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1目录1申报单位概况12项目建设背景和必要性23项目建设地点34工程建设方案35消防56环保67劳动安全和职业卫生68节能措施89工程实施计划910投资规模和资金筹措911项目主要指标1012需要说明的内容1011申报单位概况1申报单位11企业名称12企业性质有限公司13公司地址上海市浦东14法人代表15注册资金公司注册资本4940万元人民币。16公司经营目的、经营范围和主导产品公司主要从事微电子装备的开发、设计、制造、销售及技术服务,经营本企业自产产品的出口业务和本企业所需要的机械设备、零配件、原辅材料的进口业务。17经营期限经营期限自2007年08月03日至2022年03月06日18建设单位简介(以下简称公司),成立于2002年6月,是由上海电气(集团)总公司、上海科技投资公司、上海工业投资公司等多家单位投资组建的有限责任公司。公司凭借上海电气(集团)总公司丰富的机、电、仪设计、制造能力,集中了光学、精密机械、精密控制、软件方面从事微电子装备研究的团队,进行微电子装备的研究、开发和产业化制造。公司承担了国家科技部“十五”、“十一五”重大技术专项(国家集成电路光刻设备项目)等任务。公司现有占地面积384545平方米,已建建筑和目前另设项目正在建设的“新建工业中试研发楼”建筑面积合计256375平方米。公司现有职工人数约500人,其中具有中高级技术职称的技术人员和管理人员约460人,技术工人约40人。22项目建设背景和必要性高端光刻机是微电子装备中系统最复杂、技术难度最大、单台价值最高、国外限制最严的关键设备,目前世界上仅有荷兰和日本等少数国家具备制造高端光刻机的能力,且仅有三家公司制造高端光刻机。高端光刻机融合了精密光学、精密机械、精密控制、计算机软件、精密测量、特种材料、微环境控制等科技领域的最新成就,代表了高科技制造领域的最高水平。自成立以来,一直致力于大规模工业生产的投影光刻机研发、生产、销售与服务,公司产品可广泛应用于IC制造与先进封装、MEMS、TSV/3D、TFTOLED等制造领域。公司自主研发的首台高端封装步进投影式光刻机已经交付客户使用,成为国内唯一的一家具备步进投影式光刻机研发、制造、集成、调试能力的企业,也是世界上为数不多的掌握此类产品开发制造的企业之一。OLED是一种新型平板显示技术,具有自发光、清晰亮丽、轻薄、响应速度快、视角宽、低功耗、操作温度范围大等特点,已被公认为最理想的显示技术。按照发光方式的不同,可将OLED分为被动矩阵OLED(PMOLED)和主动矩阵OLED(AMOLED)两大类。PMOLED易于制造,但是它需要外部电路,因此耗电量大于其他类型的OLED。AMOLED具有完整的阴极层、有机分子层以及阳极层,但阳极层覆盖着一个薄膜晶体管(TFT)阵列,形成一个矩阵。TFT阵列本身就是一个电路,能决定哪些像素发光,进而决定图像的构成。AMOLED的耗电量低于PMOLED,因而AMOLED适合用于大型显示屏。AMOLED还具有更高的刷新率,适于显示视频。目前OLED已逐渐拥有手机、MP3、汽车显示器这些小尺寸显示的市场。未来大尺寸显示市场,如笔记本电脑、电视机等将成为OLED主要的应用领域。此外,下一代OLED照明开发正方兴未艾。公司和上海大学已经进行了一年的紧密合作,200MMX200MM中试线用光刻机将于2010年12月交付“上海大学平板显示工程中心”使用,是最具有先行启动25代和45代AMOLED光刻机设备开发条件的企业。