触摸屏工艺技术之黄光工艺

1、黄光制程简单介绍 辉煌数载辉煌数载 感谢有你感谢有你 专业专业TP LCDTP LCD招聘求职网招聘求职网- - 一览光电英才一览光电英才网网目录vWhat to do？要做什么？vHow to do?怎么做？vWhats the matter?怎么了？当前市场上主要的触控屏种类当前市场上主要的触控屏种类电阻式电阻式电容式电容式红外线式红外线式表面声波式表面声波式就是它了当手指触摸屏表面时，就会有一定量的电荷转移到人体。为了恢复这些电荷损失，电荷从屏幕的四角补充进来，各方向补充的电荷量和触摸点的距离成比例，我们可以由此推算出触摸点的位置 电容式触控屏是一块四层复合玻璃屏，玻璃屏的内表面和夹层各

2、涂有一层ITO（镀膜导电玻璃），最外层是一薄层矽土玻璃保护层, ITO涂层作为工作面, 四个角上引出四个电极，内层ITO为屏蔽层以保证良好的工作环境。ITOMetalPI透明导电材料光阻绝缘层Mo/Al/Mo结构有一种东西叫：有一种东西叫：我们的目标是：让让SensorSensor在在X X和和Y Y方向上各自方向上各自独立独立地地导通导通1.任何触控屏，要对Touch这个动作作出反应，必须对触摸点进行定位；2.TPK产品是一个二维平板，需要X和Y两个坐标进行定位；3.TPK产品属于（投射型）电容式触控屏，感应电容触摸屏检测到的触摸位置对应于感应到最大电容变化值的交叉点，对于X轴或Y轴来说，则

3、是对不同ITO模块的信号量取加权平均得到位置量，系统然后在触摸屏下面的LCD上显示出触摸点或轨迹。 Sensor认识一下认识一下SensorSensor图中网状图形称为图中网状图形称为pattern返回返回金手指金手指黄线部黄线部分称为分称为Trace浅色部分在X方向上导通深色部分在Y方向上导通放大放大当前主要的技术路径当前主要的技术路径BridgeVia hole正制程：正制程：Pattern PI Jumper （Trace）反制程：反制程：Jumper PI Pattern Trace结果是等结果是等效的效的来料玻璃常见尺寸：370470mm厚度则有0.33、0.4、0.5、0.55、1

4、.1、1.3mm不等Sheet粗略的生产流程：粗略的生产流程：pcs一路OKBodingBoding、贴合等白光制程、贴合等白光制程最终成品！最终成品！黄光制程：黄光制程：来料玻璃ITO、Metal、PI制程Passivation（Organic）蚀刻膏印刷/可剥胶印刷切割黄光制程到此结黄光制程到此结束束作出所需的图作出所需的图形形为为SensorSensor提供第一层保提供第一层保护护为黄光后的工序作准备为黄光后的工序作准备黄光制程由此开黄光制程由此开始始什么是黄光？什么是黄光？光阻塗佈曝光顯影烘乾清洗整个制程的相关示意图整个制程的相关示意图-1PIPI和和PassivationPassiv

5、ation制程只需到这一制程只需到这一步步微影技术！微影技术！蝕刻剝膜檢查整个制程的相关示意图整个制程的相关示意图-2ITOITO和和MetalMetal制程仍需继制程仍需继续进行以下几步：续进行以下几步：ITO PatterningGlassCleaningIR/UV/CPPR CoatingPre-BakePatternExposureDevelopingEtchingBack sidePR CoatingStrippingPost-BakePI PatterningGlassCleaningIR/UV/CPPR CoatingPre-BakePatternExposureDevelopi

6、ngOven Metal PatterningGlassCleaningIR/UV/CPPR CoatingPre-BakePatternExposureDevelopingPost-BakeEtchingStrippingProcess flow工艺流程工艺流程反制程全制程Metal (已喷AG)PIITO各制程效果图各制程效果图 ( (以以SparkSpark为制版为制版) )主要机台和常用药液主要机台和常用药液清洗设备曝光设备涂布机：分为：分为：Roller式式Slit式式Spin式式清和曝光机清和曝光机DNKDNK曝光机曝光机限于篇幅，仅举部分实例！限于篇幅，仅举部分实例！常用药液常用药液序号项目备注1清洗液FIisher 2000-5A（环保清洗剂）Metal制程不使用2清洗液FPD-120所有制程均可使用3PR coating使用光阻另述非常重要，品种繁多4显影使用显影液TMAH（氢氧化四甲铵）KOH（氢氧化钾） 5AI 蚀刻液PAE85-2-13（磷硝醋混酸）6ITO 蚀刻液草酸酸性较弱，用于低温ITO7ITO 蚀刻液PE-560(HCl+KCl)效果较强8ITO剥膜液NaOH/KOH序号项目备注9Metal 剥膜液NMP溶液/3316剥膜液10Metal光阻残留擦拭药液丙酮1