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仅供参考整理安全管理文书真空机组使用说明及注意事项 日期:_ 单位:_第 1 页 共 3 页真空机组使用说明及注意事项一真空机组开机流程1、启动VB150维持泵,然后打开出口阀。当电阻计2真空度达到5帕以下时,启动扩散泵加热。2、启动VB200旋片泵,打开旁通阀;当电阻计1真空度达到2000帕以下时,开启2ZJP300罗茨泵,进行预抽。3、扩散泵加热50分钟以上且电离计真空达到5帕以下时,先关闭旁通阀,再打开主阀,进行主抽。4、关闭2ZJP300罗茨泵,30秒后关闭VB200旋片泵。二真空机组关机流程1、关闭主阀。2、启动-关机程序。三真空机组使用注意事项1、真空机组在使用的整个过程中,必须保证水路、气路完整通畅。2、必须严格按照真空机组的开机、关机流程,进行操作。3、扩散泵加热过程中,若不慎断水。应先关闭扩散泵电源,再关闭主阀。然后摘下扩散泵电炉加热器,并使用电风扇进行降温。在这过程中,要一直保持VB150维持泵和出口阀处于开启状态。4、扩散泵加热过程中,若VB150维持泵出现故障不工作,应先关闭出口阀,然后启动VB200旋片泵,再启动2ZJP300罗茨泵,打开维持阀进行主抽。第 2 页 共 3 页仅供参考整理安全管理文书整理范文
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