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文档简介
C扩散炉结构简介C扩散炉结构简介第1页CONTENT1、设备基础组成2、炉体部分3、Loadstation4、Gascabinate5、控制及监控系统C扩散炉结构简介第2页基础组成—centrothermCentrotherm扩散炉机台主体由装载系统,TGA,炉体部分和气源柜四部分组成。其各部分功效以下:1.装载系统:用于将上料台上石英舟及未扩散硅片送入炉内,以及将扩散完成硅片传送到上料台。2.TGA(ToxicGasExhaust):用于驱动炉门,吸收在进舟和出舟过程中可能泄漏出来有毒气体。3.炉体部分:机台关键部分,由五个炉体及相关电源系统和控制系统组成。4.气源柜:用于提供扩散工艺过程所需多种工艺气体,以及将扩散过程中产生尾气经过酸排风系统排出。C扩散炉结构简介第3页炉体部分—centrothermC扩散炉结构简介第4页炉体部位包含炉体,控制柜和电源柜三个部分。炉体部位包含五根炉管,控制柜里面包含着负责工艺程序实施CESAR电脑,CMS和温度控制器,电源柜负责供给整个机台所需动力电源。控制柜动力柜炉体控制柜动力柜CCC电脑放置处C扩散炉结构简介第5页动力柜动力柜中变压器机体温度监控C扩散炉结构简介第6页CCC控制电脑与CMSCCC控制电脑(CellControlComputer)中包含用于创建和管理recipe软件CCC-RM(CentrothermCellControlRecipeManager),用于对CESAR电脑进行集中控制。CMS(centralmachinesafety),错误监视单元,用于监视炉内,炉外,炉体及电路温度和冷却系统工作情况,并将结果显示在CMI电脑用户界面上。CMSCCC电脑C扩散炉结构简介第7页CESAR控制电脑温度控制器CESAR控制电脑(每个炉管有一个):其作用为:创建或更改recipe,定义recipe变量(工艺时间,温度,压力,气流),start,stopandcancelrecipe,数字控制温度,控制气流,装载机组参数设置,与装卸系统进行通讯,监视报警/中止情况(气流,温度,压力),经过级联控制器控制温度,经过级联温度控制进行自动拉温,存放一定数量recipe,统计用户定义工艺数据,对正在运行工艺进行测试(实施工艺步骤,更改变量,设置/重置停止点等)温度控制器(每个炉管有一个):采取REG97温度控制器,硬件部分由controller,transducer,pulseskippingunit组成。C扩散炉结构简介第8页控制柜动力柜UPS电源炉体电力配置箱,变压器动力柜,控制柜,炉体与变压器分布C扩散炉结构简介第9页SpikeTC温度测量模块SpikeTC供电超温监控CMS(机器安全系统)冷却水管接口冷却水管接口SpikeTC炉体情况接线柱C扩散炉结构简介第10页SpikeTCSpikeTC(包含两根热偶,一根用于超温报警,一根用于工艺控温)石英管工艺气体进气管PaddleTC放置口尾气管放置炉丝及炉管炉丝与接线柱接口设计C扩散炉结构简介第11页炉门控制系统-TGACentrotherm炉门系统由专门控制装置TGA(ToxicGasExhaust),其上有热排风来抽走炉门开关过程中可能释放出有毒气体和热量。TGA炉门开关驱动电机炉门进出驱动电机炉门装置C扩散炉结构简介第12页LoadstationC扩散炉结构简介第13页Centrotherm扩散炉装载系统由冷却箱,桨及桨托,传送带系统,手动上料台,lift,storeshelf,真空吸笔装置,过滤箱,CMI电脑以及相关控制电路组成。
手动上料台冷却箱CMI电脑C扩散炉结构简介第14页1.桨托形状和作用:centrotherm桨托起到固定桨作用,而桨高低位则经过升降整个传送系统来实现;Centrotherm桨托桨控制桨高低位的电机控制桨高低位的联动装置C扩散炉结构简介第15页2.桨传送方法:centrotherm是利用固定在一侧传送皮带带动桨托运动;
Centrotherm传送皮带皮带传送电机C扩散炉结构简介第16页3.lift运动方法:centrothermlift能实现上下和前后运动,石英舟左右运动则是依靠下方传送带实现;Centrotherm的lift,只能上下和前后运动装载系统下的传送带C扩散炉结构简介第17页4.储存架位置数量:centrotherm储存架位于lift同一位置,一共七个(因为储存架还未安装,此数量是从store架形状看出);
Centrotherm储存架位置C扩散炉结构简介第18页5.控制方法:centrotherm装载系统,recipe管理系统,程序运行和实施均由同一显示界面控制;
Centrotherm控制界面C扩散炉结构简介第19页6.配置:centrotherm装载系统顶部有一个冷却箱,配有真空吸笔接口;真空吸笔接口Centrotherm冷却箱C扩散炉结构简介第20页7.净化风机位置:位置相同,都位于装载系统下部,但形状不一样。centrotherm净化风机所放位置centrotherm净化风机外部C扩散炉结构简介第21页Gascabinate—centrothermC扩散炉结构简介第22页Centrotherm气源柜能够分为以下多个功效区:尾气瓶放置区,bubbler放置区,磷源温度和液位监视区,气体控制区,热排,酸排,冷却水供给及净化区。其位置如图所表示。Bubbler放置区尾气瓶放置区气体控制柜Bubbler放置区冷却水及净化装置酸排热排尾气瓶放置区酸排热排冷却水及净化装置气体控制柜C扩散炉结构简介第23页
尾气瓶放置区和尾气瓶工艺气体(氧气,大小氮)进气口PaddleTC尾气管炉体位置热排口通向酸排尾气瓶放置区凝结器沉淀搜集防漏盘热排口C扩散炉结构简介第24页Bubbler放置区进气管出气管至排风至排风至排风至炉内小氮管Bubbler放置区C扩散炉结构简介第25页源温及液位监控区内部情况外部情况C扩散炉结构简介第26页
气体控制区MFC气动阀C扩散炉结构简介第27页气体冷却水系统C扩散炉结构简介第28页酸排,热排系统气源柜上热排废液搜集瓶气源柜上酸排C扩散炉结构简介第29页控制及监控系统C扩散炉结构简介第30页centrotherm关键控制系统组成和作用以下:1.CMI计算机每个机台一个,用于控制装卸系统并显示CMS和CESAR电脑2.CMS(centralmachinesafety)错误监视单元,用于监视炉内,炉外,炉体及电路温度和冷却系统工作情况,并将结果显示在CMI电脑用户界面上,系统对偏差响应可设置。
C扩散炉结构简介第31页3.CESAR控制电脑(每个炉体一个)作用:1)创建或更改recipe2)定义recipe变量(工艺时间,温度,压力,气流)3)start,stopandcancelrecipe4)数字控制温度5)控制气流6)装载机组参数设置7)与装卸系统进行通讯8)监视报警/中止情况(气流,温度,压力)9)经过级联控制器控制温度10)经过级联温度控制进行自动拉温11)存放一定数量recipe12)统计用户定义工艺数据13)对正在运行工艺进行测试(实施工艺步骤,更改变量,设置/重置停止点等)C扩散炉结构简介第32页4.Cellcontroller其中包含用于创建和管理recipe软件CCC-RM(CentrothermCellControlRecipeManager),用于对CESAR电脑进行集中遥控。5.Temperaturecontroller采取REG97温度控制器,硬件部分由controller,transducer,pulseskippin
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