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文档简介
1 摻質材料 3 ElectronicMaterials 電子材料 2 圖3 1 a 完全鍵結的矽 b 摻入硼成為p Si c 摻入砷成為n Si 3 圖3 2磊晶在CMOS的例子 4 圖3 3磊晶晶片 5 6 7 8 圖3 4三種形式的擴散源 9 續 圖3 4三種形式的擴散源 10 圖3 5各種摻質在矽中的固態溶解度 11 12 圖3 6離子植入機的概略圖 德州大學之400KeV機器 13 圖3 7三氟化硼解離後的譜圖 14 圖3 8 a 退火 anneal 後使矽晶再結晶 15 續 圖3 8 b 退火後硼植入的濃度側繪圖 16 17 圖3 9通道效應 18 圖3 10 a 西貝克效應 b 皮爾第效應 19 圖3 11質流控制器 a 概略結構圖 b 測溫電路 20 圖3 12氣體儲櫃的外觀 21 22 圖3 13氣體連鎖系統 23 24 25 圖3 14電子簇射器 26 圖3 15斜角研磨 27 圖3 16電容 電壓圖 28 圖3 17 a 傳統的MOS電容 b 壕溝電容
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