半导体清洗设备项目建议书（可编辑模板）

1、泓域咨询/半导体清洗设备项目建议书半导体清洗设备项目建议书泓域咨询机构承诺书申请人郑重承诺如下：“半导体清洗设备项目”已按国家法律和政策的要求办理相关手续，报告内容及附件资料准确、真实、有效，不存在虚假申请、分拆、重复申请获得其他财政资金支持的情况。如有弄虚作假、隐瞒真实情况的行为，将愿意承担相关法律法规的处罚以及由此导致的所有后果。公司法人代表签字：xxx公司（盖章）xxx年xx月xx日项目概要在芯片制造过程中，不规则的杂质例如颗粒污染物、残留化学物质或其他污染物会扭曲光刻过程中的图案、阻碍薄膜沉积、妨碍刻蚀或损害芯片性能，从而直接导致芯片制造良率（一块晶圆片上符合要求的芯片比例）的下降。而

2、不规则的杂质可能来自于基板材料、制造设备、工作人员、洁净室空气以及制造过程中的任何一道工序。因此，几乎每道工序都涉及到清洗。而且集成电路的集成度愈高，所需要的清洗工艺也越多。该半导体清洗设备项目计划总投资12474.97万元，其中：固定资产投资10038.58万元，占项目总投资的80.47%；流动资金2436.39万元，占项目总投资的19.53%。达产年营业收入18814.00万元，总成本费用14635.62万元，税金及附加215.18万元，利润总额4178.38万元，利税总额4969.89万元，税后净利润3133.78万元，达产年纳税总额1836.11万元；达产年投资利润率33.49%，投资

3、利税率39.84%，投资回报率25.12%，全部投资回收期5.48年，提供就业职位307个。本报告是基于可信的公开资料或报告编制人员实地调查获取的素材撰写，根据产业结构调整指导目录（2011年本）（2013年修正）的要求，依照“科学、客观”的原则，以国内外项目产品的市场需求为前提，大量收集相关行业准入条件和前沿技术等重要信息，全面预测其发展趋势；按照建设项目经济评价方法与参数（第三版）的具体要求，主要从技术、经济、工程方案、环境保护、安全卫生和节能及清洁生产等方面进行充分的论证和可行性分析，对项目建成后可能取得的经济效益、社会效益进行科学预测，从而提出投资项目是否值得投资和如何进行建设的咨询意

4、见，因此，该报告是一份较为完整的为项目决策及审批提供科学依据的综合性分析报告。报告主要内容：项目承担单位基本情况、项目技术工艺特点及优势、项目建设主要内容和规模、项目建设地点、工程方案、产品工艺路线与技术特点、设备选型、总平面布置与运输、环境保护、职业安全卫生、消防与节能、项目实施进度、项目投资与资金来源、财务评价等。第一章 项目承办单位基本情况一、公司概况通过持续快速发展，公司经济规模和综合实力不断增长，企业贡献力和影响力大幅提升。 本公司集研发、生产、销售为一体。公司拥有雄厚的技术力量，先进的生产设备以及完善、科学的管理体系。面对科技高速发展的二十一世纪，本公司不断创新，勇于开拓，以优质的

5、产品、广泛的营销网络、优良的售后服务赢得了市场。产品不仅畅销国内，还出口全球几十个国家和地区，深受国内外用户的一致好评。公司致力于一个符合现代企业制度要求，具有全球化、市场化竞争力的新型一流企业。公司是跨文化的组织，尊重不同文化和信仰，将诚信、平等、公平、和谐理念普及于企业并延伸至价值链；公司致力于制造和采购在技术、质量和按时交货上均能满足客户高标准要求的产品，并使用现代仓储和物流技术为客户提供配送及售后服务。公司是一家集研发、生产、销售为一体的高新技术企业，专注于产品，致力于产品的设计与开发，各种生产流水线工艺的自动化智能化改造，为客户设计开发各种产品生产线。公司始终秉承“集领先智造，创美好

6、未来”的企业使命，发展先进制造，不断提升自主研发与生产工艺的核心技术能力，贴近客户需求，助力中国智造，持续为社会提供先进科技，覆盖上下游业务领域的行业综合服务商。公司自设立以来，组建了一批经验丰富、能力优秀的管理团队。管理团队人员对行业有着深刻的认识，能够敏锐地把握行业内的发展趋势，抓住业务拓展机会，对公司未来发展有着科学的规划。相关管理人员利用自己在行业内深耕积累的经验优势，为公司未来业绩发展提供了有力保障。 二、所属行业基本情况在芯片制造过程中，不规则的杂质例如颗粒污染物、残留化学物质或其他污染物会扭曲光刻过程中的图案、阻碍薄膜沉积、妨碍刻蚀或损害芯片性能，从而直接导致芯片制造良率（一块晶

7、圆片上符合要求的芯片比例）的下降。而不规则的杂质可能来自于基板材料、制造设备、工作人员、洁净室空气以及制造过程中的任何一道工序。因此，几乎每道工序都涉及到清洗。而且集成电路的集成度愈高，所需要的清洗工艺也越多。三、公司经济效益分析上一年度，xxx有限责任公司实现营业收入12632.48万元，同比增长24.65%（2498.34万元）。其中，主营业业务半导体清洗设备生产及销售收入为11705.22万元，占营业总收入的92.66%。上年度主要经济指标序号项目第一季度第二季度第三季度第四季度合计1营业收入2652.823537.093284.443158.1212632.482主营业务收入2458.

