量：5X1016 at/cm3勺子寿命：T=1.33.0us（在测试电压20mv下裸片的数据）电阻率：0.91.2、1。23.0 、3.0-6.0/cm位错密度：3000个/cm 2、几何尺寸：边长：125*1250.5mm对角：150*1500.5mm同心度：任意两弧长之差1mm垂直度：任意两办的夹角900.3厚度：20020 um，（中心点厚度195um，边缘四角厚度195um）18020 um，（中心点厚度175um，边缘四角厚度160um）TTV: 30um弯曲度：40um3、表明指标： 线痕：无可视线痕目视表面：无粘污、无水渍、染色、白斑、指印等无崩边：无可视裂纹、边缘光滑、目视无翘曲二、合格品（类片）2、 物理、化学特性型号：P 晶向1001氧含量：1.0X1018at/cm3碳含量：5X1016 at/cm3勺子寿命：T=1.33.0us（在测试电压20mv下裸片的数据）电阻率：0.5-0.8/cm位错密度：3000个/cm 2、几何尺寸：边长：125*1250.5mm对角：150*1500.5mm同心度：任意两弧长之差1.5mm垂直度：任意两办的夹角900.3厚度：20020 um，（中心点厚度195um，边缘四角厚度180um）18020 um，（中心点厚度175um，边缘四角厚度160um）TTV: 30um弯曲度：40um3、表明指标： 线痕：无明显线痕、触摸无凹凸感。崩边范围：崩边口不是“V”型，长X 深1X0.5mm ，无可视裂纹、边缘光滑、目视无翘曲三、 等外品（类片）3、 物理、化学特性型号：P/N 晶向1003氧含量：1.0X1018at/cm3碳含量：5X1016 at/cm3勺子寿命：T1.0us（在测试电压20m下裸片的数据）电阻率：0.5/cm位错密度：3000个/cm 2、几何