《压电式传感器》课件.ppt

主要内容 压电传感器工作原理 压电效应压电材料 石英 压电陶瓷 特性压电传感器等效电路及测量电路压电传感器应用 压电式传感器 作业 6 1 6 5 压电式传感器是一种有源的双向机电传感器 工作原理 基于压电材料的压电效应 特点 使用频带宽 灵敏度高 信噪比高 结构简单 工作可靠 质量轻及测量范围广等优点 应用 测量加速度 压力 位移 温度 湿度等 6 1压电效应及压电材料正压电效应 顺压电效应 某些电介质 当沿着一定方向对其施力而使它变形时 内部就产生极化现象 同时在它的一定表面上产生电荷 当外力去掉后 又重新恢复不带电状态的现象 当作用力方向改变时 电荷极性也随着改变 逆压电效应 电致伸缩效应 当在电介质的极化方向施加电场 这些电介质就在一定方向上产生机械变形或机械压力 当外加电场撤去时 这些变形或应力也随之消失的现象 1 正压电效应演示 当力的方向改变时 电荷的极性随之改变 输出电压的频率与动态力的频率相同 当动态力变为静态力时 电荷将由于表面漏电而很快泄漏 消失 若在电介质的极化方向上施加交变电压 它就会产生机械变形 当去掉外加电场时 电介质的变形随之消失 这种现象称为逆压电效应 电致伸缩效应 2 逆压电效应 压电材料 具有压电效应的材料石英晶体压电效应弱 性能稳定分类压电陶瓷压电效应强 性能稳定性差高分子压电材料新型压电材料压电传感器大多是利用压电材料的压电效应 在超声和电声工程中也有利用逆压电效应 压电材料 压电材料应具备以下几个主要特性 转换性能 要求具有较大的压电常数 机械性能 机械强度高 刚度大 电性能 高电阻率和大介电常数 环境适应性 温度和湿度稳定性要好 要求具有较高的居里点 获得较宽的工作温度范围 时间稳定性 要求压电性能不随时间变化 在几百摄氏度的温度范围内 其介电常数和压电系数几乎不随温度而变化 但是当温度升高到573 时 石英晶体将完全失去压电特性 这就是它的居里点 石英晶体的突出优点是性能非常稳定 它有很大的机械强度和稳定的机械性能 但石英材料价格昂贵 且压电系数比压电陶瓷低得多 因此一般仅用于标准仪器或要求较高的传感器中 1 石英晶体 石英晶体有天然和人工培养两种类型 人工培养的石英晶体的物理和化学性质几乎与天然石英晶体没有区别 因此目前广泛应用成本较低的人造石英晶体 因为石英是一种各向异性晶体 因此 按不同方向切割的晶片 其物理性质 如弹性 压电效应 温度特性等 相差很大 在设计石英传感器时 应根据不同使用要求正确地选择石英片的切型 石英晶体 天然形成的石英晶体外形 石英晶体切片及封装 石英晶体薄片 双面镀银并封装 2 压电陶瓷 压电陶瓷是人工制造的多晶压电材料 它比石英晶体的压电灵敏度高得多 而制造成本却较低 因此目前国内外生产的压电元件绝大多数都采用压电陶瓷 常用的压电陶瓷材料有锆钛酸铅系列压电陶瓷 PZT 及非铅系压电陶瓷 如BaTiO3等 压电陶瓷主要有以下几种 1 钛酸钡压电陶瓷钛酸钡 BaTiO3 是由碳酸钡 BaCO3 和二氧化钛 TiO2 按1 1分子比例在高温下合成的压电陶瓷 它具有很高的介电常数和较大的压电系数 约为石英晶体的50倍 不足之处是居里点温度低 120 温度稳定性和机械强度不如石英晶体 2 锆钛酸铅系压电陶瓷 PZT 锆钛酸铅是由PbTiO3和PbZrO3组成的固溶体Pb Zr Ti O3 它与钛酸钡相比 压电系数更大 居里点温度在300 以上 各项机电参数受温度影响小 时间稳定性好 此外 在锆钛酸中添加一种或两种其它微量元素 如铌 锑 锡 锰 