8、103277.463043.362926.3011705.222.1半导体清洗设备(A)811.171081.561004.31965.683862.722.2半导体清洗设备(B)565.36753.82699.97673.052692.202.3半导体清洗设备(C)417.88557.17517.37497.471989.892.4半导体清洗设备(D)294.97393.30365.20351.161404.632.5半导体清洗设备(E)196.65262.20243.47234.10936.422.6半导体清洗设备(F)122.90163.87152.17146.32585.262.7半导

9、体清洗设备(.)49.1665.5560.8758.53234.103其他业务收入194.72259.63241.09231.82927.26根据初步统计测算，公司实现利润总额2940.80万元，较去年同期相比增长356.40万元，增长率13.79%；实现净利润2205.60万元，较去年同期相比增长417.63万元，增长率23.36%。上年度主要经济指标项目单位指标完成营业收入万元12632.48完成主营业务收入万元11705.22主营业务收入占比92.66%营业收入增长率（同比）24.65%营业收入增长量（同比）万元2498.34利润总额万元2940.80利润总额增长率13.79%利润总额增

10、长量万元356.40净利润万元2205.60净利润增长率23.36%净利润增长量万元417.63投资利润率36.84%投资回报率27.63%财务内部收益率20.07%企业总资产万元22464.34流动资产总额占比万元36.76%流动资产总额万元8257.00资产负债率28.19%第二章 项目技术工艺特点及优势一、技术方案（一）技术方案选用方向1、对于生产技术方案的选用，遵循“自动控制、安全可靠、运行稳定、节省投资、综合利用资源”的原则，选用当前较先进的集散型控制系统，由计算机统一控制整个生产线的各项工艺参数，使产品质量稳定在高水平上，同时可降低物料的消耗。严格按行业规范要求组织生产经营活动，有

11、效控制产品质量，为广大顾客提供优质的产品和良好的服务。2、遵循“高起点、优质量、专业化、经济规模”的建设原则。积极采用新技术、新工艺和高效率专用设备，使用高质量的原辅材料，稳定和提高产品质量，制造高附加值的产品，不断提高企业的市场竞争能力。3、在工艺设备的配置上，依据节能的原则，选用新型节能型设备，根据有利于环境保护的原则，优先选用环境保护型设备，满足项目所制订的产品方案要求，优选具有国际先进水平的生产、试验及配套等设备，充分显现龙头企业专业化水平，选择高效、合理的生产和物流方式。4、生产工艺设计要满足规模化生产要求，注重生产工艺的总体设计，工艺布局采用最佳物流模式，最有效的仓储模式，最短的物

12、流过程，最便捷的物资流向。5、根据该项目的产品方案，所选用的工艺流程能够满足产品制造的要求，同时，加强员工技术培训，严格质量管理，按照工艺流程技术要求进行操作，提高产品合格率，努力追求产品的“零缺陷”，以关键生产工序为质量控制点，确保该项目产品质量。6、在项目建设和实施过程中，认真贯彻执行环境保护和安全生产的“三同时”原则，注重环境保护、职业安全卫生、消防及节能等法律法规和各项措施的贯彻落实。（三）工艺技术方案选用原则1、在基础设施建设和工业生产过程中，应全面实施清洁生产，尽可能降低总的物耗、水耗和能源消费，通过物料替代、工艺革新、减少有毒有害物质的使用和排放，在建筑材料、能源使用、产品和服务

13、过程中，鼓励利用可再生资源和可重复利用资源。2、遵循“高起点、优质量、专业化、经济规模”的建设原则，积极采用新技术、新工艺和高效率专用设备，使用高质量的原辅材料，稳定和提高产品质量，制造高附加值的产品，不断提高企业的市场竞争力。（四）工艺技术方案要求1、对于生产技术方案的选用，遵循“自动控制、安全可靠、运行稳定、节省投资、综合利用资源”的原则，选用当前较先进的集散型控制系统，控制整个生产线的各项工艺参数，使产品质量稳定在高水平上，同时可降低物料的消耗；严格按照电气机械和器材制造行业规范要求组织生产经营活动，有效控制产品质量，为广大顾客提供优质的产品和良好的服务。2、建立完善柔性生产模式；本期工

14、程项目产品具有客户需求多样化、产品个性差异化的特点，因此，产品规格品种多样，单批生产数量较小，多品种、小批量的制造特点直接影响生产效率、生产成本及交付周期；益而益（集团）有限公司将建设先进的柔性制造生产线，并将柔性制造技术广泛应用到产品制造各个环节，可以在照顾到客户个性化要求的同时不牺牲生产规模优势和质量控制水平，同时，降低故障率、提高性价比，使产品性能和质量达到国内领先、国际先进水平。二、项目工艺技术设计方案（一）技术来源及先进性说明项目技术来源为公司的自有技术，该技术达到国内先进水平。（二）项目技术优势分析本期工程项目采用国内先进的技术，该技术具有资金占用少、生产效率高、资源消耗低、劳动强

15、度小的特点，其技术特性属于技术密集型，该技术具备以下优势：1、技术含量和自动化水平较高，处于国内先进水平，在产品质量水平上相对其他生产技术性能费用比优越，结构合理、占地面积小、功能齐全、运行费用低、使用寿命长；在工艺水平上该技术能够保证产品质量高稳定性、提高资源利用率和节能降耗水平；根据初步测算，利用该技术生产产品，可提高原料利用率和用电效率，在装备水平上，该技术使用的设备自动控制程度和性能可靠性相对较高。2、本期工程项目采用的技术与国内资源条件适应，具有良好的技术适应性；该技术工艺路线可以适应国内主要原材料特性，技术工艺路线简洁，有利于流程控制和设备操作，工艺技术已经被国内生产实践检验，证明

