• 现行
  • 正在执行有效
  • 2012-11-07 颁布
  • 2013-03-01 实施
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文档简介

ICS77160

H72.

中华人民共和国有色金属行业标准

YS/T826—2012

五氧化二铌靶材

Niobiumpentoxidetargetmaterial

2012-11-07发布2013-03-01实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

YS/T826—2012

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准由全国有色金属标准化技术委员会归口

(SAC/TC243)。

本标准起草单位西北稀有金属材料研究院中国有色金属工业标准计量质量研究所

:、。

本标准主要起草人王鹏张红梅佂卫星扈百直吴红张宪铭张江峰

:、、、、、、。

YS/T826—2012

五氧化二铌靶材

1范围

本标准规定了五氧化二铌靶材的要求试验方法检验规则标志包装运输贮存质量证明书和

、、、、、、、

合同或订货单内容

()。

本标准适用于以五氧化二铌粉末为原料采用真空热压工艺制成的五氧化二铌靶材

,。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

致密烧结金属材料与硬质合金密度测定方法

GB/T3850

所有部分钽铌化学分析方法

GB/T15076()

3要求

31化学成分

.

311产品化学成分应符合表规定

..1。

表1化学成分质量分数

()%

主成分杂质含量不大于

,

杂质

Nb2O5TaFeSiAlCrCuMnMoNiSnTiW总和

余量

0.0080.0010.0050.0010.0010.0010.0010.0010.0010.0010.0010.001≤0.01

312主成分含量用减量法计算

..。

32密度

.

产品的密度应不小于3

4.46g/cm。

33尺寸及允许偏差表面粗糙度和平面度

.、

产品的形状尺寸及允许偏差表面粗糙度和平面度应符合供需双方签订的技术图样

、、。

34外观质量

.

341产品的颜色应均匀

..。

342产品的表面应平整无裂纹无异物无明显的针孔孔洞和印记

..,,,、。

4试验方法

41产品的化学成分检验按

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