P5000工作原理PPT

1、1，简介，2，p5000 min frameoverview，host，3，poweron，4，remoteacbox，5，acbox，6，dcpower，1.48 v10a斩波驱动器。摩托车越野赛2。-15v 3 match，压力计，远程支持设备，工具3.24v31adi/o，7，8，tc，mfc，9，10，11，将12个箱扩展到28个箱，附件，12，热交换器，13，1。AMAT-0标准操作温度：20-80。冷却液：50%乙二醇50%地水流：2加仑容量：2加仑2。AMAT-1高温操作温度：20-120。冷却剂：100%乙烯gl Ycol流速：1.25 gpm容量：2加仑3。Neslab工作温

2、度：5-35。冷却剂：50%乙二醇50%去离子水容量：5加仑，普通热交换器，14，Amat热交换器，15，Amat标准，16，Amat-1高温，17，neslab，18，19，晶片转移子系统，20，机器人方向，21，22，p5000机器人组件，23，机器人刀片，24，臂拾取位置，(1)臂处于盒中的槽底位置；(2)臂位于盒中的槽三角位置。(1)臂在升降机中处于槽底位置；(2)臂处于升降机中的槽拾取位置(以将胶片传送到空腔)；和(3)臂在升降机中的槽通过位置(将胶片传送到片盒)，25，处理器手动控制，26，传送步进电机控制，27，蚀刻室，P5000蚀刻室类型：马克2号Mxp Mxp eMxp AS

3、P，28，蚀刻室部件，29，马克2号室体，30，Mxp室体，31，蚀刻Mxp室，32，33，Mxp室，34，Mxp室部件，35，监视器该方法通过检测薄膜电容值的变化，利用气压变化引起的薄膜偏转来测量真空。 这是一种高精度真空计，误差0.5%，测量范围为760托-10-5托(所有干燥工艺设备均采用MKS 127/122系列)，容量压力计42，43，容量压力计44，并利用散热原理测量温度。当压力较高时，电热丝的温度较低。相反，热电偶检测温度的变化，从而产生电压。根据对电压变化的解释，压力的适用压力范围为10-3 1托。热电偶表，45，热电偶表，46。电离规具有一定动能的带电粒子在穿过稀薄气体时会产

4、生电离。阴极发射的电子在加速电场的作用下具有很大的动能，电子在飞行过程中与剩余的气体分子碰撞，从而电离气体分子。电离产生的正电子数与气体密度成正比，即与气体压力成正比。因此，真空度可以通过测量离子流的大小来间接测量。测量范围：10-2-10-12托。47号离子规使用散热原理测量温度。当压力较高时，电热丝温度较低，反之亦然，这是一个间接测量的压力表。补充校正参数的测量气体类型的压力范围为10-41000托。当测量的压力高于1托时，放置方向必须是水平的。为了获得精确的压力测量值，48，gaspanal，gasdelivery subsystem，49，massflowcontrol，50，mfcf

5、unction，application:flow control and measurement of process gas .组成：1 .质量流量计(mfm) 2 .控制和电磁阀3 .电子设备(产生和发送信号)，51，MFC的工作条件：工作电压： /-15V，前后压差：10-40 psi响应时间：=1秒(典型值=500毫秒)接口：1/4英寸录像机使用范围：10%-90%控制接口：20针卡边缘连接器(金手指)15针D连接器9针D连接器，52，等离子射频在电离和碰撞开始提供电场后，电子将被加速并同时与中性粒子碰撞。在适当的压力和能量下，在电离等离子体中产生碰撞，产生单个火花的连锁反应可以引发燎原之火，产生散发光和热的云状物质。53.提供电场。电离和碰撞开始发生。等离子体，54，等离子体的射频源，55，MXP室的射频匹配，56和腐蚀的P5000设备被设计成在空腔充满气体和适当压力的条件下具有50欧姆的额定输出电阻。然而，空腔的电阻在腐蚀过程中不断变化，因此需要在RFG和空腔之间增加匹配装置，以将RFG的负载电阻稳定在50欧姆。射频匹配原理，57，腔室压力控制，腔室压力控制：(节流阀)通过改变泵的泵送直径来改变泵的泵送力，以达到设定的腔室压力。为了避免过压或欠压的突