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国防军工计量技术规范氦质谱检漏仪校准规范2018-11-08发布氦质谱检漏仪校准规范JJF(军工)186-2018CalibrationSpecificationofHeliumMassSpectrometerLeakDetector起草单位：国防科技工业真空一级计量站本规范起草人：赵澜(国防科技工业真空一级计量站)成永军(国防科技工业真空一级计量站)孙雯君(国防科技工业真空一级计量站)陈联(国防科技工业真空一级计量站)冯天佑(国防科技工业真空一级计量站)管保国(国防科技工业真空一级计量站)张瑞芳(国防科技工业真空一级计量站)孙冬花(国防科技工业真空一级计量站)郭美如(国防科技工业真空一级计量站)袁征难(国防科技工业真空一级计量站)马亚芳(国防科技工业真空一级计量站)高洁(国防科技工业真空一级计量站) 1 1 1 1 1 1 2 2 2 2 2 2 2 2 2 2 6 6 7 氨质谱检漏仪校准规范b)相对湿度：不大于80%;流量范围：(5×10²~5×10¹)Pam²'s,流量范围：(S×10¹~5×10⁵)Pam³%s,扩展不确定度不大于18%(k-2);扩展不确定度不大于6%(=2)。漏率范围：(5×10~⁰~5×10)Pam³s,扩展不确定度不大于20%(k-2):漏率范围：(5×105×105)Pam²s,扩展不确定度72校准方法33)重复上面1)~2),测量n组数据，n≥6.2)打开截止阀8,调节气体微流量计10,向氮质谱检漏仪9输入稳定的氮流3)重复1)~2)步骤，调节不同量级对应的稳定标准流量Q,(一般为4L—第/次氢质谱检漏仪噪声，Pam%2)被校氧质谱检漏仪最小可检漏率的算术平校准次数，≥6.Q—第/点标准流量，Pam's—第/点氧质谱检漏仪漏率示值，Pama.出7测量不确定度评定示例0—氢质谱检漏仪的最小可检漏率，Pam%s;—质谱检漏仪漏率的示值，Pam²s;n(0)-√P?@)+Gr()+Ge(4)(m,(Q,)—标准流量值引入的相对标准不确定度5.0%~10%. 可—校氨质谱检漏仪最小可检漏率的算术平均值； 9—结果的相对合成标准不确定度。U,=k(C=Vcr(@+Gr(4)(A.13)C—被校氢质谱检漏仪校准系数的算术平均值：2U,=k(A.20)原始记录

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