C-SCAN反射性扫描的操作步骤(精)

1、Sonix Procedure (Nov 2005) C-SCAN 反射性扫描的操作步骤 （於前期工作完成后，才开始 C-SCAN） 1. 在 Instruments 窗口中:Mode 选择“ Reflected 2. 将探头（transducer）移至待测区域的中心位置 3. 在“ Gate 窗口 中，Gate 栏，选“ FFS (Front Surface Follower 表面追踪线)”，勾 “ Enabled ” ,激活黃线 FFS 4. 在 Gate窗口中，Gate栏，选“Data Gate 1,勾“Enabled，激活“ Data Gate 1；勾 “Follow FSF;红框（D

2、ata Gate 1便会跟着黄线“ FSF ”和讯号的第一切点移动 Motor Scan TealsGate Palette Instruments Gdbac Gate 1 Enabled |7 Front Surface Follower Sub Surface FtMlawei 忖 Follows FSF C Follows SSF Data Ga*& 2 TAWI Regior Plnase Gvfce 1 C Fixed IFosilion Aiio-Size | 匚entEr Phase Gale 2 BScan Gate FFT Gate NQ Gate Selected

3、 |7 Data TDF 5. 選取第二組波，即樣品真正的信号,如下图所示。把第二組波放大 PULSER/RECEIVER CH A GAIN 亠 25 dB VOLTAG F kg Heflecled 丿 f j 一一 1 P Through GAIN 17 dB 二 RPPA FREQ. 广Low ? High GAIN RANGE C* Low a High MODE -fSReflecteir A Thrwir DAMPING PULSER/RECEIVER Sonix Procedure (Nov 2005) 6. 将黄线 FSF移至第二組波的第一支波上,即 Package的表面上,

4、如下图所示。（注意：在 扫描过程中，保证第一支波一定要时刻被黄线切到 ） 如要看 Die surface,将 Data Gate 1红框）框住下图中的第二支波（即從表面算起的第 介面）。 17 .t 7. FSF De-Focu&ed - Too Far Away focused on Die De-Focused - Too Close SCAN * e 20e ps/div 曲.r?恤斗i .輛 2: NO SCAU n| 8 200 ps/diy 亘 IM 0.26 ps/diu 、* i队归砂 气 m 訓 Sonix Procedure (Nov 2005) Data Gate

5、 1 8.微调焦点：在 Motor窗口，选最慢速度，点击 F5/F6,将探头移上或下，注意右上数字 Amp,直至波峰（Amp数字）为最大Sonix Procedure (Nov 2005) 9.微调焦点时，若波形跑掉，勾视波器右上的“ FSF Tracking ”，波形便會跟着 FSF跑 I*7 FSF Tracking 10点击 Instruments 窗口中的“ GAIN”按钮，改变增益值，使波形的最高反射率 （Amp） 在 6080%左右 11. 调节 Date Gate 1的上下大小，使扫描中屏幕中的一组信号都能超过红框的高度，不 能让其他噪声波超过红框 12. 设定开始扫瞄位置：在

6、Motor窗口中,不勾 Position Lock,按 Set Start把现在位置设定 成开始扫瞄位置,勾 Position Lock 13. 在 Scan Tools 窗口中：在 Length的 SCAN和 STEP,设定扫瞄范围大小；设定 Data In creme nt （扫瞄点间距）,Data In creme n越小,分辨率越高 14. 也可以让机器自动确定样品的大小。操作如下 ： 把探头移到样品中间 打开 FSF gate 把 FSF （黄线）放到从表面反射回来的波形上 按下图所示的“ Auto Center & Resize ,即可让机器自动计算样品的大小 ,并且 把探

7、头移到样品的中间，設定为 Start位置。若按的是“ Auto Center on Part 机器只Set Home Set Start Set Focus I Go Home | Go Start Go Focus Initiali Motor Y y Scan T ook Q AREA 广TRAY r旳 C JUMP C MULTIFOCUS 厂 Skip & Scan r UniDir I Simultaneouj Length (mm) Pixels Data InciEmEnt Instruments SCAN STEP | 15 00 | 15.00 150 150 (microns) | 100 r 5 r io r so so P ioo 广 uso Position Locld Range Sonix Procedure (Nov 2005) 會自动把探头移到样品的中间，設定为 Start位置。 AREA Auto Center Auto Center on Part & ResizeSonix Procedure (Nov 2005) 15. 在 Scan Tools 窗口中,选 Slow / Medium