钨等 还可以获得不同性能的PZT材料 因此锆钛酸铅系压电陶瓷是目前压电式传感器中应用最广泛的压电材料 压电陶瓷外形 无铅压电陶瓷及其换能器外形 1 压电半导体材料压电半导体材料有ZnO CdS ZnO CdTe等 这种力敏器件具有灵敏度高 响应时间短等优点 此外用ZnO作为表面声波振荡器的压电材料 可检测力和温度等参数 新型压电材料 2 高分子压电材料某些合成高分子聚合物薄膜经延展拉伸和电场极化后 具有一定的压电性能 这类薄膜称为高分子压电薄膜 目前出现的压电薄膜有聚二氟乙烯PVF2 聚氟乙烯PVF 聚氯乙烯PVC 聚 甲基 L谷氨酸脂PMG等 高分子压电材料是一种柔软的压电材料 不易破碎 可以大量生产和制成较大的面积 高分子压电材料制作的压电薄膜和电缆 石英晶体的压电效应机理天然结构石英晶体的理想外形是一个正六面体 在晶体学中它可用三根互相垂直的轴来表示 其中纵向轴Z Z称为光轴 经过正六面体棱线 并垂直于光轴的X X轴称为电轴 与X X轴和Z Z轴同时垂直的Y Y轴 垂直于正六面体的棱面 称为机械轴 Z X Y a b 石英晶体 a 理想石英晶体的外形 b 坐标系 Z Y X 通常把沿电轴X X方向的力作用下产生电荷的压电效应称为 纵向压电效应 而把沿机械轴Y Y方向的力作用下产生电荷的压电效应称为 横向压电效应 沿光轴Z Z方向受力则不产生压电效应 作用力与电荷的关系 若从晶体上沿y方向切下一块如图所示的晶片 当沿电轴x方向施加应力 x时 晶片将产生厚度变形 并发生极化现象 在晶体线性弹性范围内 极化强度P11与应力 x成正比 通常把沿电轴X X方向的力作用下产生电荷的压电效应称为 纵向压电效应 而把沿机械轴Y Y方向的力作用下产生电荷的压电效应称为 横向压电效应 沿光轴Z Z方向受力则不产生压电效应 石英晶体受力方向与电荷极性关系 极化强度即 d11 压电系数 下标的意义为产生电荷的面的轴向及施加作用力的轴向 a c 石英晶片的长度和宽度 而P11在数值上等于晶面上的电荷密度 将以上两式联立 得 若在同一切片上 沿机械轴y方向施加应力 y 则仍在与x轴垂直的平面上产生电荷qy 其大小为 根据石英晶体轴对称条件 d11 d12 则 当晶片受到x方向的压力作用时 qx只与作用力Fx成正比 而与晶片的几何尺寸无关 沿机械轴y方向向晶片施加压力时 产生的电荷是与几何尺寸有关的 石英晶体不是在任何方向都存在压电效应的 晶体在哪个方向上有正压电效应 则在此方向上一定存在逆压电效应 无论是正或逆压电效应 其作用力 或应变 与电荷 或电场强度 之间皆呈线性关系 结论 压电陶瓷是人工制造的多晶体压电材料 材料内部的晶粒有许多自发极化的电畴 它有一定的极化方向 从而存在电场 在无外电场作用时 电畴在晶体中杂乱分布 它们各自的极化效应被相互抵消 压电陶瓷内极化强度为零 因此原始的压电陶瓷呈中性 不具有压电性质 压电陶瓷的压电效应机理 在陶瓷上施加外电场时 电畴的极化方向发生转动 趋向于按外电场方向的排列 从而使材料得到极化 外电场愈强 就有更多的电畴更完全地转向外电场方向 让外电场强度大到使材料的极化达到饱和的程度 即所有电畴极化方向都整齐地与外电场方向一致时 当外电场去掉后 电畴的极化方向基本不变 即剩余极化强度很大 这时的材料才具有压电特性 当极化后的铁电体受到外力的作用时 其剩余极化强度将随之发生变化 在一定的表面分别产生正负电荷 压电陶瓷在极化方向上压电效应最明显 定义为Z轴 垂直于z轴的任何直线都可作为X轴或Y轴 压电陶瓷的极化 a 未极化 b 