洁净室基础介绍 简介

洁净室基础四根刺洁净室基础一、洁净室的定义二、洁净室的等级三、洁净室的建造四、洁净室的用途五、洁净室的使用一、洁净室的定义

将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。

不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。一、洁净室的定义二、洁净室的等级大气尘总悬浮微粒(TSP):10~100微米

<10微米(可吸入颗粒)大气尘组成：矿物碎片、烟、花粉、植物纤维、煤、碳、水泥等细粉、腐败植物、皮屑、金属、微生物等大气尘随温度、湿度、风向等情况变化而变化1961年诞生了世界上最早的洁净室标准即美国空军技术条令2031963年底颁布了洁净室第一个军用部分的联邦标准即FS209，从此,美国联邦标准FS209即成为国际上最通行、最著名的洁净室标准几经更替，最新的联邦标准是1992年颁布的FS209E1999年，国际标准化组织制定的国际标准ISO14644-1颁布我国现行的空气洁净度级别在GB50073-2001《洁净厂房设计规范》中等同采用了ISO的洁净度级别二、洁净室的等级美国联邦标准（USAFederalStandard）209E（1992年）二、洁净室的等级洁净度级别Cleanclass粒径ParticlesSize(um)0.10.20.30.55.0135.07.503.001.00NA1035075.030.010.0NA100NA750300100NA1000NANANA10007.010000NANANA1000070.3100000NANANA100000700二、洁净室的等级中国国家标准GB50073-2001（等同采用国际标准ISO14644-1）空气洁净度等级(N)大于或等于表中粒径的最大浓度限值(pc/m3)0.1um0.2um0.3um0.5um1um5um1102

210024104

31000237102358

4100002370102035283

51000002370010200352083229610000002370001020003520083202937

3520008320029308

3520000832000293009

352000008320000293000洁净室的构成是由下列各项系统所组成(在所组成的系统分子中是缺一不可的),否则将无法构成一完整且品质良好的洁净室:(1)天花板系统:包括吊杆(Ceilingrod)、纲梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceilinggrid或Ceilingframe)。(2)空调系统:包括空气处理设备AirHandingUnit、空气输送设备、空气分配设备、冷热控制源、自动调节控制装置等。(3)隔墙板(Partitionalwall):包括窗户Windows、门Door。(4)地板:包括高架地板RaiseFloor或防静电舒美地板。(5)照明器具:包括日光灯、黄色灯管等。三、洁净室的建造三、洁净室的建造乱流式(TurbulentFlow):乱流洁净室的定义是气流以不均匀速度、不平行流动、伴有回流或涡流的洁净室。三、洁净室的建造即气流以均匀的截面速度,沿着平等流线以单一方向在整个室内天花截面下通过洁净室,并由高架地板或两侧隔墙板回风。单向流洁净室靠风气流“活塞”般的挤压作用。利用速度把室内污染排回风道。层流式(Laminar)三、洁净室的建造水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向排出室外，一般在下流侧污染较严重。垂直层流式:房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖,空气由上往下吹,可得较高之洁净度,在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。三、洁净室的建造洁净室的设计流程1.洁净室条件确认及设定2.洁净室系统选定3.室内压力设定，系统分离，区划4.检讨布局，过滤器选定5.计算热负荷外气状态污染物发生量制造装置参数洁净室气流方式空气净化系统空气调节系统室内压力设定，室内压力控制方式选定空气调节系统分离生产机械排气系统分离排出口，吸入口布局检讨去除粒子用过滤器选定chemical用过滤器选定实用性洁净度温差制造装置热负荷搬运装置热负荷Utility热负荷结构热负荷人体热负荷照明热负荷```````````````6.计算风量，数量7.洁净度确认

8.机械选定节约能源对策冷水，热水量加湿用蒸汽量外气量循环送风量生产排气风量洁净度计算气体浓度计算机械排气用风扇冷热热源机械自动控制方式循环空调OAC循环送风机设计条件再检讨系统机械选定再检讨````````````洁净室建造施工

外墙建设工程

洁净室冷冻工程

空调净化器启动Clean设备安装电力供给外部与隔断出入者控制一般室与洁净室的分离室内鞋使用洁净室保持正压一般作业状态防尘着装

洁净室

工程完成生产装备安装

生产装备

运转

产品生产Filter安装Operationalcleanroom

TestAt-Rest洁净室

TestAs-Built

洁净室

Test洁净室洁净度保持三、洁净室的建造四、洁净室的用途主要控制空气尘埃微粒对工作对象的污染,内部一般保持正压状态。它适用于精密机械工业、电子工业(半导体、集成电路等)宇航工业、高纯度化学工业、原子能工业、光磁产品工业(光盘、胶片、磁带生产)LCD(液晶玻璃)、电脑硬盘、电脑磁头生产等多行业。工业洁净室ICR——以无生命微粒的控制为对象。四、洁净室的用途四、洁净室的用途四、洁净室的用途A、一般生物洁净室,主要控制微生物(细菌)对象的污染。同时其内部材料要能经受各种灭菌剂侵蚀,内部一般保证正压。实质上其内部材料要能经受各种灭菌处理的工业洁净室。例:制药工业、医院(手术室、无菌病房)食品、化妆品、饮料产品生产、动物实验室、理化检验室、血站等。生物洁净室BCR,主要控制有生命微粒(细菌)与无生命微粒(尘埃)对工作对象的污染。四、洁净室的用途四、洁净室的用途B、生物学安全洁净室:主要控制工作对象的有生命微粒对外界和人的污染。内部要保持与大气的负压。例:细菌学、生物学、洁净实验室、物物工程(重组基因、疫苗制备)生物洁净室BCR,主要控制有生命微粒(细菌)与无生命微粒(尘埃)对工作对象的污染。洁净室的入室流程

①脱鞋②脱掉工作服④脚套，手套

⑤AIRSHOWERING⑥入室③洗手,带面具，穿

防尘服⑥CleanroomKEYPLAN①②③④⑤②③一般