净房操作管理及防护课件

1、LCD项目部 2002-6净房操作及管理规范1主要内容一 基本术语二 净化的一些基础知识三 净化房的设计四 净化房的管理五 静电防护21 净房(Clean Room) 是指一个着重清洁管理,空气中悬浮粒子浓度受控的 空间，在这空间中保证空气中浮游微粒子满足规定的净化 等级，所使用的材料、药液也要保持一定的清洁度，而且 根据需要，对温度、湿度、压力等环境条件加以监督和管 理。 一 基本术语 控制的因素包括温度、湿度、压力、清洁度、静电对策、唤气次数、吹出风速、噪音、保养频度、作业衣等级、人员数。 32 洁净度(Cleanliness) 指每立方英尺的空气中含有大于0.5m直径的尘埃数量。 由于L

2、CD（液晶显示器）的盒厚间隙极其微小，只有48um（微米），而人的头发丝直径一般是几十微米，空气中能看到的粉尘一般也是十几个微米以上，同时还有许多看不到的尘埃。如果在制作LCD时有一些看得见或看不见的尘埃、杂质落在屏上，就会被污染，造成显示缺陷。 这就决定了LCD的生产过程是必须在高度清洁的环境下进行.43 高效空气过滤器（HEPA） (High Efficiency Particular Air Filter) 在额定风量下，对粒径大于等于0.3um粒子的捕集效率 在99.9%以上及气流阻力在250Pa以下的空气过滤器。4 自净时间（Cleanliness Vecoveryly Charac

3、teristic) 洁净室被污染后，净化空调系统开始运行至恢复到稳定的规定室内洁净度等级的时间。55 空态 (as-built) 设施已经建成，所有动力接通并运行，但无生产设备、 材料及人员。6 静态 (as-rest) 设施已经建成，生产设备已经安装，并按业主及供应商同意的状态运行，但无生产人员。6 动态 (operational) 设施及生产设备按规定的状态运行，有规定的人员在场，并在商定的状况下进行工作。6二 净化的一些基础知识大气中的含尘浓度789灰尘的特征和来源灰尘按形态分为：固态、液态、气体和其他 其他：光、电磁噪声、静电、振动、细菌等 ； 气体：烟、呼气、各种溶剂； 液体：人的汗

4、水、水、油等；固体：人体的头发、皮屑、衣服的纤维、美容的 面粉粉底、垃圾、粉末、各种材料的粉末；10灰尘的特征和来源灰尘的类别按存在的位置划分： 人体携带内部灰尘； 附着灰尘； 浮游灰尘； 大气灰尘； 地面灰尘； 内墙壁灰尘； 摩擦灰尘； 11灰尘的特征和来源人体、衣物、设备、建筑物和外部空气灰尘； 人体脱落微粒子：21亿个/日（大于0.3m） 126亿个/周（工作日）1213作业者的行动使污染增加程度 140.5um颗粒数(pc/min.p)一般工作服白色无菌工作服全包式洁净工作服静站339,000113,0005,600静坐302,000112,0007,450腕上下运动2,980,000

5、300,00018,700上身前曲2,240,000540,00024,200腕自由运动2,240,000289,00020,500脱帽1,310,000头上下左右631,000151,00011,200上身扭动850,000267,00014,900曲身3,120,000605,00037,300踏步2,300,000860,00044,800步行2,920,0001,010,00056,00015 洁净室粒子来源分析16三 净化房的设计17 在净化室进行灰尘的收集是HEPA过滤器0.3m以上的粒子捕集率为99.97%以上，使大多数粒子不能通过 。净化系统净化系统18净化空气的循环方式HEP

6、A空调机垂直层流19HEPA空调机水平层流20HEPA空调机乱流21净化空气的循环方式各种气流方式比较2223混合段：可根据需要安装对开风量调节阀,使新风和回风按一定的比例在空调箱内混合,可供选择的控制方式有：手动、气动和电动三种型式。 为了配合空调系统集中控制的需要,空气处理机可以配置比例式电动风阀并可 实现系统控制。冷却段：表冷器安装在冷凝水盘上,当表冷器呈双层布置时,上层的表冷器也可配有一个冷凝水盘,避免上层表冷器的冷凝水流到下层表冷器的翅片上,影响热交换性能。加热段：MDM空气处理机可配置热水加热盘管、蒸汽加热盘管及电加热功能段。加湿段：通常空气处理机的加湿形式有：干蒸汽加湿、高压喷雾