16、技术成熟，技术支援条件良好，具有较强的可靠性。3、技术设备投资和产品生产成本低，具有较强的经济合理性；本期工程项目采用本技术方案建设其主要设备多数可按通用标准在国内采购。4、节能设施先进并可进行多规格产品转换，项目运行成本较低，应变市场能力很强。第三章 背景及必要性一、半导体清洗设备项目背景分析在芯片制造过程中，不规则的杂质例如颗粒污染物、残留化学物质或其他污染物会扭曲光刻过程中的图案、阻碍薄膜沉积、妨碍刻蚀或损害芯片性能，从而直接导致芯片制造良率（一块晶圆片上符合要求的芯片比例）的下降。而不规则的杂质可能来自于基板材料、制造设备、工作人员、洁净室空气以及制造过程中的任何一道工序。因此，几乎每

17、道工序都涉及到清洗。而且集成电路的集成度愈高，所需要的清洗工艺也越多。清洗工艺旨在去除芯片制造中上一道工序所遗留的超微细颗粒污染物、金属残留、有机物残留物，去除光阻掩膜或残留，也可根据需要进行硅氧化膜、氮化硅或金属等薄膜材料的湿法腐蚀，为下一步工序准备好最佳的表面条件。目前主要有两种基本的清洗工艺。湿法工艺是使用各种化学药液与晶圆表面各种杂质粒子发生化学反应，生成溶于水的物质，再用高纯水冲洗，依次去除晶圆表面各种杂质。干法工艺是不采用溶液的清洗技术，通过等离子清洗技术、汽相清洗技术或束流清洗技术来去除晶圆表面的杂质。湿法工艺在达到晶圆表面的洁净度和平滑度方面通常优于干法工艺，并且是目前单晶圆清

18、洗使用的标准工艺，应用于晶圆制造过程中90%以上的清洗步骤。湿法腐蚀速率，腐蚀均匀性，晶圆正、反面交叉污染的控制，清洗效率等都是至关重要的工艺要素。随着半导体芯片工艺技术节点进入28纳米、14纳米等更先进等级，工艺流程的延长且越趋复杂，产线成品率也会随之下降。造成这种现象的一个原因就是先进制程对杂质的敏感度更高，小尺寸污染物的高效清洗更困难。解决的方法主要是增加清洗步骤。每个晶片在整个制造过程中需要甚至超过200道清洗步骤，晶圆清洗变得更加复杂、重要及富有挑战性。目前的清洗设备主要可以分为单晶圆清洗设备和槽式清洗机。槽式清洗机用于批量处理晶圆。通过RCA清洗方法，大量使用NH4OH，HCL，H

19、2O2，H2O等试剂，并且添加表面活性剂和HF,再引入超声波清洗和兆声清洗，达到清洗的目的。单晶圆清洗设备可以针对单个晶圆的清洗进行条件优化，采用单片旋转清洗法，通过浸没喷洒的方式将化学试剂和水不断供应到晶圆表面。近年来，全球半导球市场保持快速增长势头，从2013年到2018年，全球半导体市场规模从3056亿美元迅速提升至4688亿美元，年均复合增长率达到8.93%。2019年全球半导体市场规模受存储器价格滑坡同比下降12.8%到4089.88亿美元。2014到2019年集成电路销售额复合增速已达到21.31%。尤其是在2019年全球半导体市场销售额4121亿美元，同比下降了12.1%的不利情

20、况下。中国2019年中国集成电路产业销售额为7562.3亿元，同比增长15.8%。在国家政策扶持以及市场应用带动下，国内集成电路产业保持快速增长，但增速有所放缓。虽然我国集成电路市场规模增速较快，但主要还是依赖进口。2019年中国集成电路进口金额3040亿美元，同比下降-2.2%。中国集成电路出口金额1015亿美元，同比增长20.1%。整体贸易逆差收窄到2025亿美元，同比下降10.94%，但仍旧约是出口金额的2倍。近几年虽然我国集成电路出口金额随着进口金额增长而同步增加，但整体贸易逆差仍旧非常巨大。预计2018年、2019年清洗设备的市场需求分别为7.7亿美元和12.4亿美元，国内清洗设备需

21、求两年累计超过120亿元，市场空间巨大。随着工艺节点的升级以及良率要求提高，清洗设备用量需求将持续增加。清洗设备未来几年复合增长率达6.8%，预计2020年就将达到35-40亿美元，是200亿人民币级别的大市场。2020年以后，随着部分拟建产线进入投资阶段，清洗设备的市场需求将会持续增长。目前全球半导体清洗设备市场主要被国外公司垄断，全球的清洗设备市场基本由国外的几家巨头把控。日本公司Screen占据了60%的市场份额，占据着主导地位。日本公司TokyoElectron占据了30%的市场份额，韩国公司SEMES、美国公司LAMResearch等其它公司占据了10%的市场份额。二、鼓励中小企业发

22、展从经济的贡献看，截至2017年底，我国民营企业的数量超过2700万家，个体工商户超过了6500万户，注册资本超过165万亿元，民营经济占GDP的比重超过了60%，撑起了我国经济的“半壁江山”。作为中国经济最具活力的部分，民营经济未来将继续稳步发展壮大，为促进我国经济社会持续健康发展发挥更大作用。加强对“专精特新”中小企业的培育和支持，引导中小企业专注核心业务，提高专业化生产、服务和协作配套的能力，为大企业、大项目和产业链提供零部件、元器件、配套产品和配套服务，走“专精特新”发展之路，发展一批专业化“小巨人”企业，不断提高专业化“小巨人”企业的数量和比重，有助于带动和促进中小企业走专业化发展之

