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  • 1994-07-12 颁布
  • 1995-01-01 实施
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文档简介

中华人民共和国国家计量检定规程

JJG331—1994

激光干涉比长仪

LaserInterferenceComparator

1994-07-12发布1995-01-01实施

国家技术监督局发布

JJG331—1994

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激光干涉比长仪检定规程췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍

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LaserInterferenceComparator

本检定规程经国家技术监督局于年月日批准并自

19940712,1995

年月日起施行

0101。

归口单位:中国计量科学研究院

起草单位:中国计量科学研究院

本规程技术条文由起草单位负责解释

JJG331—1994

本规程主要起草人:

蒋埙中国计量科学研究院

()

参加起草人:

王黎菁中国计量科学研究院

()

汪德宝中国计量科学研究院

()

JJG331—1994

目录

一概述…………………

(1)

二检定项目和检定条件………………

(1)

三检定要求和检定方法………………

(2)

四检定结果的处理……………………

(6)

附录激光器测温装置及折射率测量装置的检定要求…………

1、(7)

附录测量环境下脉冲当量Q的计算实例…………

2n(8)

附录各种温度的饱和蒸气压表……………………

3(9)

JJG331—1994

激光干涉比长仪检定规程

本规程适用于新制造的使用中和修理后的激光干涉比长仪的检定

、。

一概述

激光干涉比长仪以下简称比长仪是用激光波长直接检定线纹尺的工作基准类仪

()

器它主要用于检定长度至的一二等标准金属线纹尺一二等标准玻璃

。1000mm、;、

线纹尺以及不确定度优于一等标准金属尺的基准尺

,。

检定长度小于的激光干涉比长仪其被检项目与要求可参照本规程进行

1000mm。

比长仪的准确度可按线纹尺检定结果的总不确定度置信水平分为两类

(0.99):

UL

(A)=(0.06+0.1)μm

UL

(B)=(0.1+0.1)μm

式中L被测长度

:———,m。

比长仪主要由激光器干涉仪机械主体光电显微镜温度测量装置与

He-Ne、、、、

数据处理装置计算机等七个部分组成

()。

二检定项目和检定条件

比长仪的检定项目和主要检定条件如表所示

11。

表1

序检定类别

检定项目主要检定条件

号新制的修理的使用中

外观目测

1++-

激光平行光束的均匀性纸屏

2+++

干涉条纹的对比度及输出信号的质量纸屏二踪示波器

3、+++

工作台运动直线度自准直仪

40.2″++-

测量光束与运动方向的一致性专用检具

5++-

工作台运动速度均匀性频率计

6++-

平面镜自准直仪金

光电显微镜、、

7属尺玻璃尺水泡++-

、、10″

测量重复性金属尺玻璃尺

8、+++

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