7、加湿、湿膜加湿器和电极式加湿, 也可根据用户的需要选择其它的加湿形式。24风机段：风机采用前倾，后倾，机翼型三种型式, 风机配有进口轴承,风机和电机安装在共 用的底座上并配有优质的弹簧减震器;出风口和箱体之间用帆布连接。从各个方面消除震 动和噪音。使风机运转更为宁静。阻性消声段：配阻性消声器并可根据消声量的需要来选择消声器长度。 过滤段：根据除尘的要求, 空气处理机可配置板式过滤器和袋式过滤器,也可根据用户的需要选择其它型式的过滤器。25四 净化房的管理净房里的粒子是肉眼看不见的，用手摸不着的，因此也是最危险的！维持净化洁净度的4原则入室原则：防止带进灰尘颗粒：往净化间供洁净的空气，配 置洁净

8、设备、材料、安排适当人员不带入灰尘。 作业原则：防止产生灰尘颗粒：穿无尘服、在设备扣盖，最 大限度抑制灰尘的发生并去除。空调原则：极力排除微粒子 清扫原则：杜绝微粒子的沉积，防止留存灰尘颗粒并及时清 扫：对于已发生的灰尘颗粒，用气流抑制或者以 适当排气来排除产生的灰尘。26入室原则1） 进入净化房工作的人员应符合下述条件： 无传染性疾病。 对化学药品，净化房使用物品无过敏者。 身体分泌物不多者，如手指油、出汗等。 皮肤屑、头皮屑、体毛脱落不多者。 没有神经过敏症，对闭所恐惧者。 没有抓、擦头皮、皮肤等不良习惯者。 进行净化专业知识的教育，培养遵守净化规定的习惯，保持个人洁净卫生，掌握洁净服更换

9、程序。27进出时的注意事项 a） 限制净化室的出入次数，有必要设定最小人员入室次数； 在高洁净区内人数不能超过规定数，因为人是洁净区的主 要发生源 b） 以下人员的入室有必要限制： l 未经过净化间管理人员许可的外部人员 l没有着装无尘服者 l因激烈运动而留汗者 l穿着毛料之类衣服者 l吸烟者未经漱口立即入室者28正常工作环境净化间换 室 外 鞋穿 室 内 鞋脱 室 内 鞋一 次 更 衣二 次 更 衣洗 手 吹 干风 淋进 入 净 化 间在鞋箱装室内外鞋放在鞋架上利用挂衣架检查穿衣沾粘尘垫准净化间进出洁净室的流程29进入净化间 为了维持洁净度，进入净化间者应最大限度抑制外部污染进入净化间。 a

10、）由外部进入净化间建筑物时，换室内专用鞋，鞋箱装鞋分 室内和室外； b）净化间入口处换鞋 在净化间入口处室内专用鞋放在鞋箱，鞋箱每周2次清扫； c）更衣室 脱工作服或外套挂在专用架上； d）穿无尘服 在更衣室穿无尘服，按穿衣顺序穿，不能接触地面和其他器具； 穿无尘服后照镜子确认状态，特别是头发不能漏出帽子外面； 进入净化区的人员必须穿戴专用的净化服。30e）洗手或洗手套手是最大的污染源，必须洗净l用自动供水器洗净l用干净水洗手l使用装有HEPA过滤器手干器f）穿无尘服注意事项l戴口罩，口和鼻子完全盖住l系好无尘鞋带 穿完无尘服在镜子前确认穿衣状态（手腕部位系紧、是否露出头发、戴口罩状态）31无

11、尘服 a） 衣服本身产生的尘粒子很少 b） 人体发生的尘粒子不能从衣服内向外扩散 c） 衣服上不易沾污染物 d） 低温低湿度的情况下也有良好的除静电性能 e） 有良好的耐药性能 f） 洗涤后变形量小 g） 穿着感觉舒适32h） 无尘服的洗涤周期为1周1次 l选定无尘服洗涤管理者 l 洗涤时全部都洗，全体一次全部更换着装（必要时按工序划分） l设立洗涤日志 l无尘服的洗涤寿命一般为24次 l洗涤后在更换着装前，负责洗涤的人员对无尘服确认缝纫状态，对异常进行修补 l 必须按规定穿戴洁净服，穿洁净服不能出净化区。33 风淋室使用方法 a）风淋之前，在门外踩粘尘不干胶垫上，除去无尘鞋上的灰尘后进风淋室

