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文档简介
N软件操作C-1(主程序)SPIWincode : 0903-CCX-004/0003SPIWin的概要 SPIWIN是控制Probe Station和与其连接的设备等硬件的软件系统。是以SPI3700为基础升级而成。SPIWIN的主要特点如下:1OS采用windows95/98。具有操作容易,可实现多任务同时处理等优点。2支持最大测定数据点数为1024*1024,可获更高分辨力的图象数据。3将同时测定信道(channel)数扩大为4个信道。全部信道能同时在显示器上显示。4对监示器(monitor)的功能而言,双线路监示器(dual line monitor)(左右两个方向的显示器)能同时进行2个信道的数据采集。可以方便地进行测定参数调整的作业。5利用光学显微镜观测到的图像和扫描器(scanner)上的电压能够在显示器上显示。6能应用剪贴板(clip board)功能。能够转移画面(canvas)(数据显示窗口)的内容。能以TIFF格式(256种颜色)和windows位图格式(bit map )(256色和全色)存储数据。此外,还具有将数据转换成文本文件的应用程序。能方便地与其他应用程序配合使用。7除了提高平坦化(flat)功能、编辑(edit)功能的效率之外,还支持用于处理计算范围的屏蔽(mask)功能。提高数据处理效率。8强化数据库输出功能。设计了在1张打印纸上最多可以打印4个画面(canvas)的多重打印实用程序(multi print utility)。有利于报告(report)的生成。SPIWin的主屏幕关于主屏幕(main frame) 若启动SPIWIN,则如下那样的窗口(windows)被显示。该窗口叫做“主屏幕(main frame)”。SPIWIN的一切操作从此进行。关闭按钮控制菜单图标(control menu icon)恢复窗口按钮 标题条(title bar) 菜单条(menu bar) 工具条(tool bar) 最小化按钮状态条(status bar)用户区(client area)SPIWIN 的主屏幕(SPA300/400(AFM)的例子)注1)主屏幕内容根据对应的装置和测定模式而改变。控制软件菜单文件(file)菜单(menu) 此处对SPIWin的file 菜单进行说明。 打开 从磁盘(disk)中打开数据文件(data file)。可以在SPIWin中打开的是下面提到的文件。SPI3800专用形式的图象数据(image data)和曲线数据(curve data)的文件(也包含用数据转换实用程序(data convert utility)(SPIWin)转换旧形式的数据的文件)。通用图象形式(Windows位图(bit map)形式和TIFF形式)的图象数据文件。 注意1矢量扫描(vector scan)的程序文件(文本(text)形式)在这里不能打开。打开时请从vector scan对话中操作。2通常,在TIFF形式中存在几种格式(format)。因此,有时即使扩展名为*.tif也不能读出。SPIWin对应的形式是国际(INTEL)形式(无压缩)。关于Open 对话 若选择file菜单的Open命令,则以下的窗口(Load File 对话被显示。在这里进行打开数据文件(data file)的操作。列标题(column header)折叠列表(folol list)文件列表(file list)打开文件(file) 对话(dialogue)Open 对话的说明 Type列表框指定在文件列表中显示的文件种类。该指定根据通配符(wild-card)进行。能指定的是以下7种。 数据(data)种类通配符(wild-card)备考1234567SPI数据(data)图象数据(data)曲线数据(curve data)电化学数据(data)TIFF(256色)位图(bit map)所有文件(file)*.X?*.XQ?*.XJ?*.XK?*.TIF*.BMP*.*所有的SPI数据(data)(2+3+4)所有的图象数据(image data)(含CITS)力曲线(force curve)、I/V曲线(curve)等EC曲线数据(curve data)只是无压缩INTEL形256色,全部全色全部文件关于每个SPI数据(data)的扩展名,请参照附加在SPI3800专用形式的数据文件(data file)中的扩展名的项。file name文本框显示在文件列表(file list)中所选择的文件(file)名称。输入任意的通配符(wild-card)(或文件(file)名),并指定在文件列表(file list)中显示的文件(file)种类。Path用全路径(full path)显示当前的路径(path)名。