与其他国家的竞争对手相比较,占据了明显的地缘优势,能够为国3内AMOLED面板生产企业提供快速响应、优廉的技术支持服务,对于降低用户的使用维护成本具有重要意义。公司的劣势主要在于进入平板显示器市场相对较晚,竞争对手已经具备一定数量的装机量,在市场上享有更高的知名度。为进一步增强公司平板显示器用光刻机的研发能力和制造水平、扩大研发和生产场地面积,公司经董事会决议批准,将实施本项目新建厂房建设。本项目仅含厂房土建和一般机电工程,未来将由公司视发展需要另行安装研发和生产工艺设备。3项目建设地点项目建设地点位于上海市浦东张江高科技园,公司现有场地内。基地北临金秋路、西临张东路,东侧和南侧为其他公司用地。公司毗邻地铁二号线,北入连接内环线和浦东国际机场的重要通道龙东大道,西临连接内环线和外环线的主干道路罗南大道,交通网线发达,距浦东国际机场仅需30分钟,至国际博览中心、陆家嘴金融贸易中心、东方明珠、金茂大厦等都十分便捷。4工程建设方案41总图规划公司用地总面积384545平方米,在基地北侧金秋路、西侧张东路分别开有主、次出入口,基地内已建有一座生产厂房和一座办公研发楼,基地东南角为另设项目在建的工业中试研发楼。本项目新建厂房位于现有生产厂房北侧,与现有厂房间距1185米。新建厂房占地面积约2714平方米,总建筑面积119763平方米。新建厂房与现有建筑之间间距符合规划部门的要求,厂区布局较为紧凑,为方便人流、货流的出入,厂区道路均为环网状布局,最小转弯半径为6米,最小宽度为40米,以满足消防道路的要求,方便人流,货流的出入。新建厂房利用基地内预留土地面积建设,工程建设完成后总图各项指标满足规划要求。总图主要经济和技术指标序号名称单位原有和在建本期完整项目41基地总面积M23845453845453845452建筑总占地面积M210222827141293683总建筑面积M2256375123273792794建筑密度3365容积率0986绿化率4877集中绿化率32242建筑新建厂房为混凝土结构,整栋建筑由677米(长)35米(宽)的四层车间/仓库和81米(长)36米(宽)的七层支持辅助用房组成。一层车间为千级洁净车间,主要是为光刻机的总装集成,由于设备总高达4米,重约12T,加上桥式起重机和净化系统,为此层高达96米,二层和三层车间层高各高5米,为万级洁净车间;四层层高4米,为洁净仓库。七层的支持辅助用房内设有员工餐厅、卫生生活设施、休息区、备品备件、设备维修等生产支持辅助等面积。新建厂房总建筑面积119763平方米。43给排水本项目暂无生产用水,预计新增生活用水量12M3/D,由厂区原有室外供水管网供应。生活排水系统采用污废水分流,设置伸顶透气阀,生活污废水经化粪池处理后排入厂区原有排水系统。循环水系统补水由厂内现有室外供水管网提供。新建厂房内,除IT机房、卫生间、配电间、动力设备房外,其他场所均安装自动喷淋系统;各层均设室内消火栓保护;各机房、走廊和固定人员值班场所,按规范要求配备手提式灭火器。厂区内已建有消防泵房,本项目的室内外消火栓由原消防泵房内消火栓泵供应(稳高压,无需另设屋顶水箱),项目室内喷淋系统通过原消防泵房内的喷淋泵供应(稳高压,无需另设屋顶水箱)。44空调、净化和通风千级洁净室气流组织采用上送下侧回,万级洁净室气流组织采用上送上回。各层车间内采用风冷热泵空调系统,室内机为吊顶式空调处理机组加高效过滤器,室外机放置于车间屋面;新风采用新风处理机组,与吊顶式空气处理机组共用室外机,新风由新风机房外侧墙百叶引入。生产辅助区域和行政生活区域采用变频多联空调系统,室内机为四面出风5式空调,室外机放置于屋面,新风采用全热交换式换气机,新风由侧墙百叶引入。