12、； b） 关好风淋室门，按开关后在风中举起双手身体左右旋转除掉沾在无尘服上的灰尘； c） 风淋时间为305秒钟，然后停留35秒钟后，开门出去在关好门； d） 由人产生的污染最大，所以风淋必须按规定的方法执行。34 退室方法 a） 在更衣室内，脱无尘服挂在专用挂衣架上，无尘鞋脱下来把拉链合上，从上部开始卷到脚脖子处叠进鞋中后，放在鞋架上保管； b） 在使用的手套脱后为了下次再用，可以放在无尘服后衣袋里或与无尘服一起挂在衣架上。 c） 在一次更衣室着装后，在更鞋室穿好鞋离开。35 e）皮制品等净化间严禁带入的物品a）未经过规定的清扫过程的材料、工装、备品及测量 仪器等 b）一般的纸张和非净化间用纸

13、张 c）铅笔、橡皮、墨水和钢笔等d）个人用品（烟、打火机、饮品、食品、口香糖、皮手套、手绢、手纸、化妆品、笔记本、装饰品等）36 在净化间用品的使用 a） 在净化室必须使用无尘纸 b） 告示板类减少到最低程度 c） 记录用塑料圆珠笔 d） 备品类尽可能使用不锈钢制品，其他材质使用时使用要表面处理，构造上尽可能简单，与其他物品接触磨损要小，棱角最好变成圆角 e） 桌子类不要抽屉和放脚的横条37用品的出入方法 a）要搬入净化间的各种用品必须洗净后才可以搬入 b）洗净的方法：水洗、IPA洗、酒精洗、空气吹扫等 方法 c）搬入品已经洗净后要保管，放入密闭的容器进行 保管 d）物品有包装的要除掉包装物

14、e）搬入大物品时可能影响气流状态和洁净度，尽可 能在作业中不搬入 f）搬入的物品要经过风淋吹扫才能搬入 夹具等用酒精清洗后搬入 g) 不同级别的净化空间尽量避免直接流通， 通过风淋室、传递窗等进行缓冲。38作业原则：在净化间遵守的事项 a） 只走规定的通道，限制人员出入 b） 严禁跨过设备上面 c） 要高洁净度的设备设置BOOCH来抑制气流 d） 将废物收集箱尽可能放在离设备远处而且扣好盖子 e） 防止传递窗两面同时开 f） 尽可能减少打开设备的门和盖次数 g） 不许坐在净化房地板上 h） 洁净室内不能跑动，鞋不能拖地走路，避免带起尘埃。 I) 操作动作要规范，不做无关动作，不讲与作业无关话。

15、 J) 在净化房内不能打闹、喧哗。39空调原则 严禁在送风口和回风口处放置物品，扰乱气流的流向；定期更换高效过滤器，保证其过滤效果；定期对净化室进行检漏，防止外部颗粒进入；保证符合规定的换气次数；定期测量洁净度，每周一次，检查高效过滤器有无泄露室内所有物品数量都应限制在最少的限度，并对物品的放置做出规定，尽量减少空气乱流，40清扫原则清扫净化室 在净化室一部分颗粒随气流排出到室外，剩下的部分落到墙 壁、设备仪器表面，这些粒子随室内条件的改变、气流的冲 突，再一次飞散，所以产生的粒子要定期清扫清除。 房间清扫 清扫用具： a） 吸尘器或真空吸尘器（工作间专用）。 b） 无尘纸（布）、易拖拉拖布。

16、 c） 粘尘滚 d） 塑料桶（优质） e） 专用铝合金梯子41 清洗剂： a） 水（非洁净区使用） b） 纯水（洁净区使用） c） 含10%洗涤剂的水溶液 d） 乙醇或丙酮 清扫对象： a） 仪器 环境（墙壁、地面、天棚、门窗、桌椅等） 清扫方法： a） 仪器清扫详见使用说明书。 b） 环境清扫方法：采用吸尘与擦拭的方法，自上而下，自左而右或自右向左，单方向擦拭，不可来回擦拭。42净化房清扫方法示例 43清洁管理技术 管理项目检查项目进入净化间的管理 设置高性能过滤器及认真管理：投入HEPA/ULPA，调查设置场地周围环境（温度、灰尘、风量），过滤器定期清洁/更换l 限制气体带入灰尘：日常检查