23、路，提高中小企业的整体素质和发展水平，增强核心竞争力。中小企业发展，既是改革开放的重要成果，也是改革开放的重要力量。量大面广、机制灵活的中小企业参与竞争，形成了充满活力的市场环境，为充分发挥市场在配置资源中的基础性作用创造了条件。中小企业贴近市场，活跃在市场竞争最激烈的领域，与市场有着本质的联系，是构建市场经济体制的微观基础，它的发展为社会主义市场经济创造了多元竞争、充满活力的环境。实践证明，中小企业发展好的地区，往往也是人民生活较为富裕的地区，也是率先实现小康的地区。发展中小企业，使广大人民群众从发展中得到实惠，过上更加富裕的生活，有利于促进社会的和谐安定。“十三五”时期，中小企业发展面临挑

24、战的同时，也面临着重大机遇。随着改革的深化，新型工业化、城镇化、信息化、农业现代化的推进，以及“大众创业、万众创新”、中国制造2025、“互联网+”、“一带一路”等重大战略举措的加速实施，中小企业发展基本面向好的势头更加巩固。通过深化商事制度改革，推进行政审批、投资审批、财税、金融等方面的改革，中小企业发展的市场环境、政策环境和服务环境将更加优化。以互联网为核心的信息技术与各行各业深度融合，日益增长的个性化、多样化需求，不断催生新产品、新业态、新市场和新模式，为中小企业提供广阔的创新发展空间。要激发中小企业创业创新活力，就是要鼓励创办小企业，开发新岗位，以创业促就业，力争使中小企业数量持续增加

25、，向社会提供更多的就业机会和岗位。要最大限度减少对微观事物的管理，市场机制能有效调节的经济活动一律取消审批，对保留的行政审批事项规范管理、提高效率；直接面对基层、量大面广、属于能交由市场解决或交由地方管理更方便有效的经济社会事项，一律下放地方和基层管理。同时，注重放管结合，切实防止审批事项边减边增、明减暗增现象发生。进一步加大商事制度改革的政策宣传。尽快建立与商事制度改革相配套的后续市场监管体系，加强部门间的沟通衔接，明确监管责任，规范监管行为。三、宏观经济形势分析从市场空间看，我国有13亿多人口的大市场，中等收入群体稳步扩大，迫切需要深化供给侧结构性改革，满足新出现的大量消费升级需求；城乡区

26、域发展不平衡蕴藏可观发展空间，具有巨大的发展韧性、潜力和回旋余地。从发展条件看，经过新中国成立以来特别是改革开放40年的发展，我国积累了雄厚的物质基础，拥有全球最完整的产业体系、不断增强的科技创新能力、丰富的人力资源和土地资源、较高水平的总储蓄率，经济发展具有坚实支撑。第四章 项目建设主要内容和规模（一）用地规模该项目总征地面积36504.91平方米（折合约54.73亩），其中：净用地面积36504.91平方米（红线范围折合约54.73亩）。项目规划总建筑面积44535.99平方米，其中：规划建设主体工程27214.25平方米，计容建筑面积44535.99平方米；预计建筑工程投资3191.23

27、万元。（二）设备购置项目计划购置设备共计151台（套），设备购置费3841.93万元。二、产值规模项目计划总投资12474.97万元；预计年实现营业收入18814.00万元。第五章 项目建设地点一、半导体清洗设备项目建设选址原则为了更好地发挥其经济效益并综合考虑环境等多方面的因素，根据半导体清洗设备项目选址的一般原则和半导体清洗设备项目建设地的实际情况，“半导体清洗设备项目”选址应遵循以下原则：1、布局相对独立，便于集中开展科研、生产经营和管理活动。2、与半导体清洗设备项目建设地的建成区有较方便的联系。3、地理条件较好，并有足够的发展潜力。4、城市基础设施等配套较为完善。5、以城市总体规划为依

28、据，统筹考虑用地与城市发展的关系。6、兼顾环境因素影响，具有可持续发展的条件。二、半导体清洗设备项目选址方案及土地权属（一）半导体清洗设备项目选址方案1、半导体清洗设备项目建设单位通过对半导体清洗设备项目拟建场地缜密调研，充分考虑了半导体清洗设备项目生产所需的内部和外部条件：距原料产地的远近、企业劳动力成本、生产成本以及拟建区域产业配套情况、基础设施条件及土地成本等。2、通过对可供选择的建设地区进行比选，综合考虑后选定的半导体清洗设备项目最佳建设地点半导体清洗设备项目建设地，所选区域完善的基础设施和配套的生活设施为半导体清洗设备项目建设提供了良好的投资环境。（二）工程地质条件1、根据建筑抗震设

29、计规范（GB50011）标准要求，半导体清洗设备项目建设地无活动断裂性通过，无液化土层及可能震陷的土层分布，地层均匀性密实较好，因此，本期工程半导体清洗设备项目建设区处于地质构造运动相对良好的地带，地下水为上层滞水，对混凝土无腐蚀性，各土层分布稳定、均匀而适宜建筑。2、拟建场地目前尚未进行地质勘探，参考临近建筑物的地质资料，地基土层由第四系全新统（Q4）杂填土、粉质粘土、淤泥质粉土、圆砾卵石层组成，圆砾卵石作为建筑物的持力层，Pk=300.00Kpa；建设区域地质抗风化能力较强，地层承载力高，工程地质条件较好，不会受到滑坡及泥石流等次生灾害的影响，无不良地质现象，地壳处于稳定状态，场地地貌简单