车间内安装集中排风系统,排风机安装于车间屋顶。卫生间按10次/小时换气次数设计机械排风,采用排风扇将空气排至室外。45电气预计新建厂房内未来可能的工艺、测试和研发设备用电量约1000KW,其他包括照明、插座300KW,空调净化和动力1200KW,给排水系统300KW,新建厂房预计用电量2800KW。项目用电由公司现有10KV系统提供。低压配电采用树干式与放射式相结合的形式,干线电缆沿桥架敷设,引至配电箱时局部穿钢管保护。车间、行政生活区、生产辅助区均采用嵌入式雾面隔栅荧光灯具;在主要出入口及主要通道设疏散指示及诱导照明,应急放电时间不小于90分钟。5消防厂区内主要单体建筑四周均设有环形消防车道,建筑之间的距离均控制在10米以上。设室内外消火栓系统和室内自动喷淋系统,消火栓及喷淋给水系统为与生活供水系统分开的独立系统,消防系统采用稳高压给水系统。消防泵房为厂区内现有,消防设备为双电源供电,消防水泵日常为电动泵做为应急备用。室内设应急照明,应急照明灯具内自带蓄电池,应急时间不小于90分钟。在建筑的主要出入口处、疏散走道、楼梯间设置诱导标志灯作为疏散照明,其地面照度值不低于1LX,疏散路线上的诱导标志灯带方向指示,出口的诱导标志灯安装在门的上方,诱导标志灯带蓄电池,应急时间不小于90分钟。空调净化系统的风管采用不燃材料镀锌钢板制作。冷热水的保温材料采用难燃闭孔橡塑海绵材料;凝结水管道的保温材料采用不燃离心玻璃棉保温管壳。风管穿越防火分区隔墙处、穿越空调机房隔墙或楼板处、垂直风管与每层水平风管支接处等均设防火阀,并与该系统的风机联锁,防火阀关闭则风机停运,防火阀也可根据消防中心发出的信号动作。防火阀可在70度时自动关闭。厂房生产车间设置排烟系统,排烟量按照每平方米60立方米/小时设计;6靠外墙的房间采用自然排烟,设置不小于房间面积2的可开启外窗。6环保本项目不涉及生产工艺,其影响环境的主要因素为生活污水、固体废料和废物、工业噪声等各种污染。61生活污水项目建成使用后,生活污废水排放量为10立方米/天,生活排水系统采用污废水分流,设置伸顶透气阀,生活污废水经化粪池处理后排入厂区原有排水系统。62噪声治理本项目除优选低噪声设备外,通过合理布局,集中控制人机分离,建筑设计等综合防治措施,确保作业场所噪声控制在85DB,厂界噪声达到类标准。63固体废物处理与利用本项目中固体废物有废弃包装材料、废弃封装材料和生活垃圾等。根据固体废物性质及其可利用资源的情况,进行分类处置与利用,防止流失,造成二次污染。生活垃圾及污泥(渣)委托环卫部门集中处置。7劳动安全和职业卫生在厂房建设期间将充分考虑到用户的实际使用情况,根据国家和地方政策及相关专业规范,设置相应的劳动保护和卫生设施。71劳动安全本项目在组织生产经营活动中主要安全因素涉及电气系统、生产工艺技术装备、作业运行与劳动防护等方面。72作业安全定期做好设备维护保养,保证设备安全运行。按作业工种配置劳防用品,安全生产。企业员工严格按各自岗位及作业规程、质量管理和环境管理要求作业。定期开展安全教育,提高员工安全意识,并在生产过程中及时报告设备运行过程中异常现象及其他隐患,及时采取纠正措施,防止意外事故的发生。773设备安全采取空压机集中供气方式,人机分离,设置空压机站房。空压机、压力容器及送气系统符合设备安全标准和设计规范。放气阀出口设置气流消声器。74电气安全防雷和接地电气系统采用接零保护,变压器中性点、电气设备外壳等均接地可靠。电阻4欧姆,高压母线上设置避雷器。建筑物按其相应类别防雷标准,设置避雷装置,接地电阻4欧姆。