列标题(column header)表示Folder)文件列表(file list)的显示项目。对文件夹(folder)文件的显示顺序进行重新排列。Folder列表显示在当前的文件夹(folder)层次下的文件夹(folder)。列表后,选择打开文件的文件夹。Drive选择打开文件的驱动器号。关于文件列表(file list)列表显示当前的文件夹内的文件。列表后,可以选定一个或多个文件。 每个文件有以下8个项目被显示。当文件不具有符合该项目的信息时,该项目成为空栏。File name将文件(file)名显示直到扩展名。Unit显示测定使用的设备和测定方式。(例1)使用SPA400并用LM-FFM方式测定的场合。300(LFM)(例2)使用SPA300HV并用VE-AFM方式测定的场合。300(VFM)(例3)使用SPA300并用EAFM(电化学AFM)方式测定的场合300(AFM)注意1SPA400、SPA300、SPA300HV用共同的程序(program)工作。因此,无论用哪种设备测定都显示为300(*)。2由于以下各测定方式有4个字母,因此,分别略记显示如下。VE-AFMVFMVE-DFMVDMLM-FFMLFMSNOAMSNM3有无电化学控制,在这里没有表现出来。EAFM/ESTM分别像300(AFM)300(STM)那样被显示。Date如99/01/01那样用公历年(后2位/月(2位)/日(2位)来显示测定年月日。注意 公历年在数据内部用4位记录。例如公历2000年被显示为00但在数据内部正确地记录为2000。Time用24小时制显示测定时间。Comment(1/2/3)显示附加在数据上的注释(comment)(1/2/3)。Area(nm)显示测定范围(X方向的值。单位nm)。其他按钮Network.将驱动(drive)分配给连接网络的计算机folder。Delete按钮删除在文件列表(file list)上所选择的文件(file)。Thumbnail用小画面(Thumbnail)一览显示当前文件夹(folder)内的图象数据(image data)。从图象一览选择文件。多个选择也是可能的。Open按钮打开被选择的文件Quit按钮关闭对话。附加在SPI3800专用形式的数据文件(data file)上的扩展名在可以用Windows管理的文件(file)中的扩展名附加至3个字符。在SPI3800中有关它的各个字符定义如下。分类第1个字符第2个字符第3个字符统一分类大分类按数据(clata)不同分类摘要使用字符SPI3800专用形式X图象数据(data)Q形状波形AFM系列TDFM系列DSTM系列JSMMMKFMKSNOAMN误差信号AFMBDFMF摩擦波形R电流波形I相位波形P振幅波形AAsin波形SAcos波形C电位波形L光(opto)波形OCITS数据(data)Z用户(user)信号1/2U曲线数据(curve data)J力曲线(force curve)AFM系列FDFM系列DSMMMKFMK摩擦曲线(frictional curve)RI/V曲线(curve)VI/Z曲线(curve)ZQ曲线(curve)Q相位曲线(curve)PEC曲线数据(curve data)K电流-电位曲线(试料)S电流-时间曲线P电流-电位曲线(探针)T电流-时间曲线G(注)形状波形AFM系列AFM、EAFM、AFM/CITS、VE-AFM、LM-FFMDFM系列DFM、VE-DFMSTM系列STM、ESTM、STM/CITS力曲线(force curve)AFM系列AFM、EAFM、AFM/CITS、VE-AFM、LM-FFMDFM系列DFM、VE-DFM、SNOAM图象一览功能Thumbnail关于Thumbnail对话 若点击Load file对话Thumbnail,便显示以下的窗口。在这里,就能够看见由小画面(Thumbnail)形成的图象数据(image data)的一览,同时选择打开的文件(file)。注意1在Thumbnail对话中能够显示选择的只是SPI3800的专用形式的图象数据(image data)。2所显示的小画面(Thumbnail)仅仅是登录在目录中的小画面。图象一览对话(dialogue)Thumbnail对话图象一览从当前文件夹 中读出目录文件,一览显示图象数据的小画面和它的文件名。最多能同时显示30个文件。Direct若选定,则在点击ok按钮后时直接打开选定的文件。OK保持文件的选择,返回到Load file)对话。但当Direct被选定时,直接打开所选择的文件。cancel中止作业。这时,文件(file)的选择被废除(作废)。catalog生成图象数据的小画面,并登录在目录(catalogue)中。uncatalog从目录中删除所选择的小画面。注意使用uncatalog只删除小画面,对应的图象数据文件没有删除。想删除文件(file)时请使用删除功能。Delete删除所选择的文件(file)。