30、适应本期工程半导体清洗设备项目建设。三、半导体清洗设备项目用地总体要求（一）半导体清洗设备项目用地控制指标分析1、“半导体清洗设备项目”均按照项目建设地建设用地规划许可证及建设用地规划设计要求进行设计，同时，严格按照建设规划部门与国土资源管理部门提供的界址点坐标及用地方案图布置场区总平面图。2、建设半导体清洗设备项目平面布置符合轻工产品制造行业、重点产品的厂房建设和单位面积产能设计规定标准，达到工业半导体清洗设备项目建设用地控制指标（国土资发【2008】24号）文件规定的具体要求。（二）半导体清洗设备项目建设条件比选方案1、半导体清洗设备项目建设单位通过对可供选择的建设地区进行缜密比选后，充分

31、考虑了半导体清洗设备项目拟建区域的交通条件、土地取得成本及职工交通便利条件，半导体清洗设备项目经营期所需的内外部条件：距原料产地的远近、企业劳动力成本、生产成本以及拟建区域产业配套情况、基础设施条件等，通过建设条件比选最终选定的半导体清洗设备项目最佳建设地点半导体清洗设备项目建设地，本期工程半导体清洗设备项目建设区域供电、供水、道路、照明、供汽、供气、通讯网络、施工环境等条件均较好，可保证半导体清洗设备项目的建设和正常经营，所选区域完善的基础设施和配套的生活设施为半导体清洗设备项目建设提供了良好的投资环境。2、由半导体清洗设备项目建设单位承办的“半导体清洗设备项目”，拟选址在半导体清洗设备项目

32、建设地，所选区域土地资源充裕，而且地理位置优越、地形平坦、土地平整、交通运输条件便利、配套设施齐全，符合半导体清洗设备项目选址要求。（三）半导体清洗设备项目用地总体规划方案本期工程项目建设规划建筑系数70.99%，建筑容积率1.22，建设区域绿化覆盖率5.24%，固定资产投资强度183.42万元/亩。（四）半导体清洗设备项目节约用地措施1、土地既是人类赖以生存的物质基础，也是社会经济可持续发展必不可少的条件，因此，半导体清洗设备项目建设单位在利用土地资源时，严格执行国家有关行业规定的用地指标，根据建设内容、规模和建设方案，按照国家有关节约土地资源要求，合理利用土地。2、在半导体清洗设备项目建设

33、过程中，半导体清洗设备项目建设单位根据总体规划以及项目建设地期对本期工程半导体清洗设备项目地块的控制性指标，本着“经济适宜、综合利用”的原则进行科学规划、合理布局，最大限度地提高土地综合利用率。第六章 工程方案一、工程设计条件半导体清洗设备项目建设地属于建设用地，其地形地貌类型简单，岩土工程地质条件优良，水文地质条件良好，适宜本期工程半导体清洗设备项目建设。二、建筑设计规范和标准1、砌体结构设计规范（GB50003-2001）。2、建筑地基基础设计规范（GB50007-2002）。3、建筑结构荷载规范（GB50009-2001）。三、主要材料选用标准要求（一）混凝土要求根据混凝土结构耐久性设计

34、规范（GB/T50476）之规定，确定构筑物结构构件最低混凝土强度等级，基础混凝土结构的环境类别为一类，本工程上部主体结构采用C30混凝土，上部结构构造柱、圈梁、过梁、基础采用C25混凝土，设备基础混凝土强度等级采用C30级，基础混凝土垫层为C15级，基础垫层混凝土为C15级。（二）钢筋及建筑构件选用标准要求1、本工程建筑用钢筋采用国家标准热轧钢筋：基础受力主筋均采用HRB400，箍筋及其他次要构件为HPB300。2、HPB300级钢筋选用E43系列焊条，HRB400级钢筋选用E50系列焊条。四、土建工程建设指标本期工程项目预计总建筑面积44535.99平方米，其中：计容建筑面积44535.9

35、9平方米，计划建筑工程投资3191.23万元，占项目总投资的25.58%。第七章 设备选型分析一、设备选型（一）设备选型的原则1、选用的设备必须有较高的生产效率，能降低劳动强度，满足生产规模的要求，2、为满足产品生产的质量要求，关键设备为知名厂家生产的品牌产品，3、按经济规律办事，讲求投资经济效益，在充分考虑设备的先进性和适用性的同时，综合考虑各设备的性价比和寿命年限。（二）设备选型方向1、以“比质、比价、比先进”为原则。选择设备时，要着眼高起点、高水平、高质量，最大限度地保证产品质量的需要，不断提高产品生产过程中的自动化程度，降低劳动强度提高劳动生产率，节约能源降低生产成本和检测成本。2、主

36、要设备的配置应与产品的生产技术工艺及生产规模相适应，同时应具备“先进、适用、经济、配套、平衡”的特性，能够达到节能和清洁生产的各项要求。该项目所选设备必须技术先进、性能可靠，达到目前国内外先进水平，经生产厂家使用证明运转稳定可靠，能够满足生产高质量产品的要求。3、设备性能价格比合理，使投资方能够以合理的投资获得生产高质量产品的生产设备。对生产设备进行合理配置，充分发挥各类设备的最佳技术水平。在满足生产工艺要求的前提下，力求经济合理。充分考虑设备的正常运转费用，以保证在生产本行业相同产品时，能够保持最低的生产成本。4、以甄选优质供应商为原则。选择设备交货期应满足工程进度的需要，售后服务好、安装调

