• 现行
  • 正在执行有效
  • 2017-11-01 颁布
  • 2018-05-01 实施
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文档简介

ICS1303020

Z05..

中华人民共和国国家标准

GB/T34697—2017

含氟蚀刻废液处理处置方法

Treatmentanddisposalmethodforspentfluoricetchant

2017-11-01发布2018-05-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布

中国国家标准化管理委员会

GB/T34697—2017

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准由中国石油和化学工业联合会提出

本标准由全国废弃化学品处置标准化技术委员会归口

(SAC/TC294)。

本标准起草单位杭州格林达化学有限公司昆明培铭科技有限公司常州清流环保科技有限公司

:、、、

深圳市中润水工业技术发展有限公司四川省中明环境治理有限公司深圳慧欣环境技术有限公司重

、、、

庆蓝洁广顺净水材料有限公司蓝保厦门水处理科技有限公司江西核工业环境保护中心浙江海翔

、()、、

净水科技有限公司天津理工大学重庆大学重庆新申世纪化工有限公司中海油天津化工研究设计院

、、、、

有限公司

本标准主要起草人尹云舰赵红林韩晓刚李润生何中明黄崇坚谷飞陈嘉宾杜兴胜张怡

:、、、、、、、、、、

李梅彤陈玉英陈建敏郑怀礼申静弓创周

、、、、、。

GB/T34697—2017

含氟蚀刻废液处理处置方法

1范围

本标准规定了含氟蚀刻废液组成处理处置方法及环境保护要求

、。

本标准适用于液晶显示屏玻璃蚀刻光伏行业蚀刻硅片蚀刻电极箔蚀刻及稀土蚀

TFT-LCD、、IC、

刻所产生含氟蚀刻废液的处理处置

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

危险废物鉴别标准通则

GB5085.7

污水综合排放标准

GB8978

大气污染物综合排放标准

GB16297

一般工业固体废物贮存处置场污染控制标准

GB18599、

工业氟硅酸钠

GB/T23936

氟化钙

GB/T27804

工业氟化铵

GB/T28653

工业氟化氢铵

GB/T28655

工业氟硅酸铵

HG/T4692

工业氟硅酸钾

HG/T4693

氟化镁

YS/T691

3含氟蚀刻废液组成

含氟蚀刻废液主要组成见表

1。

表1主要组成

来源

项目液晶显示屏玻璃蚀刻

TFT-LCD、电极箔蚀刻废液稀土蚀刻废液

光伏行业蚀刻硅片蚀刻废液

、IC

氢氟酸w

(HF)/%1~101~105~15

氟硅酸w

(H2SiF6)/%5~15—3~10

盐酸w

(HCl)/%3~8—≤0.1

硫酸w

(H2SO4)/%1~31~3—

硝酸w

(HNO3)/%2~101~3

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