copy将图象一览copy为一张位图(bit map)复制在剪切板(clip board)上。print将图象一览作为一张位图(bit map)打印输出。buffer 缓冲区 打开被存储在缓冲区(Buffer:暂时存储区)中的数据。在缓冲区(buffer)中能够存储多至1000个数据。 注意1.缓冲区中的数据存储在文件夹C:SPIWinTmp中。请绝对不要改变或删除该文件夹的名称。此外,在SPIWin运行中绝对不要改变该文件夹的内容。有时会导致SPIWin不能正常地工作。2.存储在缓冲区(buffer)中的只是SPI3800的专用形式的图象数据和EC曲线数据。其他的数据(力曲线(force curve、Q曲线等)没有存储在缓冲区中。 在SPIWin中,能存储数据的个数受各数据的大小和硬盘剩余容量的限制。Select data对话(缓冲区中选择数据)关于Select data对话(dialogue) 若选择file的buffer命令,便显示以下的窗口Select data对话。从缓冲区(buffer)打开数据(data)的操作在这里进行。数据列表(data list)列标题(column header)数据(data)的选择对话(dialogue) Select data对话的说明 数据列表(data list)列表显示缓冲区(buffer)中的数据。从列表中选择数据。也可以多个选择。ID附加在缓冲区(buffer)中的数据的识别号码。File name将数据(data)的文件(file)名显示至扩展名。Unit显示测定中所使用unit和测定方式。Date显示测定年月日。Time 用24小时制显示测定时间。Comment1/2/3显示附加在数据(data)上的注释(comment)1/2/3。Area(nm)显示测定范围(X方向的值。单位nm)。 列标题(column header)表示数据列表(data list)的显示项目。对数据(data)的显示顺序分类(sort)(排序)。OK按钮从缓冲区(buffer)中打开被选择的数据。如该数据已经在主屏幕上打开,则其画面变为被选中状态。cancel按钮中止作业。Delete按钮从缓冲区(buffer)删除所选择的数据(data)。Thumbnail用小画面(Thumbnail)一览显示缓冲区(buffer)中的图象数据(image data)。从图象一览选择图象数据(image data)。也可以选择多个。注意当选定EC Curve时,Thumbnail按钮没有显示。只有选Image时,Thumbnail按钮才能显示Mode Select选择在data list中显示的数据的种类。Image按钮在数据列表(data list)中显示图象数据的列表。EC Curve)按钮在数据列表(data list)中显示EC曲线数据的列表。保存(Save)将数据作为文件保存在磁盘中。可以用以下举例形式保存。SPI3800专用形式windows位图(bit map)形式(*.bmp、全色(full color)和256色)TIFF形式(*.tif、256色)注意通常在TIFF形式中存在若干种格式。因此,在其他的应用中即使变成TIFF形式,有时也不能打开在SPIWin中保存的TIFF形式文件。再者,SPIWin对应的TIFF形式是国际(INTEL)形(无压缩)。关于Save File对话 若选择file中的Save命令,则以下的窗口Save file对话被显示。数据文件的保存操作在这里进行。列标题(column header)文件夹(folder list)文件列表(file list)文件(file)保存对话(dialogue)Save file对话的说明 Type列表框指定数据的保存形式。指定是通过通配符(wild card)进行的。可以指定以下各形式作为保存形式。file name文本框输入附加在保存的数据中的文件名。Comment1/2/3文本框输入附加在保存的数据中的注释comment。注意根据保存形式有时没有附加注释(comment)。Path用全路径(full path)表示当前的路径(path)名。Drive选择保存目的地驱动器。文件夹列表(folder list)列表(list)显示在当前的文件夹(folder)层次下的文件夹(folder)。从列表(list)中选择保存目的地文件夹(folder) 。文件列表(file list)列表(list)显示当前的文件夹(folder)内的文件(file)。列标题(column header)表示文件夹列表(folder list)文件列表(file list)的显示项目。对文件夹(folder)文件(file)的显示顺序进行分类(sort)(排序)。 对文件夹列表(folder list)文件列表(file list)进行分类(sort) 。catalog选定时保存并同时也登录在目录(catalogue)中。