尾气回收-6操作规程(R0)word03.doc

四川新光硅业科技有限责任公司操作规程文件 尾气回收-6（技改新建）操作规程版次 A/0（初版）编制 日期 审核 日期 批准 日期 发布 实施四川新光硅业科技有限责任公司技术中心 70 / 70目录1.0 工艺说明51.1 尾气冷凝61.2 压缩61.3 吸收和蒸馏系统61.4吸附系统71.5设计基础82.0 开车准备92.1 填料装填102.2 泵102.3 用脱盐水装填吸附套件102.4吸附柱装填活性炭112.5用氮气吹扫系统112.6压缩机112.7校正仪表122.8检查逻辑控制程序122.8.1阀门的自动/手动122.8.2时序的自动/手动122.8.3手动切换吸附柱状态132.8.4步骤未完成报警132.8.5阀门状态报警132.8.6停车和ESD142.8.7降压程序142.9核对时序控制152.10核对紧急停车系统162.11公用工程162.12冷却系统162.13 保温163.0 开车173.1用氮气置换183.2干燥吸附柱（见操作说明，5.3步骤清单）193.4干燥氢压机203.5用氢气置换氮气213.6 T-602，T-603充填氯硅烷223.7 启动压缩机223.8 建立氯硅烷循环233.9 制冷系统233.10 建立氯化氢脱吸塔T-603的温度233.11 增加尾气进气量系统正常接收尾气254.0 停 车264.1 过程故障（短期故障）274.2 长期故障274.3正常停车285.0 操作程序305.1压缩机启动顺序315.2活性炭装载程序325.3活性炭干燥程序346.0 控制条件386.1主要控制参数及连锁条件396.2系统报警和复位446.2.1压缩机进气温度报警446.2.2膨胀罐D-605液位报警446.2.3氯硅烷缓冲罐D601液位报警456.2.4氯硅烷分离罐D602液位报警456.2.5 氢气压缩机 C601A/B/C报警466.2.6脱吸塔压力报警476.2.7氯化氢回流罐液位报警476.2.8 HCl电加热器温度报警486.2.9热流体电加热器E612温度报警486.2.10氯硅烷循环管路496.2.11 ESD系统停车50附1:吸附柱时序图51附2 :管道仪表流程图（P&ID）541.0 工艺说明51.1 尾气冷凝61.2 压缩61.3 吸收和脱吸系统61.4吸附系统71.5设计依据82.0 开车准备102.1 填料装填112.2 泵112.3 填装及干燥吸附套件112.4吸附柱填装活性炭122.5用氮气吹扫系统122.6压缩机132.7校正仪表132.8检查逻辑程序132.8.1阀门自动/手动132.8.2时序自动/手动142.8.3下一步（步进）142.8.4步骤未完成报警152.8.5阀门状态报警152.8.6系统停车，ESD152.8.7降压程序152.9检查时序控制162.10检查紧急停车系统172.11公用工程182.12制冷系统抽真空并填充制冷剂182.13 保温183.0 开车193.1用氮气置换203.2干燥吸附柱（见操作说明，5.3步骤清单）213.4干燥氢压机233.5用氢气置换氮气233.6 T-602，T-603充填氯硅烷243.7 启动压缩机243.8 建立氯硅烷循环253.9 制冷系统253.10 建立氯化氢脱吸塔T-603的温度253.11 增加尾气进气量系统正常接收尾气274.0 停 车284.1 过程故障（短期故障）294.2 长期故障294.3正常停车305.0 操作程序325.1压缩机启动顺序335.2活性炭装载程序345.3活性炭干燥程序366.0 控制条件406.1主要控制参数及连锁条件426.2系统报警和复位476.2.1压缩机进气温度报警476.2.2膨胀罐D-605液位报警476.2.3氯硅烷缓冲罐D601液位报警486.2.4氯硅烷分离罐D602液位报警486.2.5 氢气压缩机 C601A/B/C报警496.2.6脱吸塔压力报警506.2.7氯化氢回流罐液位报警506.2.8 HCl电加热器温度报警516.2.9热流体电加热器E612温度报警516.2.10氯硅烷循环管路526.2.11 ESD系统停车53附1:吸附柱时序图54附2 :管道仪表流程图（P&ID）571.0 工艺说明还原尾气回收系统接收CVD还原炉产生的尾气并将其分离为液态氯硅烷、氢气和氯化氢。高纯的回收氢气返回系统供还原炉重复使用（总杂质710.57温度，（C）45405020组成，（Kg/hr）H2986.5nil9670.05HCl565.5200wppmnil563.5SiH2Cl237.33.6nilnilSiHCl312796.512591.5nilnilSiCl433723354.5nilnilN2500vppmnil150Cii.露点 40Ciii.氧含量 150cii.露点 40Ciii.氧含量 150Cii. 露点 40Ciii.氧含量 0.5 vol%22.一旦步骤27的要求达到，停止P-605B和C.23.关闭E-619.24.关闭 KV-651625.关闭 KV-652626.关闭 KV-653627.关闭 KV-651728.