紫外光处理机-DMS-制程管制标准书

1、昆山龙腾光电有限公司_昆山龙腾光电有限公司内部文件, 非经书面准许, 不得以任何形式复制及对外发行All rights strictly reserved reproduction or issue to third parties in any form what ever is not permitted without written authority from the proprietor.昆山龙腾光电有限公司0. 目录1. 范围2. 目的3. 权责4. 名词定义5. 生产条件5.1 RECIPE设定5.2 机台参数设定5.3 管制项目与规格6. 参考文件7. 使用表单_昆山龙腾光电

2、有限公司内部文件, 非经书面准许, 不得以任何形式复制及对外发行All rights strictly reserved reproduction or issue to third parties in any form what ever is not permitted without written authority from the proprietor.昆山龙腾光电有限公司1.1.11.21.31.4 范围 适用区域：1A Array Etch区。 适用制程：紫外光处理制程。 适用人员：Etch区EUV机台进行作业之Operator & Engineer。 适用机台2. 目的本文

3、件主要目的在订出紫外光处理机（EUV）制程之制程管制项目与规格，用以确保制程的稳定性并规范管制项目异常时的处理方法与步骤，以做为蚀刻工程部人员在建立产品生产条件或管理项目时，有依循之依据，期能快速导入生产条件，使生产管理步入轨道，而能达质量管理之要求。3. 权责此规范适用于EUV机台之设备、制程工程师，保养修护人员，及值班工程师。4.4.15. 名词定义 EUV：Excimer Ultraviolet 生产条件生产条件是生产机台相当重要的设定项目。为保持机台稳定运行以及产品质量的稳定，经承认后的生产条件是不得任意进行变更。5.1 RECIPE设定由于生产条件不同需求，本机台具有不同Recipe

4、设定。生产时，将依生产条件需求自动选择合适Recipe进行生产。Recipe内容未经许可，不得随意变更。5.1.1 EUV Recipe设定RECEIPE：1Tact Time：40 sec_昆山龙腾光电有限公司内部文件, 非经书面准许, 不得以任何形式复制及对外发行All rights strictly reserved reproduction or issue to third parties in any form what ever is not permitted without written authority from the proprietor.昆山龙腾光电有限公司5.2

5、 5.2.1机台参数设定 JOB COND_昆山龙腾光电有限公司内部文件, 非经书面准许, 不得以任何形式复制及对外发行All rights strictly reserved reproduction or issue to third parties in any form what ever is not permitted without written authority from the proprietor.昆山龙腾光电有限公司5.3 5.3.1管制项目与规格 MQC项目与规格MQC即Machine Quality Control，指为保证机台能够正常运转，所做的定期检查项目，属

6、于管制项目之一。5.3.2 5.3.3 5.3.3.1IPQC项目与规格 无管制项目异常处理流程 机台Recipe设定异常机台Recipe设定与机台参数设定不得自行变更，若发现设定有变更，表示机台发生异常，则应立即通知工程师处理，以免持续影响产品质量。5.3.3.2 机台MQC异常当MQC 异常时，表示机台状况异常。MQC首次出现异常时(OOC或OOS)，Operator要马上通知工程师，并且立即做第二次MQC量测，如果测量结果正常则可继续生产；倘若第二次测量仍然不良，则设备马上停机，待工程师查找异常原因，并且排除异常后，再进行MQC量测，直到MQC测试正常后方可以继续生产。_昆山龙腾光电有限

7、公司内部文件, 非经书面准许, 不得以任何形式复制及对外发行All rights strictly reserved reproduction or issue to third parties in any form what ever is not permitted without written authority from the proprietor.昆山龙腾光电有限公司5.3.3.3 规格判定A机台开机点检规格请参考文件Q-7-02-0-010【紫外光处理机(DMS)保养指导书】。B MQC检测规格请参考本文5.3.1.1 MQC项目与规格。6. 参考文件IVO G5 SA-EU

8、V OPERATION MANUAL _昆山龙腾光电有限公司内部文件, 非经书面准许, 不得以任何形式复制及对外发行All rights strictly reserved reproduction or issue to third parties in any form what ever is not permitted without written authority from the proprietor.昆山龙腾光电有限公司Q-7-02-0-010紫外光处理机(DMS)保养指导书Q-7-01-0-010紫外光处理机(DMS)操作指导书7. 使用表单无_昆山龙腾光电有限公司内部文件, 非经书面准许, 不得以任何形式复制及对外发行All rights strictly reser