JJF 1427-2013微机电(MEMS)线加速度计校准规范

中华人民共和国国家计量技术规范

JJF1427—2013

微机电MEMS线加速度计校准规范

()

CalibrationSpecificationforMEMSLinearAccelerometers

2013-09-02发布2013-12-02实施

国家质量监督检验检疫总局发布

JJF1427—2013

微机电MEMS线加速度计

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校准规范췍췍

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LinearAccelerometers

归口单位全国惯性技术计量技术委员会

:

起草单位中国电子科技集团公司第十三研究所

:

中航工业北京长城计量测试技术研究所

本规范委托全国惯性技术计量技术委员会负责解释

JJF1427—2013

本规范主要起草人

:

杨拥军中国电子科技集团公司第十三研究所

()

董雪明中航工业北京长城计量测试技术研究所

()

徐淑静中国电子科技集团公司第十三研究所

()

参加起草人

:

何懿才中航工业北京长城计量测试技术研究所

()

吝海锋中国电子科技集团公司第十三研究所

()

田阳中航工业北京长城计量测试技术研究所

()

JJF1427—2013

目录

引言………………………

(Ⅱ)

范围……………………

1(1)

引用文件………………

2(1)

术语及定义……………

3(1)

概述……………………

4(1)

计量特性………………

5(2)

校准条件………………

6(3)

校准环境条件………………………

6.1(3)

测量标准及设备……………………

6.2(3)

校准项目和校准方法…………………

7(4)

校准项目……………

7.1(4)

校准方法……………

7.2(5)

校准结果表达…………

8(14)

复校时间间隔…………

9(14)

附录线加速度计重力场校准不确定度评估示例…………

AMEMS(15)

附录校准证书内页格式……………

B(21)

Ⅰ

JJF1427—2013

引言

微机电线加速度计广泛应用于国民经济各领域基于此考虑结合微机

(MEMS),,

电线加速度计校准的实际情况参照国际电工委员会

(MEMS),IEC(INTERNATIONAL

编写的半导体

ELECTROTECHNICALCOMMISSION)60747-14-4Ed.1/CDVIEC

加速度计

(SEMICONDUCTORDEVICES—Part14-4:Semiconductoraccelerometers)

编写本规范

。

Ⅱ

JJF1427—2013

微机电(MEMS)线加速度计校准规范

1范围

本规范规定了微机电线加速度计以下简称线加速度计或加速

(MEMS)(MEMS

度计的校准项目和校准方法适用于单敏感轴线加速度计

),MEMS。

2引用文件

本规范引用了下列文件

:

线加速度计的精密离心机校准规范

JJF1116—2004

单轴摆式伺服线加速度计试验方法

GJB1037A—2004

振动与冲击传感器校准方法第部分振动比较法

GB/T20485.21—200721:

校准

半导体加速度计

IEC60747Part14-4(14-4:Semiconductoraccelerometers)

凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本规范凡是不注日期的引用文

,;

件其最新版本包括所有的修改单适用于本规范

,()。

3术语及定义

微机电

3.1MicroElectroMechanicalSystem,MEMS

运用半导体工艺集成了传感器执行器和或电路的系统

、/。

线加速度计

3.2MEMSMEMSlinearaccelerometers

采用加工工艺制作的用于将输入的线加速度成比例的转化为输出通常为

MEMS(

电学量的传感器

)。

敏感质量

3.3proofmass

线加速度计中把沿着或绕输入轴的加速度转换为力矩或力的有效质量

()。

4概述

线加速度计一般由敏感质量挠性支承和转换线路等构成工作原理为敏

MEMS