CDA系统及制程真空系统简介精讲

1、CDA系统及制程真空系统简介精讲 第一单元压缩枯燥空气系统压缩枯燥空气系统系统目的?提供低含水量之压缩干净空气需求设备?离心式空气压缩机(螺旋式空气压缩机)?吸附式枯燥机(冷冻式枯燥机)?微粒子过滤器质量要求(各厂需求略有不同)?系统末端压力高于?空气露点温度低于-70(水份含量低于0.12ppm)?微粒数少于10颗/ft3 压缩枯燥空气系统压力单位?inHg、mmAq、kg/cm2、Psi (lb/in2)、Pa (N/m2)、Bar (105 Pa)、Torr大气压力=101,325Pa=1.01Bar=760Torr绝对压力?表压力+大气压力压力换算 压缩枯燥空气系统风量单位?CMM(m

2、3/min)、CMH(m3/hr)、CFM(ft3/min)单位换算?1CMM(m3/min)=1m3/(1/60hr)=60CMH特定风量条件?Standard Condition(SCMM)：1atm、20、?Normal Condition(NCMM)：1atm、0、压缩枯燥空气系统Standard&Normal风量转换?理想气体定律?(P1*V1)/T1=(P2*V2)/T2?P：绝对压力?T：绝对温度Standard&Normal风量转换范例?100SCMM= NCMM?理想气体定律(1.033kg/cm2*100SCMM)/(20+273)=(1.033kg/cm2* NCMM)/

3、(0+273)?Ans：?Q(Standard) Q(Normal)压缩枯燥空气系统压缩枯燥空气处理流程压缩枯燥空气系统离心式空气压缩机压缩枯燥空气系统离心式空气压缩机 冷 凝 水 橈 性 接 頭 油 過 滤 器 油 温 控 制 阀 油 冷 却 器主 油 泵 油 加 热 器 油 箱 旁 通 阀 过 滤 網 油 空 氣 水 後 冷 却 器中 間 冷 卻 器中 間冷 卻 器 辅 油 泵進 口 空 氣 过 滤 器 和 消 音 器進 口 調 節 導 葉 止 回 阀 排 油 氣 風 扇 及 過 滤 器压缩枯燥空气系统IGV&BOV压缩枯燥空气系统枯燥机组件介绍压缩枯燥空气系统枯燥机组件介绍气动控制阀件压

4、缩枯燥空气系统枯燥机温度/压力表(机械式)入口壓力出口壓力A桶槽壓力 B桶槽壓力冷卻壓力A桶槽溫度B桶槽溫度排氣出口溫度压缩枯燥空气系统枯燥机温度/压力表(机械式)Inlet PressureLeft Chamber PressureA桶槽B桶槽Outlet PressurePurgeRight Chamber PressureMoisture Indicator1.蓝色?正常2.粉红?含水压缩枯燥空气系统枯燥机温度/压力表(机械式)B桶槽冷却压力压缩枯燥空气系统枯燥机温度/压力控制开关(电子式)加热温度控制开关(维持200)加热器温度保护开关(370)B桶槽高温切换保护开关(50)A桶槽高温

5、切换保护开关(50)空气出口温度监视点A桶槽建压压力开关(45psi)B桶槽建压压力开关(45psi)加热完毕温度控制开关(80)压缩枯燥空气系统Cycle Time(22hr)?单一桶槽依续完成吸附与再生过程之总时间吸附过程(11hr)?枯燥粒吸收压缩空气所含水份之程序再生过程(11hr)?泄压程序(8min)：泄除欲再生桶槽保有之压力?加热程序(240min max)：加温移除枯燥粒子所含水份?冷却程序(410min max)：冷却枯燥粒以恢复吸附才能?建压程序(15min)：建立再生完成桶槽之压力压缩枯燥空气系统工作流程吸附过程入口阀(桶槽切换时作动)A桶排气阀(OFF)B桶排气阀(OF

6、F)A桶泄压阀(OFF)B桶泄压阀(OFF)吸附桶槽待机桶槽建压阀(OFF)桶槽切换根据1.侦湿器作动(7.513kHz)2.时间控制(11hr)B桶槽高温切换保护开关(50)A桶槽高温切换保护开关(50)压缩枯燥空气系统再生过程泄压程序(8min)入口阀A桶排气阀(OFF)B桶排气阀(OFF)A桶泄压阀(ON)B桶泄压阀(OFF)泄压桶槽吸附桶槽建压阀(OFF)压缩枯燥空气系统再生过程加热程序(240min max)入口阀A桶排气阀(ON)B桶排气阀(OFF)A桶泄压阀(OFF)B桶泄压阀(OFF)加热桶槽吸附桶槽建压阀(OFF)加热温度控制开关(维持200)加热器温度保护开关(370)加热

7、完毕温度控制开关(80)1.鼓风机启动2.加热器启动压缩枯燥空气系统再生过程冷却程序(410min max)入口阀A桶排气阀(ON)B桶排气阀(OFF)A桶泄压阀(OFF)B桶泄压阀(OFF)冷却桶槽吸附桶槽建压阀(ON)35压缩枯燥空气系统再生过程建压程序(15min)入口阀A桶排气阀(OFF)B桶排气阀(OFF)A桶泄压阀(OFF)B桶泄压阀(OFF)建压桶槽吸附桶槽建压阀(ON)35A桶槽建压压力开关(45psi)B桶槽高温切换保护开关(50)A桶槽高温切换保护开关(50)压缩枯燥空气系统微粒子补捉原理气流惯性/冲击粒子粒子粒子栏截扩散/静电粒子运动途径粒子运动途径 第二单元制程真空系统

8、制程真空系统系统目的?移除系统内气体、创造具真空度之空间需求设备?真空机 (真空泵)质量要求(各厂略有不同)?系统末端真空度高于25.0 inHg制程真空系统压力单位?inHg、mmAq、kg/cm2、Psi (lb/in2)、Pa (N/m2)、Bar (105 Pa)、Torr大气压力=101,325Pa=1.01Bar=760Torr绝对压力?表压力+大气压力真空度?负压力单位or压力单位(vac)制程真空系统真空系统流程图制程真空系统真空机组成制程真空系统真空机工作流程空 气 部 份光滑油部份制程真空系统真空机表件/图控点/附属组件制程真空系统真空机入口导引阀真空开关设定：下限上限设备启动(真空度小于26.0inHg vac)真空度大于26.0inH