照明线路采用BV型绝缘导线、钢管保护暗敷,外保护钢管接地电阻4欧姆。动力线路布局及走线合理在动力线路中采用桥架铺设部分,走线合理,符合电气设计规范,安全可靠,维护方便。强化电气安全管理,持证上岗,定期培训。严格执行维护保养规定,使电气系统处于良好的运行状态。75职业卫生主要职业卫生因素为照明、空调通风、噪声及生活设施配置。按工业企业设计卫生标准及有关规定,进行工程设计,符合卫生标准。751照明按卫生标准、工艺要求和建筑设计通则规定,以及工艺要求选择照度标准。752空调和通风在生产区、办公生活区、动力支持区分别安装空调或通风系统,既满足将来高端汽车灯装配生产需要,又保证职工工作环境相对舒适。空调区域保证一定的新风量和换气次数。753噪声控制本项目生产过程并无较大的噪声源。对产生较大噪声的动力设备如空调机组、风机等,考虑消声降噪措施。与生产区域间隔墙采用吸音材料,同时采用消声减噪措施。76生活设施8按企业员工编制及性别比例和相关规范,合理配置生活设施厕所、休息室及配备相应设备。工作场所设开水供应点,女工集中的区域设置女工卫生间,在生产车间内设置一定的休息场所,以利消除工人因长时间操作的疲劳。车间内设置人、货分流、安全行走路线,设置行走指示牌。厂内明确规范的安全生产制度,并设专人负责管理实施。8节能措施81建筑围护结构屋面部分根据公共建筑节能设计标准,屋面传热系数K07W/M2K,混凝土屋面采用不小于40厚的挤塑型聚苯乙烯保温板;轻钢屋面设保温层,采用75厚挤塑型聚苯乙烯保温板。外墙部分根据公共建筑节能设计标准,外墙传热系数K10W/M2K,采用30厚保温砂浆,内面抹灰为20厚保温砂浆;彩钢板外墙采用50厚彩钢夹芯板。地面及地下室外墙(与土壤相接触的墙)根据公共建筑节能设计标准,采用30厚耐水挤塑型聚苯乙烯保温板。外窗采用保温及密封性能好的半隐框玻璃幕墙窗。可以满足国家规范要求82净化、空调和动力节能设计净化、空调、采暖和通风在满足使用条件下,经济地确定环境参数以利节能;按建筑物使用功能与各层面分区布置情况采取自然通风、机械通风、分散与集中空调系统相结合等多种方式调节室内温度,节约用电。空调系统设计充分利用室内循环风,减少系统的冷热负荷。并根据室外气温及室内负荷变化采用自动控制调节冷、热量以利节省能耗。对工艺生产过程中产生的排风系统与新风系统间设置热交换装置,利用工艺排风对空调新风进行一次热交换,将排风中的热量回收后再排掉,可减少空调系统加热量。保温冷媒、热媒的输送管道、空调净化风管、风道均进行良好的保温,减少冷9热能耗。选用保温性能好的保温材料,如离心玻璃棉、橡塑海绵保温材料。空调房间围护结构采取保温措施,以降低能量消耗。选用节能设备所有空调器、风机等均采用高效率节能设备。新风空调机、接工艺设备的局部排风系统的风机均采用变频风机,可根据工艺生产的实际情况对风机转速进行调节。空调系统均设有温湿度传感器等,并采用自动控制,以节约冷热量。83电气节能设计照明系统采用高效节能型荧光灯具配电子镇流器,提高光效,降低能耗。优选低噪声节能型生产设备和动力设备,合理能源配置。84其他节能措施选用节水型卫生洁具及配水件卫生间坐便器采用节水型6L坐便器,便器水箱建议采用两档型,蹲便器采用脚踏式延时开关;卫生间小便器采用感应式小便器冲洗阀;洗手盆龙头采用陶瓷芯感应式龙头;其他洁具和五金配件均采用节水型产品。85选用节能设备在选用工程所需机电设备时,充分考虑和比较同类型设备的效率、能耗等经济技术指标,合理布置,以确保工艺的先进及运行能耗的最低

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