comment选定时可以写注释(comment)1/2/3。OK按照设定,将数据作为文件保存。Quit按钮关闭对话(dialogue)。Make Folder在当前的文件夹下面生成新的文件夹。Delete按钮删除文件Select Data按钮打开Select Data对话。net work将驱动分配到连接网络(network)的计算机和文件夹。保存缓冲区(buffer)内的数据注意能从缓冲区(buffer)选择并保存的只是 图象数据(image data) EC曲线数据(curve data)另外,能利用图象一览(小画面thumbnail)的只是图象数据(image data)。(1)请选择file中的Save命令。打开Save file对话。文件(file)菜单(menu)文件保存对话(2)请点击Select Data按钮。打开Select Data 对话。数据列表(data list)数据(data)选择对话(dialogue)(3)如果要保存图象数据,请点击Mode Select中Image按钮。如果要保存EC曲线数据,请点击EC Curve按钮。根据选择在数据列表(data list)中数据被显示。(4)(只有选定Image的情况下)点击Thumbnail按钮后打开Thumbnail对话。图象一览对话(5)选择想要保存的数据(data)。请从数据列表(data list)或图象一览中选择。也可以选择多个数据。选择多个数据的方法 在数据列表时若按Shift键,同时点击列表,便能集中选择。若按Ctrl键,同时点击列表中需选择的图象,便能分散地选择。与探测器(explorer)等操作相同。读阅读windows的帮助手册。 在图象一览时若点击各小画面便能选择。若选择则文件名的显示被逆像,表示被选择的数据。若再点击一次,便去除选择。选择了多个数据的例子(上:Select Data对话:Thumbnail对话(6)如果可以,请点击OK按钮。返回到Save file 对话,在Thumbnail对话中,在Direct框没有被选定的情况下,返回到Select data对话,因此在那里请点击OK按钮。文件夹(folder list)文件列表(file list)文件(file)保存对话(dialogue)(7)如需要改变保存位置。在Drive和Folder中,请分别选择保存目的地的驱动器号和保存目的地文件夹名。另外,若有必要,请重新生成新文件夹。(8)请将文件名输入到file name文本框中。注意1.当在步骤(5)中选择了多个数据时,在文件名的最后附加3个字符(000999)。2.即使输入扩展名也被忽视。(9)请将注释输入到comment 13文本框中。(11)如果可以,请点击OK按钮。按照设定,数据作为文件被保存。(12)如果还需要保存缓冲区内的其他数据,请返回到步骤(2)。(13)若点击Quit 按钮,则关闭Save file对话。保存路径的设定(Path) 设定打开文件和保存文件的默认路径。关于Path对话 如果选择file中path命令,便显示以下的窗口Set Access path对话被显示。路径的设定对话Path对话的说明Load Data文本框 输入打开数据文件的默认路径(path)。Save data文本框 输入保存数据文件的默认路径(path)。Load Other Files文本框 输入其他数据文件的默认路径(path)。输入的路径(path)在例如打开向量扫描(Vector Sean)的程序文件等情况时被使用。OK 按钮 确定输入内容。cancel按钮 中止作业。输入到各文本框中的内容无效。复制(copy) 将激活画面(active canvas)作为一张位图(bit map)复制在剪贴板(clipboard)上。参考如想要将图象数据及其3D图形的全屏幕图象复制到剪贴板(clipboard)上时,请按键盘的Print Screen键。copy命令的操作方法复制(copy)到剪贴板(clipboard)上(1)点击任意画面,使其变为激活(active)状态。(2)请选择file中的copy命令。激活画面(active canvas)被复制(copy)到剪贴板(clipboard)上。文件(file)菜单(menu)参考复制(copy)的内容的用法复制(copy)在剪贴板(clipboard)上的内容,能在其他的应用程序中使用。例如,可以粘贴在Microsoft word的文档中。(1)在上述步骤中,将想要粘贴在文件上的画面(canvas)复制到剪贴板(clipboard)上。 (2)起动Microsoft word,打开文档。(3)将光标置于欲粘贴位置。(4)请选择Edit中Paste 命令。打印(Print) 用打印机打印激活画面。关于Print对话 选择file的Print命令,便显示以下的Print窗口。打印条件的设定和打印在此进行。 