关闭 KV-652729.关闭 KV-653730.打开 KV-651831.打开 KV-652832.打开 KV-653833.打开 KV-651934.打开 KV-652935.打开 KV-653936.启动P-605A 或B37.打开至E-613的循环水.38.允许吸附塔冷至50C39.停止P-605A或B40. 在接受氢气之前，塔内保持1.0 kg/cm2G 氮气.6.0控制条件6.1主要控制参数及连锁条件序号位号设备用途参数单位低低报低报高报高高报运行连锁1LIC-6100D-601氯硅烷储罐液位%52090502102TI-6100D-601尾气到氯硅烷储罐温度-403FI-6101E-602压缩机进气流量KG/h26804TIC-6101E-602压缩机进气温度温度45FI-6103D-601氯硅烷到脱吸塔流量KG/h156806TI-6103D-601氯硅烷到脱吸塔温度-197PI-6140E-602尾气进回收系统压力MPaG0.398TI-6140E-602尾气进回收系统温度55449LIC-6150D-602氯硅烷分离器液位%55021510TI-6150D-602E-602出口温度1411TI-6160E-605D602顶部出口温度-1012PIC-6200D-603压缩机吸鼓压力MPaG0.250.40.32613LSH-6200D-603压缩机吸鼓液位5221,222,22314LSHH-6200D-603压缩机吸鼓液位20221,222,22315TI-6201D-603压缩机吸鼓温度0250420116LSA-6240D-604压缩机排鼓液位%517PI-6240D-604压缩机排鼓压力MPaG0.91.21.0818LIC-6300T-602吸收塔液位%5209050S20719TI-6300T-602吸收塔温度-2220LSLL-6301T-602吸收塔液位5S20721TE-6300T-602吸收塔温度-2222LSLL-6301T-602吸收塔523TI-6301T-602吸收塔顶气体温度-4024TI-6302AT-602吸收塔进液温度-33-30-40S20725TI-6302BT-602吸收塔进液温度-33-30-40S20726FIC-6370T-602吸收塔到E-607流量m3/h177627TI-6303T-602吸收塔到E-607温度 -3028TI-2340E-608E-607到E-608温度-1529LIC-6400T-603脱吸塔液位%5209050S20730LSLL-6401T-603脱吸塔液位531TI-6400T-603脱吸塔进气温度1832PI-6401T-603脱吸塔压力MPaG1.41.551.324033FIC-6402T-603氯化氢回流液流量KG/h162834TI-6402T-603氯化氢回流液温度-30-4035TI-6403T-603脱吸塔底温度13014236TIC-6405T-603脱吸塔顶温度037FI-6407T-603回收氯硅烷流量KG/h1598238TI-6410E-609E-609出口氯硅烷温度504039FIT-6430D-607回收氯化氢流量m3/h0.5340AI-6434E-609循环水PH6741FIC-6451E-610再沸器蒸汽流量KG/h673242AI-6454E-610蒸汽冷凝水PH6743LIC-6460D-607氯化氢回流罐液位%55024644LSLL-6461D-607氯化氢回流罐液位524645PIC-6460D-607氯化氢回流罐压力MPaG1.11.451.346TI-6471E-617回收氯化氢温度1030352124747TIC-6472E-617回收氯化氢温度7048TI-6473E-617氯化氢电加热器元件温度35040024749PI-6500T-604ABC吸附柱进气压力MPaG1.0650FI-6501F-601A回收氢气流量KG/h96751PIC-6501F-601A回收氢气压力MPaG0.851.050.9552PIC-6503回收氢气压力MPaG0.810.9PV-6503A/B53FIC-6504T-604ABC再生氢气流量KG/h2754PIC-6505T-604ABC再生尾气压力MPaG#155PI-6510T-604A吸附柱压力MPaG0.12降压完成56PDI-6510T-604A吸附柱压差MPaG0.06PI6500-PI6510充压完成57PDI-6511T-604A吸附柱压差MPaG0.06PI6501-PI6510压差58TI-6512T-604A吸附柱温度50120加热或冷却完成59PI-6520T-604B吸附柱压力MPaG0.12降压完成60PDI-6520T-604B吸附柱压差MPaG0.06PI6500-PI6510充压完成61PDI-6521T-604B吸附柱压差MPaG0.06PI6501-PI6510压差62TI-6522T-604B吸附柱温度50120加热或冷却完成63PI-6530T-604C吸附柱压力MPaG0.12降压完成64PDI-6530T-60C吸附柱压差MPaG0.06PI650