37、试及时、可靠并能及时提供备品备件的设备生产厂家。根据生产经验和技术力量，该项目主要工艺设备及仪器基本上采用国产设备，选用生产设备厂家具有国内一流技术装备，企业管理科学达到国际认证标准要求。（三）设备配置方案该项目的生产及检测设备以工艺需要为依据，满足工艺要求为原则，并尽量体现其技术先进性、生产安全性和经济合理性，以及达到或超过国家相关的节能和环保要求。先进的生产技术和装备是保证产品质量的关键。因此，关键工艺设备必须选择国内外著名生产厂商的产品，并且在保证产品质量的前提下，优先选用国产的名牌节能环保型产品。根据生产规模和生产工艺的要求，本着“先进、合理、科学、节能、高效”的原则，该项目对比考察了

38、多个生产设备制造企业，优选了产品生产专用设备和检测仪器等国内先进的环保节能型设备，确保该项目生产及产品检验的需要。项目计划购置设备共计151台（套），设备购置费3841.93万元。第八章 节能分析一、节能概述相对而言，“十三五”时期节能减排技术进步的要求会更高，技术突破的难度会更大，因此企业要在这方面下更大的功夫。首先，要突破一批节能减排的关键性技术。作为行业排头兵的大企业要加大研发绿色低碳技术的投入力度，积极开展技术攻关，着力解决制约节能减排的一些技术瓶颈问题，力争在高效聚污、高效节能、高效储能、资源回收和循环利用、低成本减排技术等共性、关键技术方面取得重大突破，确保形成一批整体带动性强、对

39、资源开发和可持续发展具有战略意义的自主知识产权和关键核心技术。其次，要进一步加强现有生产环节与设备的技术改造。二、节能法规及标准（一）节能法律及法规1、中华人民共和国节约能源法2、中华人民共和国可再生能源法3、中华人民共和国电力法4、中华人民共和国建筑法5、中华人民共和国清洁生产促进法6、中华人民共和国计量法（二）节能标准依据1、工业企业能源管理导则（GB/T15587-2008）2、综合能耗计算通则（GB/T2589-2008）3、评价企业合理用电技术导则（GB/T3485-1998）4、评价企业合理用热技术导则（GB/T3486-1993）5、用能单位能源计量器具配备和管理通则（GB171

40、67-2006）6、企业能源审计技术通则（GB/T17166-1997）7、企业节能量计算方法（GB/T13234-2009）三、项目所在地能源消费及能源供应条件1、供水条件：本期工程项目供水由xxx新兴产业示范基地自来水管网供应，能够保证项目用水需要。2、供电条件：本期工程项目电源由xxx新兴产业示范基地变配（供）电系统供应，可满足项目用电需要。四、能源消费种类和数量分析（一）项目用电量测算1、本期工程项目电力消耗主要包括生产用电及照明辅助用电，生产用电主要包括生产设备用电和公用辅助工程设备用电。605607.14千瓦时，折合74.43标准煤。2、本期工程项目用电量由生产设备电耗、公用辅助设

41、备电耗、工业照明电耗以及变压器及线路损耗构成，根据项目生产工艺用电和办公及生活用电情况测算该项目全年用电量605607.14千瓦时，折合74.43标准煤。（二）项目用水量测算1、项目建设规划区现有给、排水系统设施完备可以满足使用要求。2、项目实施后总用水量12721.86立方米/年，折合1.09吨标准煤。二、项目预期节能综合评价项目位于xxx新兴产业示范基地，项目建成后年消耗能源总量折合标煤75.52吨，节能量折合标煤21.30吨，节能率23.69%。第九章 总平面布置与运输一、总图布置方案（一）平面布置总体设计原则同时考虑用地少、施工费用节约等要求，沿围墙、路边和可利用场地种植花卉、树木、草

42、坪及常绿植物，改善和美化生产环境。根据项目承办单位发展趋势，综合考虑工艺、土建、公用等各种技术因素，做到总图合理布置，达到“规划投资省、建设工期短、生产成本低、土地综合利用率高”的效果。（二）主要工程布置设计要求项目承办单位项目建设场区道路网呈环形布置，方便生产、生活、运输组织及消防要求，所有道路均采用水泥混凝土路面，其坡路及弯道等均按国家现行有关规范设计。项目承办单位在工艺流程、技术参数和主要设备选择确定以后，根据设备的外形、前后位置、上下位差以及各种物料输入（出）、操作等规划统一设计，选择并确定车间布置方案。场区道路布置满足安装、检修、运输和消防的要求，使货物运输顺畅，合理分散物流和人流，

43、尽量避免或减少交叉，使主要人流、物流路线短捷、运输安全。（三）绿化设计场区绿化设计要达到“营造严谨开放的交流环境，催人奋进的工作环境，舒适宜人的休闲环境，和谐统一的生态环境”之目的。投资项目绿化的重点是场区周边、办公区及主要道路两侧的空地，美化的重点是办公区，场区周边以高大乔木为主，办公区以绿色草坪、花坛为主，道路两侧以观赏树木、绿篱、草坪为主，适当结合花坛和垂直绿化，起到环境保护与美观的作用，创造一个“环境优美、统一协调”的建筑空间。（四）辅助工程设计1、项目所在地供水水源来自项目建设地自来水厂，给水压力0.30Mpa，供水能力充足，水质符合国家现行的生活饮用水卫生标准。2、项目建设区域位于