打印放大率页边距单位打印对话Print对话框说明Printer:显示当前被选择的打印机和连接端口的名称。size 设定打印尺寸。 Real按钮 用等倍打印(放大率100%) Fit 按钮 自动设定与打印纸尺寸相配合的放大率。 Free 按钮 可以任意设定放大率打印。放大率在文本框中设定。 放大率文本框 当Free被选定时,可以输入放大率。在Fit时,显示大致的放大率(不可输入)。在Real时,显示“100%”。Position)设定打印纸上的打印位置。 Center 按钮 在打印纸的是中心打印。 Left Top 按钮 在打印纸的左上角打印。这时在Margin中数据可以进行边距的设定。Margin 当在Position中选择Left Top时,设定打印时的页边距的大小。 Left文本框 设定打印左边距。 Top文本框 设定打印上边距。 页边距单位 设定各文本框输入值的单位(mm或inch)。Print按照设定条件打印。Cancel)中止作业。Setup Printer打开Setup Printer 对话同时多画面打印实用程序(multi print utility)关于同时多画面打印实用程序(multi print) 同时多画面打印实用程序是利用剪贴板(clipboard)将多个画面(canvas)复制到专用缓冲区(buffer)后,同时在1张打印纸上打印输出的功能。若选择file中的Multi Print命令,同时多画面打印实用程序便起动。数据配置按钮同时多画面打印实用程序窗口对话同时多画面打印机实用程序对话说明数据配置按钮 指定怎样配置复制到专用缓冲区内的画面。按钮上的数字对应于复制到专用缓冲区内的顺序号码。P Print 按钮 纵向打印。L Print 按钮 横向打印Status 按钮 打开Status 对话(下图),显示怎样配置已复制的画面。显示内容与数据配置按钮中的指定联动。(例) 在数据(data)配置按钮中指定时的例子:Status对话Clean Up按钮清除专用绶冲区内的数据。Setup Printer按钮打开Setup Printer对话。Minimize按钮使对话框最小化。同时多画面打印实用程序的操作方法集中数据(data)打印(1)请选择file的Multi Print命令。同时多画面打印实用程序被起动并在任务条上显示。这时,任务条上的按钮的表示如下图那样变成SPI Print (0)。 文件(file)菜单(menu)同时多画面打印实用程序起动时的任务条(2)请选择想要配置在1号位置的数据,将它的画面变成激活,并选择file中的copy命令。画面复制到专用缓冲区中。 另外全屏幕显示图象可以复制入缓冲区中。在全屏幕显示图象或3D图形时请按键盘的Print screen键,这时任务条上的按钮的表示变为SPI Print(1),表示1号打印画面被复制到专用缓冲区中。(3)请选择想要配置在2号位置上的数据,与步骤(2)一样将图象复制到专用缓冲区中。这时的任务条中的按钮的表示变为SPI Print(2)。如此重复操作可以将最多四幅图输入到专用缓冲区中。注意1.数据按复制顺序配置在1.2.3的位置。复制后不能改换顺序号码。2.被复制到专用缓冲区的数据至多为4个。4个以上无法输入。想要复制别的数据时,请先点击Clean Up按钮,使专用缓冲区变空后再输入。(6)请点击任务条上的SPI Print ()按钮,打开同时多画面打印实用程序窗口。数据配置按钮同时多画面打印实用程序窗口(7)请点击任意的数据配置按钮,指定数据配置。点击Status按钮可以预览打印效果。Status对话(8)如果可以,请点击P Print按钮或 L Print按钮。按照设定打印。 Exit 退出SPIWin注意在打开Scan Console对话时,不能选择退出SPIWin(灰色显示)。关于Exit对话 若选择file中的Exit命令,以下的窗口Exit对话便被显示。SPIWin的结束操作在此进行。Exit对话Exit对话说明Save Parameters当选定图中所列参数时,当前参数被保存,所保存的参数在下次起动时作为默认值而被使用。若不选定,则采用机器默认参数。注意根据被起动的SPIWin的测定方式和对应单位),有些参数不能选定(灰色显示)。Scanner Table保存扫描器参数表。Lever Table保存悬臂Cantilever参数表。force curve保存力曲线的测定参数。frictional curve保存摩擦曲线和表面形状曲线的测定参数。I/V Curve保存I/V曲线的测定参数。I/Z curve保存I/Z曲线的测定参数。V/Z Curve (Reserved.)厂家预留参数,目前尚没有实际含义Q Curve保存Q曲线测定参数。wafer Header(Reserved.)厂家预留参数,目前尚没有实际含义Scan Param)保存图象数据的测定参数(包含VE测定条件面板。Graphics param保存3D图形的描画参数。