DHI校准规程.pdf_第1页
DHI校准规程.pdf_第2页
全文预览已结束

下载本文档

版权说明：本文档由用户提供并上传，收益归属内容提供方，若内容存在侵权，请进行举报或认领

文档简介

DHI 校准规程 DHI 校准规程 1 1 目的 目的 DHI 用于气体质量流量控制器的标定 规定 DHI 的校准规程 保证 DHI 所获得的有关数据的准确性 2 2 使用范围 使用范围 本规程适用于 DHI 的校准 3 3 校准要求 校准要求 1 凡属于以下情况的均需校准 2 首次购买的 DHI 器具 3 经重大维修的 DHI 器具 4 发觉 DHI 有不稳定等异常情况 5 已到校准周期时的 本公司 DHI 的校准周期为一年 4 4 校准方法 校准方法 按照 DHI 校准气路搭接气路 用 MFC 控制流量到校准值 记录 DHI 和标准 器分别显示的流量值 无需记录 MFC 的设定值 校准点为 DHI 测量范围的 0 20 40 60 80 100 DHI 校准器具表 编号 DHI 规格 DHI 量程 DHI 精度 标准器名称 1 5E1 50sccm 0 16 S P 10 100 0 016 F S 0 10 按测量点选择对应 量程的皂膜流量计 2 2E2 200sccm 0 16 S P 10 100 0 016 F S 0 10 按测量点选择对应 量程的皂膜流量计 3 5E2 500sccm 0 16 S P 10 100 0 016 F S 0 10 按测量点选择对应 量程的皂膜流量计 编号 DHI 规格 DHI 量程 DHI 精度 标准器名称 4 5E3 5000sccm 0 16 S P 10 100 0 016 F S 0 10 湿式气体流量计 W NKDa 5A 5 1E4 10000sccm 0 16 S P 10 100 0 016 F S 0 10 湿式气体流量计 W NKDa 5A 6 3E4 30000sccm 0 3 S P 10 100 0 3 F S 0 10 湿式气体流量计 W NKDa 5A 7 1E2 S 100SLM 0 1 S P 湿式气体流量计 W NKDa 5A 钟罩式气体流量标 准装置 8 5E2 S 500SLM 0 1 S P 钟罩式气体流量标 准装置 LQJ 200 5E1 2E2 5E2 5E3 1E4 3E4 校准点为 DHI 测量范围的 0 20 40 60 80 100 1E2 S 的校准点为 20 40 60 80 100 5E2 S 的校准点为 100SLM 5SLM 125SLM 5SLM 150SLM 5SLM 175SLM 5SLM 200SLM 5SLM 不同的标
人人文库> 全部分类> 应用文书 > 产品手册

温馨提示

  • 1. 本站所有资源如无特殊说明，都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
  • 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等，如果需要附件，请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
  • 3. 本站RAR压缩包中若带图纸，网页内容里面会有图纸预览，若没有图纸预览就没有图纸。
  • 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
  • 5. 人人文库网仅提供信息存储空间，仅对用户上传内容的表现方式做保护处理，对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑，并不能对任何下载内容负责。
  • 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容，请与我们联系，我们立即纠正。
  • 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。

最新文档

评论

0/150

提交评论