17、洁净度、温湿度、风速，确认室内正压，确认空气气闸、传递窗的作用l 人员和物流：严禁不必要的物品搬入净化间，管理风淋门，进入风淋；搬入设备、化药之前要进行清洁处理、去掉标签纸等l 维修建筑物：防止过滤器和门窗泄露作业管理技术穿无尘服：管理无尘服及清洗周期，检查状态l 粉尘发生部的密封：排气、旋转设备扣盖，设备局部排气l 抑制生产线的发尘：自动化、减少与其他物体接触、搬送平稳l 抑制内装材料发生粉尘：使用不发生粉尘的内装材料或表面涂镀处理l 其他：防止穿无尘服坐地板，穿无尘服不能靠设备和墙壁44公用管理禁止粉尘源粉尘扩散：维持气流、设备气流层流化，增大换气次数l 适当配置：作业、维修区域化，无用设

18、备处理，设备整理整顿l 发生粉尘作业定位置化：研究发生粉尘、可移动性作业分离、遮断l 维持排风风量：检查排气扇、轴和阀门清洁管理定期清扫：地板、墙壁、天棚、仪器、备品、生产设备等l 防止粉尘堆积：不做不必要的水平面，不做棱角做成圆角并除静电l 不设置震动的机器455.1、定义：l什么是静电？ 绝缘体与绝缘体相互进行摩擦，分开后将在其表面附着大量正或负离子，这些在绝缘体中不能流动的电荷就叫做静电。例如：胶尺在与干布摩擦之后能够吸引纸屑；冬天脱毛衣听到之声音及看到之火花均为静电现象。l什么是静电泄放？ 我们通常所说的ESD（Electrostatic Discharge）即静电泄放是指静电积累到一

19、定电势后对电子器件造成的一种快速放电现象。l什么是静电敏感器件？ ESDS(Electrostatic Discharge Sensitive components)即静电敏感器件是指受到一定能量的静电泄放后将会引起暂时性或永久性损伤的电子器件。五 静电防护46 5.2 静电危害 当静电量大于100V便有机会使LCM 内之电子零件烧坏。不同类型的半导体器件耐静电放电击穿的灵敏度不一样，列表如下：473.1 生产车间建筑装修材料采用高阻材料如建筑装修材料导电性能差，某种原因产生静电后不容易通过它们向大地泄漏，造成静电的积聚。 3.2 人体静电穿高电阻率的拖鞋（如聚乙烯、合成革、橡胶等制成）、高纤

20、维袜子，在地面（如聚氨酯弹性地面）上走路时，鞋底和地面不断地紧密接触和分离，人体各部分也有活动和摩擦，不论是快走、慢走、小跑，都会产生静电，这就是所谓步行带电。由于鞋子和地面又都是绝缘的，产生的静电不容易泄漏，就会逐渐积累。一般说来，穿塑料制品的鞋在绝缘地面上走路可使人带上23KV的静电电压。不仅如此，人体先在用绝缘材料做成的座位（例如人造革椅子）上活动后起立，人体穿的工作服与椅子面接触后分离，也会产生静电。例如，穿尼龙羊毛混纺工作服的人从人造革椅子上起立时，可产生近万伏的高压静电。此外，人在脱衣时，或手拿干布去擦绝缘工作台面时，都会起电。人体靠近其它带电体时，也会感应起电。人体的静电电压如果

21、消不掉，而去接触IC 片，就可能在不知不觉之中造成IC 的击穿。5.3、 静电产生483.3 空气调节和空气净化引起的静电 由于LCM 生产要求在一定温、湿度条件下进行，所以要进行空气调节。降湿的空气要经过初效过滤器、中效过滤器、高效过滤器和风管，送入车间。一般总风管风速为810m/s。风管内壁涂油漆。当干燥的空气和风管、干燥的空气和过滤器作相对运动时，都会产生静电。3.4 搬运工具和包装材料 运送半成品时使用的托盘如是丙烯或聚氯乙烯制成的，或发泡胶、或白色海绵，也会产生静电。LCM 成品在包装运输过程中，器件与包装塑料纸之间的摩擦起电，也是不容忽视的静电起电因素之一。不少IC 在运输过程中莫明其妙地击穿，可能就是这种静电在作怪 495.4、 静电防护4.1 工程设计中实施防静电措施如可能