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  • 正在执行有效
  • 2013-10-17 颁布
  • 2014-03-01 实施
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YS∕T 922-2013 高纯铜化学分析方法痕量杂质元素含量的测定辉光放电质谱法_第1页
YS∕T 922-2013 高纯铜化学分析方法痕量杂质元素含量的测定辉光放电质谱法_第2页
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文档简介

ICS7712030

H13..

中华人民共和国有色金属行业标准

YS/T922—2013

高纯铜化学分析方法

痕量杂质元素含量的测定

辉光放电质谱法

Methodsforchemicalanalysisofhighpuritycopper—

Determinationoftraceimpurityelementscontent—

Glowdischargemassspectrometry

2013-10-17发布2014-03-01实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

中华人民共和国有色金属

行业标准

高纯铜化学分析方法

痕量杂质元素含量的测定

辉光放电质谱法

YS/T922—2013

*

中国标准出版社出版发行

北京市朝阳区和平里西街甲号

2(100013)

北京市西城区三里河北街号

16(100045)

网址

:

服务热线

:400-168-0010

年月第一版

20145

*

书号

:155066·2-26737

版权专有侵权必究

YS/T922—2013

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准由全国有色金属标准化技术委员会归口

(SAC/TC243)。

本标准负责起草单位北京有色金属研究总院

:。

本标准参加起草单位金川集团股份有限公司东方电气集团峨嵋半导体材料有限公司有研亿金

:、、

新材料股份有限公司

。

本标准主要起草人王长华秦芳林王攀峰刘英孙泽明李继东童坚臧慕文邱平文英

:、、、、、、、、、、

尚再艳

。

Ⅰ

YS/T922—2013

高纯铜化学分析方法

痕量杂质元素含量的测定

辉光放电质谱法

1范围

本标准规定了高纯铜中痕量杂质元素含量的测定方法测定元素见表

,1。

本标准适用于高纯铜中痕量杂质元素含量的测定各元素测定范围如下硫硒元素的测定范围为

。:、

其余元素的测定范围为

10μg/kg~5000μg/kg,1μg/kg~5000μg/kg。

2方法原理

试料作为阴极进行辉光放电在氩气氛下其表面原子被溅射而脱离试料进入辉光放电等离子体

,,

中在等离子体中离子化后被导入质谱仪在每一元素同位素质量数处以预设的扫描点数和积分时间

,。

对相应谱峰积分所得面积即为谱峰强度元素含量用式求出无标准样品时计算机根据仪器软件

,,(1)。,

中的典型相对灵敏度因子自动计算出各元素的质量分数有标准样品时需通过在与被测样品相同的

“”;,

分析条件离子源结构以及测试条件下对标准样品进行独立测定获得相对灵敏度因子应用该相对灵敏

、,

度因子计算出各元素的质量分数

。

3试剂与材料

除非另有说明分析中所用的试剂均为优级纯所用的水为一级水

,;。

31硝酸

.(1+1)。

32铜标准样品被测元素质量分数在之间

.,50μg/kg~500μg/kg。

33仪器背景监控样品被测元素质量分数低于被测试样的倍以上

.,10。

34氩气纯度

.(≥99.999%)。

35氮气纯度

.(≥99.99%)。

4仪器

41高质量分辨率辉光放电质谱仪中分辨率模式下分辨率可达高分辨率模式下分辨

.,3000~4000,

率可达

9000~10000。

42测定同位素及分辨率见表测定时要求同位素63的谱峰强度不小于

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