电极化 对于压电陶瓷 通常取它的极化方向为z轴 垂直于z轴的平面上任何直线都可作为x或y轴 这是和石英晶体的不同之处 当压电陶瓷在沿极化方向受力时 则在垂直于z轴的上 下两表面上将会出现电荷 其电荷量q与作用力Fz成正比 即 式中 d33 压电陶瓷的压电系数 Fz 作用力 压电陶瓷在受到沿y方向的作用力Fy或沿x方向的作用力Fx时 在垂直于z轴的上 下平面上分别出现正 负电荷 其电荷量q与作用力Fy Fx也成正比 即 式中Az 极化面面积 Ax Ay 受力面面积 d32 d31 压电陶瓷的横向压电系数 压电陶瓷的压电系数比石英晶体的大得多 所以采用压电陶瓷制作的压电式传感器的灵敏度较高 极化处理后的压电陶瓷材料的剩余极化强度和特性与温度有关 它的参数也随时间变化 从而使其压电特性减弱 6 2压电式传感器的测量电路等效电路 当压电传感器中的压电晶体承受被测机械应力的作用时 在它的两个极面上出现极性相反但电量相等的电荷 可把压电传感器看成一个静电发生器 如图 a 也可把它视为两极板上聚集异性电荷 中间为绝缘体的电容器 如图 b 当两极板聚集异性电荷时 则两极板呈现一定的电压 其大小为 其电容量为 二 测量转换电路 1 压电元件的等效电路 a为电荷等效电路 b为电压等效电路 由于外力作用在压电元件上产生的电荷只有在无泄漏的情况下才能保存 即需要转换电路具有无限大的输入阻抗 这实际上是不可能的 因此压电式传感器不能用于静态测量 注意 压电传感器可等效为电压源Ua和一个电容器Ca的串联电路 如图 a 也可等效为一个电荷源q和一个电容器Ca的并联电路 如图 b 传感器内部信号电荷无 漏损 外电路负载无穷大时 压电传感器受力后产生的电压或电荷才能长期保存 否则电路将以某时间常数按指数规律放电 这对于静态标定以及低频准静态测量极为不利 必然带来误差 事实上 传感器内部不可能没有泄漏 外电路负载也不可能无穷大 只有外力以较高频率不断地作用 传感器的电荷才能得以补充 因此 压电晶体不适合于静态测量 如果用导线将压电传感器和测量仪器连接时 则应考虑连线的等效电容 前置放大器的输入电阻 输入电容 压电传感器的完整等效电路 Ca传感器的固有电容Ci前置放大器输入电容Cc连线电容Ra传感器的漏电阻Ri前置放大器输入电阻 可见 压电传感器的绝缘电阻Ra与前置放大器的输入电阻Ri相并联 为保证传感器和测试系统有一定的低频或准静态响应 要求压电传感器绝缘电阻应保待在1013 以上 才能使内部电荷泄漏减少到满足一般测试精度的要求 相应测量电路也应有较大的时间常数 即前置放大器要有相当高的输入阻抗 否则传感器的信号电荷将也会通过输入电路泄漏 即产生测量误差 压电式传感器的前置放大器有两个作用 把压电式传感器的高输出阻变换成低阻抗输出 放大压电式传感器输出的弱信号 前置放大器形式 电压放大器 其输出电压与输入电压 传感器的输出电压 成正比 电荷放大器 其输出电压与输入电荷成正比 1 电压放大器 图 b 中 等效电阻R为 Fm 作用力的幅值 压电元件所受作用力 C Cc Ci 等效电容为 若压电元件材料是压电陶瓷 其压电系数为d33 则在外力作用下 压电元件产生的电压值为 Um 电压幅值 由图 b 可得放大器输入端的电压Ui 其复数形式为 而 Ui的幅值Uim为 输入电压与作用力之间的相位差 为 令 R Ca Cc Ci 为测量回路的时间常数 并令 0 1 则可得 可见 如果 0 1 即作用力变化频率与测量回路时间常数的乘积远大于1时 前置放大器的输入电压Uim与频率无关 一般认为 