44、项目建设地，场区水源为市政自来水管网，水源充裕水质良好，符合国家卫生要求，场区给水系统采用生产、生活、消防合一给水系统。投资项目水源来自场界外的项目建设地市政供水管网，项目建设区现有给、排水系统设施完备可以满足投资项目使用要求。项目用水由项目建设地市政管网给水干管统一提供，供水管网水压大于0.40Mpa可以满足项目用水需求；进厂总管径选用DN300?L，各车间分管选用DN50?L-DN100?L，给水管道在场区内形成完善的环状给水管网，各单体用水从场区环网上分别接出支管，以满足各单体的生产、生活、消防用水的需要；室外给水主管道采用PP-R给水管，消防管道采用热镀锌钢管。3、项目承办单位采用高压

45、计度方式结算电费，低压回路装有电度表，便于各车间成本核算；在10KV电源进线处设置电能总计量；每路10KV出线柜均装设有功电度表和无功电度表。按国家有关规范进行防雷接地系统设计，并尽量利用建筑物屋面、柱内、圈梁及基础内主钢筋做防雷与接地设施；生产线接地保护采用TN-C-S接地系统；场区按类建筑物考虑防雷设施，采用沿四周山墙设置避雷带，变压器中性点接地，接地电阻小于4.00欧姆。4、项目承办单位设计提供监控系统的基本要求和配置；选用系统设备时，各配套设备的性能及技术要求应协调一致，系统配置的详细清单及安装、辅助材料待确定系统成套供货商后，按技术要求由成套厂商提供；系统应由资信地位可靠、具有相关资

46、质、有一定业绩、服务良好、具有现场安装调试、开车运行经验、能做到“交钥匙”工程的成套厂商配套供货，并应对项目承办单位操作人员进行相关的技术培训。主体工程采用机械通风方式进行通风换气；送风系统利用空气处理机组，空气处理机组置于车间平台上，室外空气经初、中效过滤后经风机及通风管道送至车间各生产区，排风系统可采用屋顶风机和局部机械排风系统，车间换气次数为5.00次/小时。数据通信：数据传输通道主要采用中国电信ADSL构建VPN虚拟专用通信网，可同时解决场区数据、IP数据及计算机上网需求；也可采用GPRS数据传输通信，投资项目数据利用中国电信ADSL构建VPN虚拟专用通信网，上传至项目承办单位调度中心

47、。二、运输组成（一）运输组成总体设计1、项目建设规划区内部和外部运输做到物料流向合理，场内部和外部运输、接卸、贮存形成完整的、连续的工作系统，尽量使场内、外的运输与车间内部运输密切结合统一考虑。2、外部运输和内部运输可采用送货制；采用合适的运输方式和运输路线，使企业的物流组成达到合理优化；把企业的组成内部从原材料输入、产品外运以及车间与车间、车间与仓库、车间内部各工序之间的物料流动都作为整体系统进行物流系统设计，使全场物料运输形成有机的整体。（二）场内运输1、场内运输系统的设计要注意物料支撑状态的选择，尽量做到物料不落地，使之有利于搬运；运输线路的布置，应尽量减少货流与人流相交叉，以保证运输的

48、安全。2、场内运输主要为原材料的卸车进库；生产过程中原材料、半成品和成品的转运，以及成品的装车外运；场内运输由装载机、叉车及胶轮车承担，其费用记入主车间设备配套费中，本期工程项目资源配置可满足场内运输的需求。（三）场外运输1、场外运输主要为原材料的供给以及产品的外运；产品的远距离运输由汽车或铁路运输解决，区域内社会运输力量充足，可满足本期工程项目场外远距离运输的需求。2、短距离的运输任务将利用社会运力解决，基本可以满足各类运输需求，因此，本期工程项目不考虑增加汽车运输设备。3、外部运输应尽量依托社会运输力量，从而减少固定资产投资；主要产成品、大宗原材料的运输，应避免多次倒运，从而降低运输成本且

49、提高运输效率。4、该项目所涉及的原辅材料的运入，成品的运出所需运输车辆，全部依托社会运输能力解决。（四）运输方式由于需要考虑半导体清洗设备产品所涉及的原辅材料和成品的运输，运输需求量较大，初步考虑铁路运输与公路运输方式相结合的运输方式。第十章 环境保护、职业安全卫生加快建设覆盖工业产品全生命周期资源消耗、能源消耗、污染物及温室气体排放、人体健康影响等要素的生态影响基础数据库。推动建设包括绿色材料库、设备资源库、绿色工艺库、零件信息库等在内的绿色生产基础数据库和产值数据库。支持钢铁、有色、造纸、印染、电子信息等重点行业建设行业绿色制造生产过程物质流和能量流数据库。建立绿色产品可追溯信息系统，提高

50、绿色产品物流信息化和供应链协同水平。研究制定数据标准和采集方法，完善数据计量、信息收集、监测分析保障体系，开发企业生产数据与数据库公共服务平台对接的软件系统。推进绿色发展、建设美丽城市，要着力构建新型城乡体系，建设美丽家园。要优化城市设计，优化建设用地结构，增加生活与生态用地比例；要加快建设美丽城镇，推广绿色建筑，发展绿色交通，完善市政设施，传承历史文脉；要深入实践“五大行动”，围绕“业兴、家富、人和、村美”目标，加快建设幸福美丽乡村。一、建设区域环境质量现状二、建设期环境保护（一）建设期大气环境影响防治对策土建建筑施工应首选使用商品混凝土，因需要必须进行现场搅拌砂浆、混凝土时，应在临时工棚内

