GB/T 8756-2018锗晶体缺陷图谱

ICS29045

H80.

中华人民共和国国家标准

GB/T8756—2018

代替

GB/T8756—1988

锗晶体缺陷图谱

Collectionofmetallographsondefectsofgermaniumcrystal

2018-12-28发布2019-07-01实施

国家市场监督管理总局发布

中国国家标准化管理委员会

GB/T8756—2018

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准代替锗晶体缺陷图谱本标准与相比主要技术变

GB/T8756—1988《》。GB/T8756—1988,

化如下

:

删除了原标准缺陷图谱张分别为图图图图图图图图图图

———34,1、2、3、4、6、8、9、15、16、20、

图图图图图图图图图图图图图图

21、23、24、28、29、30、32、33、78、87、88、90、91、95、

图图图图图图图图图图见年版的第

96、102、106、113、114、115、116、124、125、132(19881

章第章第章

、2、3);

增加了术语和定义见第章

———(3);

增加了图谱张分别为图图图图图图图图图图图图

———44,1、2、3、4、6、8、9、13、14、15、16、22、

图图图图图图图图图图图图图图

23、24、29、30、31、33、34、80、89、90、92、93、96、97、

图图图图图图图图图图图图

98、99、105、106、116、117、118、119、120、128、129、130、

图图图图图图见第章

131、132、133、135、141、142(4);

完善了各类缺陷的特征及产生原因见第章

———(4);

增加了资料性附录晶体缺陷消除方法给出了部分晶体缺陷的消除方法见附录

———A“”,(A);

删除了原标准中的附录透射电子显微镜技术补充件见年版的附录

———“B(TEM)()”(1988B)。

本标准由中国有色金属工业协会提出

。

本标准由全国有色金属标准化技术委员会归口

(SAC/TC243)。

本标准起草单位云南临沧鑫圆锗业股份有限公司有研光电新材料有限责任公司云南中科鑫圆

:、、

晶体材料有限公司中锗科技有限公司广东先导稀材股份有限公司云南东昌金属加工有限公司有色

、、、、

金属技术经济研究院

。

本标准主要起草人普世坤惠峰董汝昆冯德伸柯尊斌尹士平朱刘李素青

:、、、、、、、。

本标准所代替标准的历次版本发布情况为

:

———GB/T8756—1988。

Ⅰ

GB/T8756—2018

锗晶体缺陷图谱

1范围

本标准规定了锗多晶锗单晶制备和机械加工过程中产生的缺陷给出了各类缺陷的特征产生原

、,、

因及消除方法

。

本标准适用于区熔锗锭锗单晶锗研磨片和锗抛光片生产过程中产生的缺陷

、、。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

半导体材料术语

GB/T14264

3术语和定义

界定的以及下列术语和定义适用于本文件

GB/T14264。

31

.

杂质管道impuritiespipeline

在锗单晶中沿晶体纵向形成的管道状杂质富集区

,。

4锗晶体缺陷

41锗多晶

.

411氧化物

..

4111特征

...

晶体表面失去银灰色金属光泽呈现不同颜色的表面膜如图所示

,,1。

4112产生原因

...

氧化物是由于晶体在高温状态下或长期暴露在空气中以及在操作过程中引进的有机物在高温下

,

分解后氧与锗反应生成

,。

412浮渣

..

4121特征

...

在晶体表面呈现的无金属光泽的灰色薄层如图所示

,2。

4122产生