0 3 可近似看作输入电压与作用力频率无关 这说明 在测量回路时间常数一定的条件下 压电式传感器具有相当好的高频响应特性 但是 当被测动态量变化缓慢 而测量回路时间常数不大时 会造成传感器灵敏度下降 因而要扩大工作频带的低频端 就必须提高测量回路的时间常数 但是靠增大测量回路的电容来提高时间常数 会影响传感器的灵敏度 根据传感器电压灵敏度Ku的定义得 因为 R 1 故上式可以近似为 可见 Ku与回路电容成反比 增加回路电容必然使Ku下降 为此常将Ri很大的前置放大器接入回路 其输入内阻越大 测量回路时间常数越大 则传感器低频响应也越好 当改变连接传感器与前置放大器的电缆长度时Cc将改变 必须重新校正灵敏度值 压电式传感器不能测量静态量 不能随意更换电缆 将改变传感器的灵敏度 传感器灵敏度 2 电荷放大器电荷放大器是一个具有深度负反馈的高增益放大器 其基本电路如图 若放大器的开环增益A0足够大 并且放大器的输入阻抗很高 则放大器输入端几乎没有分流 运算电流仅流入反馈回路CF与RF 图中A为运算放大器增益 由于运算放大器输入阻抗极高 放大器输入端几乎没有分流 由运算放大器基本特性 可求出电荷放大器的输出电压 通常A 104 106 因此若满足 1 A Cf Ca c Ci时 式 6 2 可表示为 Uo 由式 6 13 可见 电荷放大器的输出电压Uo与电缆电容Cc无关 且与q成正比 这是电荷放大器的最大特点 当传感器感受振动时 因为质量块相对被测体质量较小 因此质量块感受与传感器基座相同的振动 并受到与加速度方向相反的惯性力 此力F ma 同时惯性力作用在压电陶瓷片上产生电荷为 运动方向 2 1 3 4 5 纵向效应型加速度传感器的截面图 压电式加速度传感器压电陶瓷4和质量块2为环型 通过螺母3对质量块预先加载 使之压紧在压电陶瓷上 测量时将传感器基座5与被测对象牢牢地紧固在一起 输出信号由电极1引出 q d33F d33ma 6 3压电式传感器应用 压电式压力传感器根据使用要求不同 压电式测压传感器有各种不同的结构形式 但它们的基本原理相同 压电式测压传感器的原理简图 它由引线1 壳体2 基座3 压电晶片4 受压膜片5及导电片6组成 当膜片5受到压力P作用后 则在压电晶片上产生电荷 在一个压电片上所产生的电荷q为 F 作用于压电片上的力 d11 压电系数 P 压强 S 膜片的有效面积 1 2 3 4 5 6 p 压电式测压传感器原理图 压电式流量计利用超声波在顺流方向和逆流方向的传播速度进行测量 其测量装置是在管外设置两个相隔一定距离的收发两用压电超声换能器 每隔一段时间 如1 100s 发射和接收互换一次 在顺流和逆流的情况下 发射和接收的相位差与流速成正比 据这个关系 可精确测定流速 流速与管道横截面积的乘积等于流量 此流量计可测量各种液体的流速 中压和低压气体的流速 不受该流体的导电率 粘度 密度 腐蚀性以及成分的影响 其准确度可达0 5 有的可达到0 01 集成压电式传感器是一种高性能 低成本动态微压传感器 产品采用压电薄膜作为换能材料 动态压力信号通过薄膜变成电荷量 再经传感器内部放大电路转换成电压输出 该传感器具有灵敏度高 抗过载及冲击能力强 抗干扰性好 操作简便 体积小 重量轻 成本低等特点 广泛应用于医疗 工业控制 交通 安全防卫等领域 脉搏计照片 典型应用 脉搏计数探测 按键键盘 触摸键盘 振动 冲击 碰撞报警 振动加速度测量 管道压力波动 其它机电转换 动态力检测等 高分子压电材料的应用玻璃打碎报警装置玻璃破碎时会发出几千赫