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文档简介

第四章(补充)薄膜的结构与缺陷第一节薄膜的绪构薄膜的结构因研究的对象不同分三种类型(1)组织结构(2)晶体结构(3)表面结构薄膜的结构与缺陷薄膜组织结构薄膜的组织结构是指它的结晶形态其结构分为四种类型:(1)无定形结构(2)多晶结构(3)纤维结构(4)单晶结构薄膜的结构与缺陷1.无定形结构无定形结构(也称为非晶结构或玻璃态结构)其内部原子的排列是无序的,更严格地说,是不存在长程的周期排列(在微观尺度上可能存在有序的原子团)薄膜的结构与缺陷相对于块体材料来讲,比较容易制备非晶态的薄膜这是由于薄膜的制备方法比较容易实现形成非晶态结构的外部条件,即较高的过冷度和低的原子扩散能力薄膜的结构与缺陷形成无定形薄膜的工艺条件是降低吸附原子的表面扩散速率低表面扩散速率的方法:降低基体温度、引入反应气体和掺杂硫化物和卤化物薄膜在基体温度低于77K时可形成无定形薄膜溅射沉积w、Mo、Hf、Zr、Re膜时,加入原子百分比为1%的N2,所得的膜是非晶态有些氧化物薄膜(如TiO2、ZrO2、A2O3等),基体温度在室温时有形成无定形薄膜的倾向

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