工作用热传导真空计校准规范_第1页
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文档简介

1工作用热传导真空计校准规范图1被校真空计工作原理图3直流电流表(0～75～150mA、0.5级)1只。4交流电压表(0～250V、1.0级)1只。5交流稳压电源(1kVA稳定度±1%)1台。6计时器(最小分度1s)1只。 27温度计(0～+50℃、分度值0.5℃)1只。8湿度计(测量准确度±10%)1只。9真空标准装置(总不确定度不大于15%)1套。9.1采用静态膨胀法真空标准装置时(见图2),应能满足校准室静态压力保持1min图2静态膨胀法真空标准装置示意图1-高真空获得装置；2,6,8,11,12—阀门；9.2采用动态相对法真空标准装置时(见图3),应满足下列要求。图3相对法真空标准装置9.2.1标准真空计的示值相对误差不大于10%,围(可以是1台或几台组成的标准真空计组)。3b)校准室的形状为球形体或高度与内径之比为1～3的圆柱体。c)标准规管和被校规管的安装：对球状校准室应在球赤道位置，对圆柱体校准室应在1/2高度的同一水平面位置。d)为获得动平衡压力，所注入校准室的气体最少与校准室内壁碰撞一次后方能进入规管所在位置。e)校准室上连接被校规管过渡管道的流导值，不应小于被校规管本身支管流导值的10倍。(三)环境条件10环境温度为(23±5)℃,校准过程中室温变化不超过±1℃。11相对湿度不大于80%。12标准装置附近不应有强电场，强磁场和明显的气流。(四)校准气体13纯度不低于99.9%的氮气。四校准项目和校准程序14校准前按产品技术条件的规定对被校真空计电路的电参数进行调试。15将被校真空计接至真空标准装置上，按获得真空的操作程序对真空标准装置进行抽气，使它符合9.1,9.2.2,9.2.3的要求。16.1按产品说明书的规定对被校真空计进行零点、满度或加热电流校准，对热偶真空16.2压力校准点应在被校量程内均匀分布选取。线性刻度的被校真空计，每个数量级至少有3个校准点。对数刻度的被校真空计不得少于10个校准点，在每个数量级至少有2个校准点。16.3压力由低至高的顺序进行校准，在每个校准点都必须待压力稳定后重复读数3次，取其平均值，分别得到压力标准值和被校值。16.4按式(1)计算压力示值误差：P'——被校计指示的压力平均值，Pa;五校准结果处理和校准时间间隔17依据校准结果判断被校真空计是否满足规范要求。 418.1校准证书应列出各校准点的压力标准值和被校真空计示值。18.2列出被校真空计电源的零点、满度、加热电流，规管的外观检查情况。19被校真空计的校准时间间隔初选为1年。送校单位可以根据对送校真空计准确度的要求，失准造成的后果以及上次校准情况，向有关单位提出缩短或延长校准时间间隔的5

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