Sample Table保存Sub Console中设定的附加在数据文件上的注释(comment)1-3。Preset Table(Reserved.)Impact stage保存试料台(impact stage)的驱动参数。Others保存其他的参数Exit按钮按下该按钮后,探针离开(Move Out)样品表面,结束SPIWin。cancel按钮中止作业。各项参数的指定作废。版本(Version)信息 打开Version对话,显示SPIWin的版本等信息。版本(Version)信息对话(dialogue)Version对话的说明Version 显示被起动的SPIWin的版本(Version)Free Memory: 用KB显示Windows能使用的物理存储器(包含虚拟存储器)的剩余容量。OK按钮。 关闭Version对话。Setup菜单 在这里说明有关SPIWin的Setup)。 SPIWin的Setup)根据对应的仪器(unit)和测定方式(mode)不同而有所不同。SPA400/300HV/的set up菜单(menu)在STM时扫描器(Scanner)的设定 扫描器(Scanner)Z电压监示器 开启CCD窗口 Impact stage 试料的交换在ETM时扫描器(Scanner)的设定 扫描器(Scanner)Z电压监示器 开启CCD窗口 试料的交换在上述模式以外(如AFM等)时扫描器(Scanner)的设定(cantilever)的设定 扫描器(Scanner)Z电压监示器(monitior) CCD图象监示器(monitor) 激光(Laser)的On/Off 激光(Laser)位置监示器(monitor) 试料台(image stage)的操作 试料的交换扫描器(Scanner)和悬臂(Cantilever)的设定 进行扫描器(Scanner)和悬臂(Cantilever)的参数的选择、变更和登录。注意 扫描器(Scanner) 的参数本公司登录之后出厂。通常用户不变更和登录。请照原样使用。 关STM系列的扫描器(Scanner) 的设定命令请阅读扫描器(Scanner) 的设定的项目。Scanner和cantilever设定的Console 选择setup中的Console命令,便显示以下窗口Setup Console对话在这里进行。扫描器表(scannner table)列表框(list box)悬臂表(cantilever table)列表框(list box)Console对话Console对话的说明Scanner Table 扫描器表(Scanner table)的列表框(list box) Name 显示扫描器的名称。在登录时没有附加名称则变为空栏。 PZT-X 表示扫描器(Scanner)的X轴的压电常数(单位mm/V) PZT-Y 表示扫描器(Scanner)的Y轴的压电常数(单位mm/V) PZT-Z 表示扫描器(Scanner)的Z轴的压电常数(单位mm/V)Config按钮 打开Config对话,变更扫描器参数Quit按钮 关闭窗口,设定被保存。Lever TableName 显示悬臂的名称。登录时在没有附加名称变成空栏。Kz 表示悬臂(Cantilever)的上下弯曲方向的弹性常数(单位N/m)。 Kt 表示悬臂(Cantilever)扭曲的弹性常数(单位N/m)。f0 表示悬臂(Cantilever)的共振频率(单位.kH)。Length 表示悬臂(Cantilever)的长度(单位nm)。 Tip 针的高度悬臂长度(cantilever)弹性(spring)常数针的高度扭曲弹性(spring)常数 表示在悬臂(Cantilever)顶端的探针尖头(probe tip)(针)的高度(单位nm)。悬臂(Cantilever)的参数(parameter)(上图的形状是一个例子)Config按钮打开Config对话,变更悬臂参数的内容Z电压监示器关于PZT Z(V) 对话 若选择setup的PZT(Z) Monitor命令,以下的窗口PZT Z。扫描器的Z轴的电压在这里显示进行。控制菜单图标关闭按钮电压显示区(area)扫描器(scanner)Z电压 对话(dialogue)注意严格地说这里显示的电压与主机前面板显示不一致。这是由于以下原因造成的,并不是异常现象。请谅解。1.两个显示获得电压的时间有差异。2.硬件上的误差 回路上有无法避免的误差。电压的绝对值越大,越容易产生误差的倾向。PZT Z(V)对话的说明 控制菜单图标(control menu icon)在PZT Z(V)对话中除了通常的控制菜单图标之外,还有以下的命令。Top Most将窗口总显示在最前端interval子菜单获取扫描器(Z轴)的电压的时间间隔500esec(毫秒)将获取扫描器(Z轴)的电压的时间间隔规定为500msec1000msec获取扫描器(Z轴)的电压的时间间隔规定为1000msec(毫秒)(默认值)。