51、进行，加水泥时尽量靠近搅拌机料口，加料速度宜缓慢，应尽量做到不洒、不漏、不剩不倒，搅拌时要有喷雾降尘措施。（二）建设期噪声环境影响防治对策（三）建设期水环境影响防治对策（四）建设期固体废弃物环境影响防治对策施工单位在开工前，应当与当地环境卫生行政主管部门签订环境卫生责任书，对施工过程中产生的渣土和各类建筑垃圾应当及时清理，保持施工现场整洁；在建设期间，应认真核实土石方量避免多余弃土，多余废弃物和弃土必须及时清运，以免影响周围环境。随着主体工程、道路的陆续建成，场区内不渗漏的地面增加，从而提高了暴雨地表径流量，缩短了径流时间，水道系统在暴雨条件下将有可能改变原来的排泄方式，排出的暴雨雨水将增加接

52、受水体的污染负荷，因此，建设期的水土流失问题必须采取必要的措施加以控制。（五）建设期生态环境保护措施水土流失影响：在工程建设过程中，将造成大面积的地表裸露，导致不同程度的土壤侵蚀，出现水土流失现象，从而对地表植被、水体、土壤结构等产生潜在危害；这种土壤侵蚀、水土流失现象在夏季会变得更为突出；随着项目的建设，天然植被将有所破坏，因此，在建设后期应及时绿化，对破坏的植被进行修复，实现部分生态环境补偿。三、运营期环境保护（一）运营期废水影响分析及防治对策为了充分利用各种水质的水，提高水的重复利用率，投资项目运营期的废水治理及利用以“清污分流”、“梯级利用”的原则进行设计。将不同水质的水分开设置，而且

53、，场区排水系统划分为生产排水、生活排水、清净下水和事故水等管道排放系统。（二）运营期废气影响分析及防治对策危险废弃物治理措施，包括：废弃矿物油、含油废布或手套等，场区暂存后送至危险固体废弃物处置中心进行合理处置。经过回收装置的处理，对外排出的废气已不会造成环境影响，达到车间空气中有害物质的最高容许浓度（TJ36）的标准要求；通过强力换气装置及强力排风系统处理后高空达标排放，符合大气污染物综合排放标准（GB16297）标准中级要求限值。（三）运营期噪声影响分析及防治对策采取声源与外界隔开的方式降噪，减少噪声对环境的污染，使风机和水泵的噪声减少到65.00dB（A）以下；对场区的空地进行绿化，可以

54、进一步减低环境噪声。四、项目建设对区域经济的影响要完成国民经济“十三五”及2020年远景规划，项目建设地必须加强工业载体的建设，优化工业产业布局，增强项目落户的承载力，发挥和创造好区位优势，加大招商引资力度，明确产业发展定位，增强产业聚集效应，培育特色产业群，形成规模效应，做强做大工业经济总量，才能促进工业经济持续、健康、快速发展。项目建设地的建设将是区域经济合作的大好时机，随着项目建设地的交通条件和城市基础设施的不断改善以及工业发展的硬件和投资软环境的进一步完善，将会吸引大量外来投资，因此，项目的实施，必将为项目建设地工业的腾飞带来新的发展机遇。项目的实施，相应的供水、供电、燃气、电信、道路

55、、商业金融等配套基础设施会不断完善，医疗卫生水平不断提高，区域的经济发展水平会明显提升，项目建设区域内和周边的居民的经济收入会明显提高，居民社会文化娱乐生活会得到丰富，综合生活质量会得到提高，表现为长期的有利的影响。投资项目建设对提高工业发展的质量和效益起到一定的促进作用，并为地方带来良好的经济效益，项目建设区域的建设也增加就业率，同时带动周边的第三产业的发展，可在一定程度上促进地方经济发展，提高居民经济收入，从而提升了当地居民的生活水准和生产质量。五、废弃物处理项目承办单位要建立危险废弃物全过程管理的合理投资模式，有市场化收费、押金制度、优惠的税收政策等，采用市场机制管理全过程。项目承办单位

56、危险废弃物的管理是应用法律、行政、经济、技术手段解决危险废弃物对环境的负面影响，实施对危险废弃物的全过程管理，即对危险废弃物的避免和减量，产生后的收集、运输、贮存、循环、利用、无害化处理以及最终无害化处置的管理，其优先序列为废物最小量化、废物的回收利用、废物的环境无害化处置。六、特殊环境影响分析对于项目承办单位所承办的项目建设场址区域，在场地整平前必须进行详细的工程地质勘察工作，及时探明不良地质状况；对于工程建设期和运营期的可能地质灾害影响，应采取相关对应措施降低发生的概率，将可能的损失降到最低。七、清洁生产投资项目各种废物均可得到合理的处置和利用，降低了二次污染产生的可能性，达到了增产不增污

57、的目标，从清洁生产的角度来讲，投资项目的建设是完全符合清洁生产要求的。undefined八、项目建设对区域经济的影响（一）对项目建设整体区域的影响根据xxx新兴产业示范基地发展的条件、战略地位及综合宏观经济机遇与挑战，项目建设区域将依托本地优势资源，重点吸引产业转移的高科技、环保型的现代化科技工业产业集群，使之成为当地一、二类工业聚集的高地和产业创新基地。基于此将xxx新兴产业示范基地确定以优势资源为依托，产业特色鲜明、功能配套协调，具有内在生长机能的、智慧创新型的新型生态项目建设区域。项目建设区域的建设，将充分发挥该区域交通优势和土地资源优势，加快本区域工业化、城镇化进程。xxx新兴产业示范基地布局集中规模的工业用地和以拆迁安置、吸引农民工进城为主的居住用地，建成后可以完善片区城