2000msec获取扫描器(Z轴)的电压的时间间隔规定为2000msec(=2sec)。关闭按钮关闭对话(dialogue)。电压显示区(area)显示扫描器的Z轴的驱动电压(单位V(伏)。CCD Monitor 监示来自CCD camera的光学图像。关于CCD对话 若选择setup的CCD Monitor命令,便显示以下的窗口。控制菜单图标(control menu icon)关闭按钮监示区(monitor area)CCD对话CCD对话的说明监示区(monitor area)显示CCD图象。控制菜单图标(control menu icon)在CCD对话中,除通常的控制菜单之外,还有以下的命令。Top MostFix Aspect Ratio(4:3)将监示区的纵横比固定为 4:3。View size)子菜单选择监示画面的尺寸。color mode子菜单选择监示画面的色彩显示方式。关闭按钮关闭对话(dialogue)Laser On(点亮)/Off(熄灭)激光(laser)。注意在各unit使用的激光(laser)源是3A等级(class)的半导体激光(laser)(红色光)。若激光(laser)直接进入眼睛,会使眼睛受伤害。请充分注意既不要直视,又不向着人。Laser命令的操作方法 On(点亮)/Off(熄灭)激光(laser)请选择setup的Laser命令。每次选择时,On/Off使用触发器(toggle)转换。在关闭(Off)时,会显示如下提示窗口Laser Position 监示四象限光电探测器上的激光(laser)的位置。 请选择setup的Laser Position命令。以下的窗口被显示。正交虚线表示纵轴(DIF)光电探测器(photo detector)上的上下方向(DIF电压值的变化方向)横轴(FFM)光电探测器(photo detector)上的左右方向(FFM电压值的变化方向)使用这些虚线分开的个象限表示象限光电探测器(photo detector)。另外,红色圆圈()表示激光(laser)的光的位置,右下角的数值表示ADD电压值。在调整激光光轴时,旋转DIF和FFM旋钮,使红色圆圈()进入框内。试料台(impact stage)的操作 操作试料台(impact stage),并使试料移动。注意1.该功能可能只在SPA400/300HV/300中使用。 但是1um的扫描器不能使用 (因为压电常数小,不能确保充分的驱动量)2.根据试料和试料台的接触状态等,有时不能使试料充分移动。另外,在将试料固定在试料台的情况中(包含使用EC样品和密封样品槽)该功能不能使用。关于试料台(impact stage) 试料台(impact stage)是使用如下的三角脉冲(plus)电压驱动扫描器(scanner)并利用由此产生的惯性使试料移动的机构。即试料和试料台像下面那样移动。现在,假定以此作为最初的状态。在时间T1外加脉冲(plus)电压。由于在短时间内外加高电压,只试料台移动,试料保持原来的位置。(试想像落锤下落的状态)。试料台被敲打的挡块试料相当于在其上的挡块在时间T2使电压返回原状。由于这一次是慢慢地返回(使T2T1),固此,试料也和试料台一起移动。因此,在试料台返回到了原来的位置时,试料正在移动。以上是在个脉冲(plus)内的一连串的动作。通过连续外加脉冲(plus)电压使该动作反复进行,并使试料移动到任意的位置。impact stage对话 若选择setup的impact stage命令,便显示以下的窗口。impact stage对话impact stage对话的说明 Mover按钮移动试料。按下按钮的标志()可移动试料。Move Speed转换试料移动的速度(低速/高速)Low按钮低速方式。High高速方式。pulse1st Pulse)文本框 输入初始脉冲的电压值(V1)。 电压值用键盘或鼠标控制输入。可设定范围为0200V。 2nd Pulse文本框输入连续脉冲的电压值(V2)。电压值用键盘或鼠标控制输入。可设定范围为0200V。Config按钮 变更试料台(stage)驱动参数关闭按钮impact stage对话的操作方法impact stage(1)由于要采用CCD的监示,所以需打开CCD对话。选择Setup的CCD Monitor)命令。setup(SPA400(AFM)的例子)CCD对话(dialogue)(2选择setup的impact stage的操作命令。打开impact stage对话。冲击试料台(impact stage)对话(dialogue)(3)如有必要,变更三角脉冲(plus)的电压值。请将该值输入到1st Pulse2nd Pulse文本框注意三角脉冲(pulse)电压
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